促动器以及光扫描装置的制作方法

本发明涉及促动器以及光扫描装置。

背景技术：

一直以来，公知一种光扫描装置，其使用将在压电薄膜的上表面形成有上部电极、并在下表面形成有下部电极的压电元件作为驱动源的促动器，使反射入射光的反射镜部绕旋转轴旋转，来扫描反射光。在该促动器中，为了对压电薄膜施加电压，形成有与上部电极连接的上部布线、和与下部电极连接的下部布线(例如参照专利文献1和专利文献2)。

上述的促动器具有用于使反射镜部绕旋转轴旋转的mems构造体，mems构造体在厚度方向上较大地变形。作为mems构造体，为了确保表面的面内方向的刚性并且降低厚度方向的刚性，能够形成折皱构造。

在专利文献3的图4所示的具有折皱构造的mems构造体中，通过在折皱的悬臂部配置压电元件，使之变形，来使反射镜摆动。该行为因压电元件伸长收缩而折皱的悬臂部翘曲，从而作为mems构造体发挥功能，但由于压电元件不仅在悬臂的长边方向上还在短边方向上伸长收缩，所以反射镜部因其影响不仅摆动还进行厚度方向上的并进移动，即有厚度方向上的位移。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2016-1325号公报

专利文献2：日本专利5876329号

专利文献3：日本特开2012-123364号公报

在用于扫描激光来显示图像的投影装置的情况下，与图像的扫描范围相比，反射镜部在厚度方向上的位移充分小，从而认为没有较大的问题。另一方面，在如光学相干断层图像诊断装置(oct；opticalcoherencetomography)、傅立叶变换红外分光光度计(ftir；fouriertransforminfraredspectrometer)那样利用光的干涉的装置的情况下，反射镜部在厚度方向上的位移使反射镜部所反射的光的相位变化。因此，对作为oct、ftir的输出产生较大的影响，从而成为问题。

技术实现要素：

本发明是鉴于上述方面而完成的，其目的在于，通过抑制促动器在厚度方向上的位移，也能够在利用光的干涉的测定装置中利用。

本发明的一个方式的促动器具有：驱动梁170a、170b，其具有沿与预定轴axv垂直的方向延伸的梁173x1、173x2、173y1、173y2，且与驱动对象物120连接；驱动源171a、171b，其形成于上述梁的一个面上；以及肋172，其形成于上述梁的另一个面，在上述驱动源的与肋的端部对置的部分形成有切口部z，通过上述驱动源的驱动，驱动上述驱动对象物使之在绕上述预定轴旋转的方向上摆动。

本发明的另一方式的促动器具有：驱动梁170a、170b，其具有沿与预定轴axv垂直的方向延伸的多个梁173x1、173x2、173y1、173y2，相邻的上述梁的端部彼此通过折回部171x、171y连结，从而整体具有之字形状的折皱构造，并且与驱动对象物连接；驱动源171a、171b，其形成于上述梁的一个面上；以及肋172，其形成于上述梁的另一个面，从上述梁与上述折回部之间的连结位置至上述肋的距离为上述梁在与上述预定轴垂直的方向上的长度的10％以上且20％以下，通过上述驱动源的驱动，驱动上述驱动对象物使之在绕上述预定轴旋转的方向上摆动。

此外，上述符号是为了容易理解而标注的，只不过是一个例子，并不限定于图示的方式。

发明的效果如下。

根据公开的技术，通过抑制促动器在厚度方向上的位移，也能够在利用光的干涉的测定装置中利用。

附图说明

图1的(a)是示出实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的上表面侧的立体图，(b)是下表面侧的立体图。

图2是示出实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的上表面侧的俯视图。

图3是将实施方式的光扫描装置的光扫描部的主要部分放大的上表面侧的俯视图。

图4是示出实施例1的厚度方向位移的特性的图。

图5是示出实施例2的厚度方向位移的特性的图。

图6的(a)是说明实施例3的光扫描装置的光扫描部的驱动时的驱动梁的姿势的立体图，(b)是说明在驱动时产生的应力的图。

图7是示出实施例4的肋最大应力的特性的图。

图8是示出实施例5的肋最大应力的特性的图。

图中：

10—支撑层，11—埋入(box)层，12—活性层，100—光扫描部，110—反射镜，120—反射镜支撑部，121a、121b—连结梁，130a、130b—水平驱动梁，131a、131b—水平驱动源，131a1、131a2、131a3、131a4—水平驱动源，131b1、131b2、131b3、131b4—水平驱动源，131x1、131x2、131x3、131x4—折回部，131y1、131y2、131y3、131y4—折回部，132—肋，160—可动框，170a、170b—垂直驱动梁，171a、171b—垂直驱动源，171a1、171a2—垂直驱动源，171b1、171b2—垂直驱动源，171x、171y—折回部，172—肋，173x1、173x2、173y1、173y2—垂直梁，180—固定框，z—切口部。

