显微镜、操作显微镜的方法和对样本进行成像的方法与流程

文档序号:20498833发布日期:2020-04-21 22:36阅读:194来源:国知局
显微镜、操作显微镜的方法和对样本进行成像的方法与流程

本发明涉及根据独立权利要求1的前序部分的显微镜,并且更具体地涉及一种操作显微镜的方法、一种对样本进行成像的方法以及一种用于操作显微镜的计算机程序。这种具有布置成使照明光束沿着照射路径出射以照射样本的至少一个照明物镜以及布置成接收包括至少一部分从样本中出射的光的检测光的成像物镜的显微镜用于对样本进行成像和分析样本。



背景技术:

光片(ls)或选择性平面照明显微镜(spim)是一种荧光显微镜方法,其中照明光束路径(激发光)和检测光束路径(来自样本的出射光)基本上彼此垂直。样本被放置在这些路径在成像物镜的焦平面中的交点处。为了获得最佳图像质量和光学分割,必须将照明光片定位成与成像物镜的焦平面精确相交。

在一些spim实施例(下文称为倒置的spim装置)中,照明和成像物镜被放置在具有透明底部的样本保持器下方。倒置的spim装置的主要优点是可以使多个样本并行成像,并使样本与浸没介质和物镜保持分离。在ep2801855a1中描述的一个这样的实施例中,将照明和成像物镜浸没在折射率基本上类似于样本保持器的透明底部和培养基的浸没介质(通常是水)中以使光学像差最小化。然而,这通常是不可能的,因为许多生物样本在折射率不同于水的介质、凝胶或基质中生长。由于照明光与样本保持器的透明底部的非正交入射角,照明光束可能会在这种介质中发生折射,从而阻止了照明光束与成像物镜的焦平面相交并降低了图像质量。在wo2015/036589a1中描述的另一种倒置的spim装置中,使用具有与照明和检测光束路径正交的透明壁的比色杯来使光学像差最小化。尽管这使照明光束的折射最小化,但是这种比色杯的形状受到限制,可能更难以制造,并且可能会限制具有良好的图像质量的可观察区域。此外,当前的倒置的spim装置使用单个照明和成像物镜。在这种物镜布置结构中,样本的吸收或散射部分后面的阴影降低成像质量,这对于光密样本和/或直径大于100μm的样本尤为重要。

因此,需要一种允许对样本进行有效且精确的显微镜或spim成像的系统。



技术实现要素:

根据本发明,通过如独立权利要求1的特征所定义的显微镜、对如独立权利要求20的特征所定义的对样本进行成像的方法、如独立权利要求25的特征所定义的操作显微镜的方法以及如独立权利要求30的特征所定义的计算机程序来解决该需求。本发明的优选实施例是从属权利要求的主题。

特别地,本发明涉及一种用于对样本进行成像的显微镜,该显微镜包括至少一个照明物镜、成像物镜、机动化和电子控制的调节装置、样本保持器和保持器支承件。

所述至少一个照明物镜布置成使照明光束沿着照射路径出射以照射样本。由此,照明光束可以是直的,通过合适的光学装置重定向,或具有任何其它合适的形式,特别是光片的形式。它可以是波长范围适合于样本特性的激光束。特别地,该激光束的波长可以适合于荧光团的激发和荧光成像。

成像物镜布置成接收检测光,该检测光包括至少一部分从样本出射的光。因此,从样本出射的光可以特别地包括出射的荧光或由照明物镜出射并被样本重定向或反射的光。检测光沿着与照射路径成角度的检测轴线传播。检测轴线与照射路径之间的角度优选为约90°。成像物镜具有成像焦平面。

如本文所使用的术语“焦平面”可以涉及垂直于由成像物镜的前焦点和后焦点限定的光轴的平面。焦平面可以表示成像物镜的光聚焦的平面,例如在显微镜相机芯片的平面上成像的物镜前方的平面。

