一种新型显影液加液系统的制作方法

文档序号:17420023发布日期:2019-04-16 23:54阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型显影液加液系统,包括Tank桶(1),所述Tank桶(1)通过输液管路(12)与显影单元(5)连接,其特征在于,还包括与Tank桶(1)配合的显影液桶(6);

所述显影液桶(6)上安装有显影液桶盖(7),所述显影液桶盖(7)上开有两个孔,一个孔内安装有显影液加液管路(9),所述显影液加液管路(9)的一端伸至显影液桶(6)的底部,另一端经Tank桶壁伸至Tank桶(1)的底部,显影液加液管路(9)上安装有显影液截止阀(10);显影液桶盖(7)上的另一个孔内安装有管路一,管路一上安装有三通阀一(8),所述三通阀一(8)的另外两个阀口分别为氮气口、排气口;

所述Tank桶(1)内安装有输液管路(12),输液管路(12)的一端伸至Tank桶(1)底部,另一端与多个显影单元(5)连接;所述Tank桶(1)的顶部还安装有管路二,管路二上安装有三通阀二(11),所述三通阀二(11)的另外两个阀口分别为氮气口、排气口。

2.根据权利要求1所述的一种新型显影液加液系统,其特征在于,位于Tank桶(1)与显影单元(5)间的输液管路(12)上还安装有缓冲罐(14),所述缓冲罐(14)上安装有排气管(13)。

3.根据权利要求2所述的一种新型显影液加液系统,其特征在于,所述缓冲罐(14)分别与各显影单元(5)串联,各显影单元(5)相互间并联。

4.根据权利要求1所述的一种新型显影液加液系统,其特征在于,所述管路一的底端位于显影液桶(6)的上部;所述管路二的底端位于Tank桶(1)的上部。

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