具体实施方式

以下，参照附图对用于实施发明的方式进行说明。各附图中，对同一构成部分标注同一符号，有时省略重复的说明。

＜实施方式＞

图1的(a)是示出实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的上表面侧的立体图。图1的(b)是示出实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的下表面侧的立体图。图2是示出实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的上表面侧的俯视图。本实施方式的光扫描部100能够收纳于陶瓷封装体和封装罩等封装部件来使用。

光扫描部100是使反射镜110摆动来扫描从光源照射的激光入射光的部分。光扫描部100例如是利用作为压电元件的驱动源使反射镜110驱动的mems反射镜等。向设于光扫描部100的反射镜110射入激光入射光，并二维地扫描从反射镜110射出的光。

如图1的(a)、图1的(b)以及图2所示，光扫描部100具有反射镜110、反射镜支撑部120、连结梁121a、121b、水平驱动梁130a、130b、可动框160、垂直驱动梁170a、170b以及固定框180。反射镜110支撑于反射镜支撑部120的上表面。

在支撑反射镜110的反射镜支撑部120的两侧配置有一对水平驱动梁130a、130b，该一对水平驱动梁130a、130b与反射镜支撑部120连接，并支撑反射镜110和反射镜支撑部120。反射镜支撑部120与水平驱动梁130a、130b通过连结梁121a、121b连接。并且，水平驱动梁130a、130b、连结梁121a、121b、反射镜支撑部120以及反射镜110由可动框160从外侧支撑。水平驱动梁130a具有沿与水平旋转轴axh正交的垂直旋转轴axv的方向延伸的多个矩形的水平梁，并且相邻的水平梁的端部彼此通过折回部131x2、131x3、131x4连结，从而整体具有之字形状的折皱构造。水平驱动梁130a的一方与可动框160的内周侧连接，另一方经由折回部131x1以及连结梁121a而与反射镜支撑部120连接。并且，水平驱动梁130b具有沿与水平旋转轴axh正交的垂直旋转轴axv的方向延伸的多个矩形的水平梁，并且相邻的水平梁的端部彼此通过折回部131y2、131y3、131y4连结，从而整体具有之字形状的折皱构造。水平驱动梁130b的一方与可动框160的内周侧连接，另一方经由折回部131y1以及连结梁121b而与反射镜支撑部120连接。

并且，在可动框160的两侧配置有与可动框160连接的一对垂直驱动梁170a、170b。垂直驱动梁170a具有沿水平旋转轴axh方向延伸的多个矩形的垂直梁173x1、173x2，并且相邻的垂直梁的端部彼此通过折回部171x连结，从而整体具有之字形状的折皱构造。垂直驱动梁170a的一方与固定框180的内周侧连接，另一方与可动框160的外周侧连接。并且，垂直驱动梁170b具有沿水平旋转轴axh方向延伸的多个矩形的垂直梁173y1、173y2，并且相邻的垂直梁的端部彼此通过折回部171y连结，从而整体具有之字形状的折皱构造。垂直驱动梁170b的一方与固定框180的内周侧连接，另一方与可动框160的外周侧连接。

水平驱动梁130a、130b分别具有作为压电元件的水平驱动源131a、131b。并且，垂直驱动梁170a、170b分别具有作为压电元件的垂直驱动源171a、171b。水平驱动梁130a、130b、垂直驱动梁170a、170b作为驱动反射镜110使之向上下或者左右摆动来扫描激光的促动器发挥功能。