样本保持器布置成接收样本。它具有对照明光束和检测光透明的部分。借助于样本保持器,可以将样本安全地保存在适当的位置。这样,它可以精确地暴露于照明光束。成像物镜基本上位于样本保持器下方。由此,可以方便地例如自上而下接近样本保持器。这允许操纵样本保持器内的样本或更换保持器支承件中的样本保持器。此外,样本可以仅通过重力保存在样本保持器中,而无需嵌入琼脂糖或其它载体中,并且可以将多个样本彼此相邻地布置。

保持器支承件布置成接收样本保持器并使样本保持器相对于成像物镜移动,使得成像焦平面位于样本保持器内部和感兴趣的位置处。保持器支承件具有驱动系统,该驱动系统布置成使样本保持器沿着三个垂直轴线移位和/或使样本保持器围绕至少一个旋转轴线旋转。由此,可以使保持器支承件机动化。这样,可以牢固地支承和定位或重新定位样本保持器,以便将样本精确定位以进行照明和成像。特别地,这允许自动访问或寻址样本的多个位置。

调整装置布置成使照明光束和成像焦平面沿着检测轴线相对于彼此线性地移位。这种位移可以通过移动照明物镜或调整光束引导装置(例如其反射镜)来实现。这也可以通过移动成像物镜或通过成像物镜后方的光学装置来实现。移动照明物镜、调整光束定向装置、移动成像物镜和成像物镜后方的光学装置也是可以的。

由机动化调节装置产生的位移可以在不到100毫秒的时间内实现。它可以例如由软件控制自动触发而无需人工干预。由此,通过调节结构实现的位移被用来定向/校准照明光束以便与成像物镜的焦平面相交。这样,调节装置允许适当地照射样本内的不同位置。

为了改善显微镜或spim成像的质量,根据本发明已经发现,由于某些倒置的spim装置中存在的照明光和样本保持器的透明底部的非正交入射角,可能会发生照明光束的偏差,这会阻止照明光束与成像物镜的焦平面相交并降低图像质量。折射率偏离浸没介质和样本保持器底部材料的折射率的培养基或生长支持基质(例如琼脂糖、基质胶或水凝胶)的存在会进一步加剧这种现象。由于光束的偏转程度取决于光在样本保持器内行进的距离,因此这会导致样本内部的不同位置被具有不同旋转和平移偏移量的光束照射。因此,必须针对样本内部的每个位置独立地重新校准照明光束,以获得最佳图像质量。由于样本可能会在采集时间内移动和/或生长,因此重新校准也可能随时间发生,尽管其频率不如成像本身。因此,某些倒置的spim布置结构的缺点在于,尽管可以进行多位置成像,但实际上只有其中一部分能够以所需的图像质量成像。

然而,对于根据本发明的显微镜,可以在各种不同位置自动地校准和重新校准光片或照明光束。照明光束在沿着或穿过样本移动时也可以自动重新校准。因此,根据本发明的显微镜可以提供用于对单个样本或多个样本进行成像的倒置的spim布置结构,并允许对所述一个或多个样本进行高效且精确的显微镜或spim成像。

此外,借助于调节装置,光束或照明光束可以被重新定向并调整,以便补偿由于样本保持器内部和外部的不同折射率而导致的偏差。特别地,当照明光束以非垂直角度入射到样本保持器(如果样本周围(即样本保持器内部)的介质的折射率与样本保持器外部的介质不同,则这可能导致失准)时,这种补偿可能是重要的。由此,调节装置允许适当地校准照明光束,使得样本保持器可以基本上独立于任何约束成型,并且可以使用具有不同折射率的介质。

而且,由于在样本内当它们由于照明光束相对于样本保持器的非垂直取向而被以不同角度偏转的光片照射时通常会发生不同的失准,因此调节装置使得适当的补偿成为可能。对于某些种类的样本而言,这种失准甚至可以通过用于生长样本的基质或凝胶的折射率来放大。因此,使用根据本发明的显微镜对样本进行成像可以不受样本保持器的形状或样本保持器内不同位置处的光片、样本保持器内部和外部使用的介质以及基质或凝胶的折射率的影响。

