技术特征:
技术总结
本发明涉及曝光机技术领域,公开一种直写式曝光机工作台组件及直写式曝光机。其中直写式曝光机工作台组件包括平行且间隔设置于工作台上卷放装置和卷收装置,用于对待曝光卷材的卷放和卷收;与工作台连接的移动装置,被配置为能带动工作台相对曝光系统移动,以使曝光系统能对卷放装置和卷收装置之间的待曝光材料进行曝光。还公开了一共包括上述直写式曝光机工作台组件的直写式曝光机。本发明通过将卷放装置和卷轴装置直接安装在工作台上,实现待曝光卷材与工作台在曝光时时刻保持相对静止,不会对待曝光卷材上靠近曝光区域的部分产生拉扯,减少了对卷材品质的影响,提高的曝光质量。
技术研发人员:蔡志国;王友车
受保护的技术使用者:苏州微影激光技术有限公司
技术研发日:2019.05.10
技术公布日:2019.07.12