在水平驱动梁130a、130b的上表面，分别按照每个作为不包括曲线部的矩形单位的水平梁地形成有水平驱动源131a、131b。水平驱动源131a是形成于水平驱动梁130a的上表面的压电元件，包括压电薄膜、形成于压电薄膜之上的上部电极、以及形成于压电薄膜的下表面的下部电极。水平驱动源131b是形成于水平驱动梁130b的上表面的压电元件，包括压电薄膜、形成于压电薄膜之上的上部电极、以及形成于压电薄膜的下表面的下部电极。

水平驱动梁130a、130b通过由在每个水平梁中相邻的水平驱动源131a、131b彼此施加以驱动波形的中央值为基准上下反转而成的波形的驱动电压，使相邻的水平梁向上方翘曲，来将各水平梁的上下运动的积累传递至反射镜支撑部120。反射镜110以及反射镜支撑部120因水平驱动梁130a、130b的动作被驱动而在绕水平旋转轴axh旋转的方向上摆动，将该摆动的方向称作水平方向，并将在反射镜110的光反射面的中心通过的上述的摆动轴称作水平旋转轴axh。例如水平驱动梁130a、130b所进行的水平驱动能够使用非共振振动。

例如，水平驱动源131a包括分别形成于构成水平驱动梁130a的第一个至第四个各水平梁之上的四个水平驱动源131a1、131a2、131a3、131a4。并且，水平驱动源131b包括分别形成于构成水平驱动梁130b的第一个至第四个各水平梁之上的四个水平驱动源131b1、131b2、131b3、131b4。在该情况下，通过以同波形来驱动水平驱动源131a1、131b1、131a3、131b3，并以将前者和驱动波形的中央值作为基准上下反转而成的波形来驱动水平驱动源131a2、131b2、131a4、131b4，从而能够驱动反射镜110以及反射镜支撑部120使它们在水平方向上摆动。

在垂直驱动梁170a、170b的上表面，分别按照每个作为不包括曲线部的矩形单位的垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2地形成有垂直驱动源171a、171b。垂直驱动源171a是形成于垂直驱动梁170a的上表面的压电元件，包括压电薄膜、形成于压电薄膜之上的上部电极、以及形成于压电薄膜的下表面的下部电极。垂直驱动源171b是形成于垂直驱动梁170b的上表面的压电元件，包括压电薄膜、形成于压电薄膜之上的上部电极、以及形成于压电薄膜的下表面的下部电极。

垂直驱动梁170a、170b通过由在垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2的每一个中相邻的垂直驱动源171a、171b彼此施加以驱动波形的中央值为基准上下反转而成的波形的驱动电压，使相邻的垂直梁向上方翘曲，来将各垂直梁的上下运动的积累传递至可动框160。与可动框160连接的反射镜110因垂直驱动梁170a、170b的动作被驱动而在与水平旋转轴axh的方向正交的方向上摆动，将该摆动的方向称作垂直方向，并将在反射镜110的光反射面的中心通过的上述的摆动轴称作垂直旋转轴axv。例如垂直驱动梁170a、170b所进行的垂直驱动能够使用非共振振动。

例如，垂直驱动源171a包括分别形成于构成垂直驱动梁170a的第一个至第二个各垂直梁173x1、173x2之上的两个垂直驱动源171a1、171a2。并且，垂直驱动源171b包括分别形成于构成垂直驱动梁170b的第一个至第二个各垂直梁173y1、173y2之上的两个垂直驱动源171b1、171b2。在该情况下，通过以同波形来驱动垂直驱动源171a1、171b1，并以将前者和驱动波形的中央值作为基准上下反转而成的波形驱动垂直驱动源171a2、171b2，从而能够使与反射镜110连接的可动框160在垂直方向上摆动。

在本实施方式的光扫描装置中，作为促动器发挥功能的mems构造体例如由具有支撑层、埋入(box)层以及活性层的soi基板形成。上述的固定框180和可动框160等由支撑层、box层以及活性层这三层形成。另一方面，水平驱动梁130a、130b以及垂直驱动梁170a、170b等除固定框180和可动框160等以外的部分由活性层这一单层形成。或者，也可以由box层和活性层这两层形成。

在本实施方式的光扫描装置中，在构成水平驱动梁130a、130b的水平梁的一个面(上表面)，如上所述地形成有水平驱动源131a、131b，并在另一个面(背面)，在构成水平驱动梁130a、130b的水平梁的中央部亦即水平旋转轴axh上形成有肋132。肋132形成为在水平梁的长边方向上较短且在短边方向上较长的形状。形成于构成水平驱动梁130a、130b的水平梁的另一个面(背面)的肋132例如是为了当在mems构造体的制造工序中进行切割时抑制折皱部分因振动、水流振动从而破损的情况而设置的。