再者,根据本发明的显微镜的调节装置和样本保持器的组合允许对优选地从两侧并同时非常靠近样品保持器的底部或其透明部分(例如距样品保持器的底部或其透明部分小于400μm或甚至小于50μm或20μm)照射的样品进行成像。这可以提高成像的准确性。特别地,当对嵌入到折射率与浸入介质(通常是水)甚至略有不同的凝胶、基质或介质中的样本进行成像时,必须使出射的光行进穿过这种介质的长度尽量小,以使光学像差尽量小。这可以通过靠近样本保持器底部成像来实现。然而,在该位置,照明光束以例如小于40度(°)或甚至小于15°或小于10°的锐角进入样本保持器,这进一步放大了光片的失准。调节装置可以校正失准,从而提高成像的准确性。

优选地,成像物镜相对于重力方向向上定向,并且照明物镜和另外的照明物镜优选地近似水平地定向。在这种定向下,照明物镜的焦平面水平定向,并且用户可以以自然的方式从顶部接近、查看和操纵样本。

优选地,调节装置被实施为与样本的变化的位置同步地改变照明光束和成像焦平面沿着检测轴线相对于彼此的位移。这样,可以自动有效地补偿由于位置的变化而导致的光片或照明光束的失准。

由此,调节装置优选地是电动的并且是电子控制的。这样,调节装置可以自动、快速地操作而无需任何人工干预。例如,这样的系统允许事先设置成像过程,因为它最适合所涉及的样本,而成像过程本身是自动执行的。

优选地,该显微镜包括又一照明物镜,该又一照明物镜布置成沿着又一照射路径出射又一照明光束,其中该又一照明物镜布置成与该照明光束基本上相对地/对向地出射该又一照明光束,并且显微镜包括又一调节装置,以使该又一照明光束和成像焦平面沿着检测轴线相对于彼此线性地移位。这种显微镜允许对样本进行双面或多面照明。特别地,这对于比较大的样本(例如生物样本)可能是必不可少的。例如,这种照明允许减少样本中或样本上损害成像质量的阴影效应。

因此,该又一调节装置优选地构造成使该又一照明光束和所述成像焦平面独立于照明光束与成像焦平面之间沿着检测轴线的相对位移而沿着检测轴线相对于彼此线性地移位。这种布置允许同时精确校准两个照明光束,并因此提高成像质量。

优选地,样本保持器的透明部分沿着检测轴线逐渐变细。由此,逐渐变细的透明部分可以具有圆形底部。这种逐渐变细的透明部分允许将样本从两侧暴露于照明光束。特别地,可以以比较完整的方式有效地照射样本。此外,这种逐渐变细的样本保持器可以由各种合适的材料有效地制造。当配备有具有逐渐变细部分的样本保持器时,照明光束通常以各种非垂直的角度入射到样本保持器,这可以通过根据本发明的显微镜的调节装置有效地补偿。因此,当使用这种样本保持器时,显微镜的调节布置可以是特别有利的。

优选地,照明物镜和/或又一照明物镜与成像物镜构造成保持在各自的固定位置,并且调节装置和/或又一调节装置在空间上偏离物镜。

优选地,调节装置位于照明物镜的后方,并决定照明光束沿着检测轴线的移动。就此而言,术语“后方”是就照明光束的传播方向而言。具体地,当调节装置位于照明物镜的后方时,照明光束首先行进通过或经过调节装置,然后通过或经过照明光学器件。这样的实施例允许有效地校准照明光束并提供相对稳健的设置。

优选地,调节装置主要由光学部件组成。这样的光学部件可以是诸如反射镜、反射器、透镜等元件。特别地,调节装置优选地包括至少一个反射镜或至少两个反射镜。通过使用光学元件,调节装置可以快速且精确地校准或重新校准照明光束。例如,照明光束可以在100ms内(重新)校准。