并且，在本实施方式的光扫描装置中，在构成垂直驱动梁170a、170b的垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2的一个面(上表面)，如上所述地形成有垂直驱动源171a、171b。在垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2的另一个面(背面)形成有肋172。肋172例如形成于离垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2与折回部171x、171y之间的连结部分的距离为垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2的长度的10～20％的位置。肋172形成为在垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2的长边方向上较短且在短边方向上较长的形状。通过设置形成于构成垂直驱动梁170a、170b的垂直梁的另一个面(背面)的肋172，来防止垂直驱动梁170a、170b向上方的翘曲和不必要地向正交的方向(垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2的宽度(短边)方向)的翘曲，从而能够抑制反射镜支撑部120在厚度方向上的位移量。

并且，在本实施方式的光扫描装置中，在反射镜支撑部120的反射镜110形成面的背面也形成有肋。形成于反射镜支撑部120的背面的肋例如以防止反射镜支撑部不必要地翘曲的目的来设置。

形成于构成垂直驱动梁170a、170b的垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2的另一个面(背面)的肋172具有与固定框180以及可动框160相同的高度(厚度)。即，在作为光扫描装置的促动器发挥功能的mems构造体由soi基板形成的情况下，在由活性层形成的垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2的背面中，由box层和支撑层形成肋172。构成水平驱动梁130a、130b的水平梁由活性层形成，形成于水平梁的另一个面(背面)的肋132由box层和支撑层形成。反射镜支撑部120由活性层形成，形成于反射镜支撑部120的反射镜110形成面的背面的肋由box层和支撑层形成。并且，除了利用soi基板的支撑层以外，还可以通过对体硅进行蚀刻来形成台阶，从而设置肋。

图3是将本实施方式的光扫描装置的光扫描部的主要部分放大的上表面侧的俯视图。在构成垂直驱动梁170b的垂直梁173y1、173y2的一个面(上表面)形成有作为压电元件的垂直驱动源171b(171b1、171b2)，在另一个面(背面)且在虚线所示的位置形成有肋172。并且，在本实施方式的光扫描装置的光扫描部中，在作为压电元件的垂直驱动源171b1、171b2的与肋172的端部对置的部分形成有切口部z。切口部z是在垂直梁173y1、173y2的一个面的俯视情况下作为压电元件的垂直驱动源171b1、171b2的一部分呈半圆形状地被除去而成的切口部。

图3中对附图中方的垂直驱动梁170b进行了说明，但垂直驱动梁170a也是相同的结构。

在上述的光扫描装置的垂直驱动梁170a、170b中，若对作为压电元件的垂直驱动源171a、171b施加电压，则垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2在长边方向上翘曲，并且在短边方向上也稍微产生翘曲。使反射镜支撑部120摆动需要长边方向上的翘曲，但因在短边方向上也翘曲，从而反射镜支撑部120与摆动动作同步地也产生厚度方向上的位移。

在本实施方式的光扫描装置中，在构成垂直驱动梁170a、170b的垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2的另一个面(背面)形成有肋172，该肋172形成为在垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2的长边方向上较短且在短边方向上较长的形状。由此抑制垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2在短边方向上的翘曲，从而能够抑制反射镜支撑部120在厚度方向上的位移。

通过抑制垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2在短边方向上的翘曲，并抑制反射镜支撑部120在厚度方向上的位移，能够应用于oct、ftir等利用光的干涉来进行计测的装置的光扫描装置。

例如在从外侧起数第一个垂直梁173y2中，垂直梁173y2的宽度wb2为1.83mm，肋172的长度lr为1.79mm，肋172的宽度为0.1mm。在从外侧起数第二个垂直梁173y1中，垂直梁173y1的宽度wb1为1.80mm，肋172的长度lr为1.76mm，肋172的宽度为0.1mm。

肋172在垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2的短边方向(宽度方向)上的长度优选为垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2的宽度的70％以上。由此能够充分享受设置肋172来抑制反射镜支撑部120在厚度方向上的位移量的效果。

垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2与折回部171x、171y之间的连结位置同肋172的距离(离折回部的距离)相对于垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2在长边方向上的长度为10％以上20％以下。由此能够抑制反射镜支撑部120在厚度方向上的位移，并且能够抑制反射镜的振动角灵敏度(对压电元件每施加电压1v时的反射镜的振动角)的降低。

若如上所述地为了抑制反射镜支撑部120在厚度方向上的位移而设置肋172，则利用肋172来抑制垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2的翘曲，从而在肋172的端部的根部分产生与此对应的应力。若该应力超过极限应力，则有时裂缝一口气进展而直至破坏。在本实施方式中，在与肋172的端部对置的部分且在作为压电元件的垂直驱动源171a、171b设有切口部z。由此，作为肋172的正上方的压电元件的垂直驱动源171a、171b的宽度变窄且短边方向上的翘曲变小，从而不仅减少应力，从其它部分传递的应力也由位于与肋172之间的硅的活性层分散。由此能够减少对肋172的端部的根部分施加的应力。

例如，作为压电元件的垂直驱动源171a、171b的切口部z的宽度wco为0.4mm，切口部z的深度dco为0.16mm。

如上所述，根据本实施方式的光扫描装置的光扫描部和成为光扫描部的促动器，在构成垂直驱动梁170a、170b的垂直梁的另一个面(背面)形成有肋172。由此，能够防止垂直驱动梁170a、170b的向上方的翘曲和不必要地向正交的方向(垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2的宽度(短边)方向)的翘曲，从而能够抑制反射镜支撑部120在厚度方向上的位移量。另外，在与肋172的端部对置的部分，且在作为压电元件的垂直驱动源171a、171b设有切口部z，由此能够减少对肋172的端部的根部分施加的应力。并且，肋172设于从垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2与折回部171x、171y之间的连结位置离开垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2的长边方向的长度的10％以上20％以下的距离的位置，从而能够抑制反射镜支撑部120在厚度方向上的位移，并且能够抑制反射镜的振动角灵敏度(对压电元件每施加电压1v时的反射镜的振动角)的降低。

＜实施例1＞

图4是示出实施例1的厚度方向位移的特性的图。在上述的实施方式的光扫描装置中，通过模拟计算出使反射镜支撑部120倾斜±1°时的反射镜支撑部120的厚度方向位移根据肋172的长度相对于垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2的宽度的相对值(肋长度/梁宽度)如何变化。图4中，纵轴是厚度方向位移，横轴是肋长度/梁宽度。此处，在肋长度/梁宽度为零的情况下，相当于未设置肋的情况。在未设置肋172的情况下，厚度方向位移为±2.6μm，与此相对，在以与梁宽度同等的长度设有肋172的情况下为±0.03μm。确认到通过设置肋172，能够抑制反射镜支撑部120在厚度方向上的位移量。肋长度越长，越能够抑制厚度方向位移，但若设为梁宽度的70％以上的长度，则能够获得充分的效果，从而优选。

＜实施例2＞

图5是示出实施例2的厚度方向位移的特性的图。在上述的实施方式的光扫描装置中，通过模拟计算出使反射镜支撑部120倾斜±1°时的反射镜支撑部120的厚度方向位移根据肋172的位置如何变化。图4中，纵轴是厚度方向位移，横轴是离折回部的距离/梁长度。离折回部的距离是垂直梁173x1、173x2、173y1、173y2与折回部171x、171y之间的连结位置同肋172的距离。肋172的位置越接近折回部171x、171y，针对厚度方向上的位移的效果越大，但若接近折回部171x、171y并使离折回部的距离/梁长度小于10％，则反射镜的振动角灵敏度(对压电元件每施加电压1v时的反射镜的振动角)降低。因此，优选使离折回部的距离/梁长度为10％以上20％以下。

＜实施例3＞

图6的(a)是说明实施例3的光扫描装置的光扫描部的驱动时的驱动梁的姿势的立体图，图6的(b)是说明在驱动时产生的应力的图。如图6的(a)所示，当垂直驱动光扫描部时，肋172能够抑制构成垂直驱动梁170b的垂直梁在短边方向上的翘曲。此时，在肋172的端部产生剥离方向的应力。尤其在光扫描部由soi基板形成的情况下，box层的强度比硅的活性层的强度低，从而有时从该处开始产生裂缝直至破坏。