当在调节装置中包括至少两个反射镜时,它们优选地布置成相对于彼此移动,以实现照明光束的校准。这样的实施例允许有效地实现调节装置。

优选地,显微镜包括旋转装置,以使照明光束在包含有检测轴线的旋转平面或由检测轴线和照射路径限定的旋转平面中旋转移位。通过提供旋转装置,可以使光束或照明光束重定向并进行调整。这可以改善通过调整装置实现的效果,例如补偿由于不同的折射率而导致的偏差。

优选地,旋转装置主要由光学部件组成,所述光学部件可以包括至少一个反射镜或两个反射镜。由此,旋转装置的所述至少一个反射镜或两个反射镜优选地对应于调节装置的所述至少一个反射镜或两个反射镜。可以有效地实现这种旋转装置并且需要比较少的空间。而且,它允许快速而精确地调节和校准照明光束。

优选地,该又一照明物镜与所述照明物镜基本相同。附加地或替代地,该又一调节装置优选地与所述调节装置基本上相同。这样的实施例允许使用双面照明进行精确成像。

优选地,照明物镜和成像物镜被放置在浸没介质中。此外,样本保持器的透明部分优选地由具有与浸没介质的折射率对应的折射率的材料制成。样本保持器的透明部分也可以由具有与要布置在样本保持器内部的介质的折射率基本对应的折射率的材料制成。这样的实施例允许最小化或消除由于不同的折射率引起的偏差,从而改善成像质量。

由此,浸入介质优选为水或水溶液。样本保持器的透明部分优选是由氟化乙烯丙烯制成的膜,其厚度优选在约10μm至约100μm之间,例如25μm。这种材料的折射率与水或水溶液的折射率基本上相同。

优选地,样本包括或布置在具有与浸没介质的折射率不同的折射率的样本介质中。这样的样本介质可以允许样本的适当处理和布置,特别是当是生物样本时。当具有折射率不同的浸没介质和样本介质时,根据本发明的调节装置可以是特别有益的。

优选地,成像物镜被定位成基本上反向于重力方向定向,并且至少一个照明物镜被定位成基本上垂直于重力方向定向。

本发明的另一方面涉及一种对样本进行成像的方法(成像方法),该方法包括以下步骤:用沿着照射路径出射的照明光束来对样本进行照明;对具有成像焦平面的物镜进行成像;检测沿着优选与照射路径成约90°角的检测路径检测从样本出射的光,其中检测光包括至少一部分从样本中出射的光;以及使照明光束和成像焦平面沿着检测路径相对于彼此移位。该成像方法及其优选实施例允许实现以上结合根据本发明的显微镜及其优选实施例描述的效果和益处。

由此,该成像方法优选包括以下步骤:根据样本的变化的位置改变照明光束和成像焦平面沿着检测轴线相对于彼此的位移。改变样本的位置优选包括使样本沿三个垂直轴线中的至少两个垂直轴线移位和/或使样本围绕旋转轴线旋转。

优选地,通过使照明光束和成像焦平面沿着检测路径相对于彼此移位,照明光束被校准,使得其与成像焦平面相交;并且其中样本在给定位置成像以用于照明光束的一组校准。由此,该成像方法优选地包括以下步骤:针对照明光束的一组校准中的每次校准获取样本的图像;基于对比度或其它图像质量特征评估所获取图像,以确定样本给定位置的最佳校准参数;存储最佳校准参数;以及根据所存储的最佳校准参数来使照明光束移位。

本发明的又一方面涉及一种操作如上所述的显微镜的方法(操作方法),其包括以下步骤:将样本布置在显微镜的样本保持器内;显微镜的照明物镜利用沿着照射路径经样本保持器的透明部分出射的照明光束来照射样本;具有成像焦平面的成像物镜接收包括至少一部分由所述样本出射的光的检测光,其中检测光沿着基本上正交于照射路径并限定检测轴线的检测路径传播;以及使照明光束和成像焦平面沿着检测轴线相对于彼此移位。该操作方法及其优选实施例允许实现以上结合根据本发明的显微镜及其优选实施例所述的效果和益处。

优选地,该操作方法还包括以下步骤:基于样本保持器中样本的位置或样本保持器中的一部分样本的位置来改变照明光束沿着检测轴线相对于成像焦平面的位移。

优选地,该操作方法包括通过保持器支承件的驱动系统使样本保持器沿着三个垂直轴线中的至少两个垂直轴线移位的步骤和/或使样本保持器至少围绕一旋转轴线旋转的步骤。

优选地,该操作方法包括使照明光束在检测轴线位于其中的旋转平面中旋转地移位的步骤。

在该操作方法中,样本保持器的透明部分优选地沿着检测轴线逐渐变细,并且照明光束布置成以锐角撞击样本保持器。

本发明的再另一方面涉及一种用于操作如上所述的显微镜的计算机程序。该计算机程序及其优选实施例允许实现以上结合根据本发明的显微镜及其优选实施例描述的效果和益处。

由此,计算机程序优选地具有布置成用于在计算机上执行时实现根据本发明的操作方法的代码结构。

附图说明

在下文中通过示例性实施例并参考附图更详细地描述根据本发明的显微镜和方法,在附图中:

图1示出了用于在根据本发明的操作方法的一个实施例中使用的根据本发明的显微镜的一个实施例的示意图;

图2示出了图1的显微镜的截面;以及

图3示出了一系列示意性图示,示出了照明光束的校准。

具体实施方式

在以下描述中,出于方便的原因使用某些术语且并非旨在限制本发明。术语“右”、“左”、“上”、“下”、“下方”和“上方”指的是图中的方向。所述术语包括清楚地提到的用语以及它们的派生词和具有相似含义的用语。此外,可能使用诸如“在...之下”、“下方”、“下部”、“上方”、“上部”、“近侧”、“远侧”等空间相对术语以描述如图所示的一个元件或特征结构与另一元件或特征结构的关系。这些空间相对术语旨在除图中所示的位置和取向以外还涵盖使用或操作中的装置的不同位置和取向。例如,如果将图中的装置翻转,则被描述为在其它元件或特征结构“之下”或“下方”的元件将在其它元件或特征结构“上方”或“上面”。因此,示例性术语“在...之下”可以涵盖上方和下方的位置和取向两者。所述装置可以其它方式取向(旋转90度或处于其它取向),并且文中使用的空间相对描述得以相应地阐释。同样,对于沿着和围绕各种轴线的运动的描述包括各种特殊的装置位置和取向。

为了避免附图以及对各个方面和示例性实施例的说明的重复,应当理解的是,许多特征是多个方面和实施例共有的。从说明或附图省略一个方面并不意味着该方面从结合了该方面的实施例缺失。相反,该方面可以为了清楚起见而被省略并且避免了冗长的说明。在此上下文中,以下适用于本说明书的其余部分:如果为了使附图清楚,附图包含未在说明书的直接相关部分中阐述的附图标记,则可在之前或之后的说明章节中参照该附图标记。此外,为了清晰起见,如果在一个附图中未对一个部件的所有特征设置附图标记,则参照示出同一部件的其它附图。两个或以上附图中的相似标号表示相同或相似的元件。

图1示出了根据本发明的显微镜1的一个实施例。它包括光束发生器5,该光束发生器5配备有作为调节装置和旋转装置的组合的调节/旋转装置4(ara)。光束发生器5具有朝向相关的反射镜和分光镜53出射光的三个激光源51。特别地,激光源51的出射光52被聚光分色镜53聚集为公共光束。

公共光束被引导到分束器54,分束器54产生光束55和偏转的又一光束55。光束55和该又一光束55由各自的对称布置的反射镜部件相应地处理。为了简单起见,在下文中仅提及光束55的行进。然而,应当理解,这同样适用于又一光束55。