图6的(b)是用于说明在驱动时产生的应力并将图6的(a)的x所示的部分放大的图。附图中，色调的浓度越浓，示出应力越大。在切口部z未设置于作为压电元件的垂直驱动源171a、171b的情况下，在肋172的端部的根部分产生较大的应力。当使反射镜倾斜1°时，对肋172施加的剥离方向的应力最大为7.8mpa。如本实施方式那样，若在作为压电元件的垂直驱动源171a、171b设置切口部z，则作为肋172的正上方的压电元件的垂直驱动源171a、171b的宽度变窄，短边方向上的翘曲变小，从而应力减少。另外，未设切口的部分在短边方向上的翘曲所产生的应力由肋172与作为压电元件的垂直驱动源171a、171b之间的硅的活性层而分散。由此，对肋172的端部的根部分施加的应力减少。当使反射镜倾斜1°时，对肋172施加的剥离方向的应力最大为5.8mpa，减少了约3成的应力。

＜实施例4＞

图7是示出实施例4的肋最大应力的特性的图。在上述的实施方式的光扫描装置中，通过模拟计算出当使反射镜支撑部120倾斜±1°时肋172的端部的根部分所产生的最大应力(肋最大应力)根据切口部z的深度dco相对于肋172的长度的相对值(切口深度/肋长度)如何变化。图7中，纵轴是肋最大应力，横轴是切口深度/肋长度。如图3所示，切口部z的深度dco即切口深度设为肋172的前端与在肋的长度方向上最远离切口部z的外形的肋的前端的位置之间的距离。切口深度相当于在肋172的长度方向上的切口部z的大小。若将切口深度设为肋长度的14％以上，则抑制肋所产生的应力。即使进一步增大14％以上，效果也不会较大地改变。另一方面，使切口深度越大，作为压电元件的垂直驱动源171a、171b的面积越下降，从而反射镜振动角的灵敏度越下降。因此，优选将切口深度设为肋长度的14％以下，最优选为14％左右。

＜实施例5＞

图8是示出实施例5的肋最大应力的特性的图。在上述的实施方式的光扫描装置中，通过模拟计算出当使反射镜支撑部120倾斜±1°时肋172的端部的根部分所产生的最大应力(肋最大应力)根据切口部z的宽度wco与肋172的宽度的差(切口宽度－肋宽度)如何变化。图8中，纵轴是肋最大应力，横轴是切口宽度－肋宽度。在切口部z的宽度与肋172的宽度的差小于0.2mm的情况下，切口部z的宽度较宽的话应力降低，但在0.2mm以上的情况下，针对肋最大应力的效果基本不变。另一方面，切口部z越大，作为压电元件的垂直驱动源171a、171b的面积越下降，从而反射镜振动角的灵敏度越下降。因此，切口宽度－肋宽度优选为0.2mm以下，最优选为0.2mm左右。

以上，对优选的实施方式进行了说明，但不限定于上述的实施方式，在不脱离权利要求书所记载的范围的情况下，能够对上述的实施方式实施各种变形以及置换。例如，在上述的实施方式中，对在具有反射镜的光扫描装置中应用了促动器的方式进行了说明，但促动器的驱动对象物也可以不是反射镜，本发明也能够应用于不具有反射镜的促动器。并且，本发明的光扫描装置能够优选地应用于眼底检查装置的光学相干断层扫描仪。在眼底检查装置的光学相干断层扫描仪中，由于如投影仪那样一个轴高速动作，所以不需要共振驱动，并且要求能够自由地设定并调整振角量来进行光扫描，从而本实施例的两个轴均适用非共振驱动的结构。并且，也能够应用于投影装置。并且，在上述的实施方式中，对在构成垂直驱动梁的垂直梁的背面形成有肋，并在与肋的端部对置的位置处的作为压电元件的垂直驱动源设有切口部的结构进行了说明，但并不限定于此。即使在垂直驱动源未设有切口部的情况下，作为肋的位置，也能够构成为离折回部的距离/梁长度为10％以上且20％以下。能够抑制在驱动时反射镜支撑部在厚度方向上的位移，并且能够不使反射镜的振动角灵敏度(对压电元件每施加电压1v时的反射镜的振动角)降低，从而能够优选使用。