光束55被引导到ara4,其包括镜像对称布置的两个第一可旋转反射镜41、两个第二可旋转反射镜42和两个第三可旋转反射镜43。特别地,光束55被引导到第一可旋转反射镜41,第一可旋转反射镜41将其朝第二可旋转反射镜42重定向,第二可旋转反射镜42通过固定的反射镜56将其朝第三可旋转反射镜43重定向。第一可旋转反射镜41和第二可旋转反射镜42可绕单个平面中的平行轴线枢转。通过调节第一可旋转反射镜41的旋转位置,可以限定光束55撞击第二可旋转反射镜42的部位。通过调节第二可旋转反射镜42的旋转位置,可以限定光束55撞击第三可旋转反射镜43的部位。这允许使光束55在第一平面中移位和旋转。

第三可旋转反射镜43可绕于第一和第二可旋转反射镜41、42的轴线垂直的轴线枢转。通过调节第三可旋转反射镜43的旋转位置,光束55可以在第二平面中移位,该第二平面正交于可利用第一和第二可旋转反射镜41、42使光束55在其中移位的平面。特别地,第三可旋转反射镜43可以是反射镜检流计扫描器,其允许在光束在曝光时间内快速移动以产生光片。

光束55从第三旋转反射镜43提供给聚焦透镜57和准直透镜58。第三旋转反射镜43被放置在透镜57的焦点处。最终反射镜59然后将光束55引导到照明物镜2。然后,照明物镜2沿着照射路径22(图1中未示出)出射从光束55产生的聚焦的照明光束21。

由于上述光学系统是一副对称设置的反射镜,因此存在两个彼此相对的照明物镜2。它们都沿着照射路径22朝向彼此出射照明光束21。这样,照明光束21从相对两侧照射样本61(在图1中不可见)。样本61出射检测光,且其一部分被具有成像焦平面34(在图1中不可见)的成像物镜3收集。因此,其出射沿着与照射路径22成90°角的检测轴线35(图1中未示出)传播的检测光31。成像物镜3会聚检测光31,并经由聚焦透镜32将其提供给包括出射滤光器和相机的检测器33。

在附图描述的上下文中,术语“样本”或“样本介质”可以涉及单个样本、多个样本、作为样本本身的介质或混合或置于介质中的样本。

在图2中,更详细地示出了显微镜1的截面。由此可以看出,样本保持器6居中地位于两个照明物镜2之间。样本保持器6向下逐渐变细并且具有圆弧形的底部。逐渐变细区段和圆弧形的底部形成透明部分62。特别地,透明部分62对于沿着照射路径22传播的照明光束21和检测光31是透明的。

成像物镜3布置在样本保持器6和照明物镜2下方。其取向垂直于照明物镜2的取向。成像物镜3和照明物镜2被放置在浸没介质7中。样本保持器6由保持器支承件(在图2中不可见)承载,该保持器允许移动整个样本保持器6。它还具有朝向上方开口的内部。在样本保持器6中,布置有包含样本的样本介质61。特别地,样本保持器6在向下的方向上——即在重力方向上——是闭合的,使得样本介质61借助于重力被保持在样本保持器6的内部。

如图3中更详细所示,样本介质61由照明光束21照明。特别地,如在图3的顶部视图中所见,一个目的是在成像物镜3的成像焦平面34中照射样本介质61。由于在顶视图中浸没介质7、样本保持器6的透明部分62和样本介质61’的折射率基本上相同,所以即使照明光束21以非正交角度或甚至锐角撞击样本保持器6,照明光束21也可以水平地通过样本保持器6和样本介质61’。ara4允许照明光束21沿着检测轴线35——即沿着图2所示的坐标系的z轴——上下移动。成像焦平面34同样可以独立于照明光束21沿着检测轴线35移动。

然而,如从图3顶部的第二幅图中所示,在浸没介质7和样本介质61”的折射率不同的情况下,照明光束21被偏转,使得它们不会在成像焦平面34中水平通过样本保持器6。这会降低成像质量。可以通过以下两种校正机制来补偿偏转。

如从图3的顶部的第三幅图中可以看出,ara4使照明光束21沿着检测轴线35——即沿着z轴——上下移动。此外,如在图3的下图中所示,ara4使照明光束21在检测轴线35所在的旋转平面中旋转,由此调节照明光束21与样品保持器6的外表面之间的角度。该旋转平面平行于图2的坐标系的y轴和z轴。以这种方式,可以操纵照明光束21,使得它们水平地通过样本保持器6和成像焦平面34中的样本介质61”。这样,样本介质61”可以被完全照明并成像。图3的图仅示出了从一侧的照射,但是,当然,从相反方向的照射也同样适用。

显微镜1可以以如下方式进行操作:用由照明物镜2沿着照射路径22经样本保持器6的透明部分62出射的照明光束21照射布置在样本保持器6内的样本介质61。成像物镜3接收包括至少一部分由样本介质61出射的光的检测光31,其中,检测光31沿着与照射路径22正交并且限定检测轴线35的检测路径传播。ara4使照明光束21沿着检测轴线35(z轴)相对于成像焦平面34移位。ara4还使照明光束21在检测轴线35所在的旋转平面(y-z平面)中旋转移位。照明光束21相对于成像焦平面34的位移基于样本保持器6中样本介质61的位置或样本保持器6中的一部分样本的位置而改变。

因此,利用显微镜1,可以通过用沿着照射路径22出射的照明光束21对样品介质61进行照射来对样品介质61或样品介质进行成像;成像物镜3检测沿着与照射路径22成90°角的检测路径35从样本介质61出射的光,其中检测光31包括至少一部分从样本介质61出射的光;以及使照明光束21沿着检测路径35相对于成像焦平面34移位。根据样本介质61的改变的位置来改变照明光束21相对于成像焦平面34的位移。通过照明光束21相对于成像焦平面34移位,照明光束21被校准,使得其与成像焦平面34相交,其中针对照明光束21的一组校准在给定位置对样本介质61进行成像。由此,针对照明光束的一组校准中的每次校准获取样本介质61的图像;评估所获取的图像,以基于样本介质61的给定位置的对比度或其它图像质量特征来确定最佳校准参数;存储最佳校准参数;使照明光束21按照存储的最佳校准参数移位。

本说明书和图示本发明的各方面和实施例的附图不应被视为限制了限定受保护的发明的权利要求。换言之,虽然已在附图和前面的说明中详细示出和描述了本发明,但这种图示和描述应被看作说明性的或示例性的而不是限制性的。可做出各种机械的、组成的、结构的、电气的和操作上的变更而不脱离此说明书和权利要求书的精神和范围。在一些情形中,未详细示出公知的电路、结构和技术以免使本发明变得难以理解。因此,应理解的是,本领域普通技术人员可以在以下权利要求的范围和精神内作出变更和修改。特别地,本发明涵盖具有上文和下文描述的不同实施例的特征的任意组合的其它实施例。

本公开还涵盖附图所示的所有其它特征,尽管它们在前面或下面的描述中可能未被个别地描述。此外,可从本发明的主题或从所公开的主题放弃附图和说明书中描述的实施例的单一替代方案及其特征的单一替代方案。本公开包括由权利要求或示例性实施例中定义的特征组成的主题以及包含所述特征的主题。

此外,在权利要求书中,用语“包括”不排除其它要素或步骤,并且不定冠词“一”或“一个”不排除多个。单个单元或步骤可实现在权利要求中叙述的多个特征的功能。在相互不同的从属权利要求中叙述特定措施的单纯事实并不表示这些措施的结合不能有利地使用。与定语或值相结合的用语“基本上”、“约”、“大约”等特别是还分别明确地定义该定语或明确地定义该值。给定数值或范围的上下文中的用语“约”指的是例如给定值或范围的20%以内、10%以内、5%以内或2%以内的值或范围。被描述为联接的或连接的构件可电气地或机械地直接联接,或它们可经由一个或多个中间构件间接地联接。权利要求中的任何附图标记均不应被解释为限制保护范围。

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