辅助图形的添加方法、添加装置、存储介质和处理器与流程

本申请涉及半导体领域，具体而言，涉及一种辅助图形的添加方法、添加装置、存储介质和处理器。

背景技术：

一个版图中通常既有密集分布的图形(如等间距1；1的线条)，也有稀疏的图形(如独立的线条)。特别是逻辑器件的设计，具有更大的任意性。理论和实验结果都清楚地表明，密集分布图形的光刻工艺窗口与稀疏图形的光刻工艺窗口是不一致的。适用于密集图形曝光的光照条件，并不适合稀疏图形的曝光。如果在同一个掩模上既有密集图形又有稀疏图形，共同的光刻工艺窗口就小。

而且通过观测，密集线条(线：间隙＝1:1)的光刻工艺窗口大于独立线条的工艺窗口，半稀疏线条(线：间隙＝1:3)的光刻工艺窗口甚至更小于独立线条的工艺窗口。在离轴照明条件下，这种工艺窗口与图形密集度的关系更加明显。

在掩膜版的设计中添加曝光辅助图形可以解决后期图形工艺窗口太小的技术难题。曝光辅助图形最早于90nm节点时被引入，几乎与基于模型的opc的引入同时。曝光辅助图形是一些很细小的图形，它们被放置在系数图形的周围，使得稀疏图形在光学的角度上看像密集图形。这些辅助图形必须小于光刻机的分辨率，即亚分辨率。在曝光时，它们只对光线起散射作用，而不应该在光刻胶上形成图像。因此，曝光辅助图形也成为亚分辨率的辅助图形或散射条。另一方面，辅助图形也不能太小，太小的辅助图形将加剧掩模制造的难度，使掩模的成本大幅度上升。

在90nm节点时，通过建立一些辅助图形插入的规则来实现。规则确定了辅助线条的宽度，在宽度周期(等于两个图形之间的距离，即两个图形之间的间隔宽度与一个图形的线宽之和)等于多少时插入第一个辅助线条，宽度周期多少时插入第二个辅助线条等。辅助图形的尺寸和放置的位置是通过曝光的实验来确定的，成本很高。并且，随着节点进一步减小，该方法的精确性也较差。

在背景技术部分中公开的以上信息只是用来加强对本文所描述技术的背景技术的理解，因此，背景技术中可能包含某些信息，这些信息对于本领域技术人员来说并未形成在本国已知的现有技术。

技术实现要素：

本申请的主要目的在于提供一种辅助图形的添加方法、添加装置、存储介质和处理器，以解决现有技术中基于规则的辅助图形插入法的精确度较低的问题。

为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种辅助图形的添加方法，该添加方法包括：根据预制作图形确定测试图形，所述测试图形包括主体图形和辅助图形，所述辅助图形为通过模型计算法得到的；根据所述测试图形的至少部分提取所述辅助图形的添加规则。

进一步地，在根据预制作图形确定测试图形之后，在根据所述测试图形的至少部分提取所述辅助图形的添加规则之前，所述添加方法还包括：选择所述测试图形中的至少部分作为处理区域。

进一步地，所述选择所述测试图形中的至少部分作为处理区域包括：检测所述测试图形中是否存在归属不明的所述辅助图形，所述归属不明的所述辅助图形为不确定所属所述主体图形的所述辅助图形；在存在归属不明的所述辅助图形的情况下，将包括归属不明的所述辅助图形以及相邻的所述主体图形的区域作为所述处理区域。

进一步地，所述检测所述测试图形中是否存在归属不明的所述辅助图形包括：检测所述测试图形中的任意两个所述主体图形之间的所述辅助图形的个数；在两个所述主体图形之间的所述辅助图形的个数为奇数的情况下，确定存在归属不明的所述辅助图形。

进一步地，根据所述测试图形的至少部分提取所述辅助图形的添加规则为根据所述处理区域提取所述辅助图形的添加规则，所述根据所述处理区域提取所述辅助图形的添加规则包括：计算所述处理区域中的归属不明的所述辅助图形与相邻的各所述主体图形的距离；在归属不明的所述辅助图形与其中的一个所述主体图形的距离最小的情况下，确定与归属不明的所述辅助图形距离最小的所述主体图形为归属不明的所述辅助图形的归属。

进一步地，所述计算所述处理区域中的归属不明的所述辅助图形与相邻的各所述主体图形的距离包括：获取所述处理区域中的归属不明的所述辅助图形的中心坐标；获取所述处理区域中与归属不明的所述辅助图形相邻的各所述主体图形的中心坐标；计算归属不明的所述辅助图形的中心坐标与各所述主体图形的中心坐标的距离，得到归属不明的所述辅助图形与相邻的各所述主体图形的距离。

进一步地，所述测试图形包括两个图形层，其中一个图形层为所述主体图形，另一个所述图形层为所述辅助图形。

为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种辅助图形的添加装置，包括：确定单元，用于根据预制作图形确定测试图形，所述测试图形包括主体图形和辅助图形，所述辅助图形为通过模型计算法得到的；提取单元，用于根据所述测试图形的至少部分提取所述辅助图形的添加规则。

根据本申请的另一方面，提供了一种存储介质，所述存储介质包括存储的程序，其中，所述程序执行任意一种所述的添加方法。

根据本申请的另一方面，提供了一种处理器，所述处理器用于运行程序，其中，所述程序运行时执行任意一种所述的添加方法。

应用本申请的技术方案，上述的辅助图形的添加方法中，首先根据预制作图形确定测试图形，该测试图形中的辅助图形通过模型计算法得到，即该测试图形中的辅助图形为基于模型的辅助图形，该模型计算法为本领域中公知的方法，该方法据辅助图形的尺寸及插入位置计算出主体图形的成像对比度，然后不断调整这些参数，直到获得的对比度最大，此时，对应的辅助图形的尺寸及插入位置为最终确定的尺寸及插入位置，此方法获取的辅助图形的精度非常高，因此，包括该辅助图形的测试图形也非常准确，进而根据该测试图形提取的添加规则更加准确，使得后续利用这些添加规则在预制作图形中添加的辅助图形更加准确。且该方法得到了添加规则，后续可以利用添加规则在预制作图形中添加辅助图形，应用起来速度较快且方便简单，该方法满足了对量产对速度和精度的双重需求。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1示出了根据本申请的辅助图形的添加方法的实施例的流程示意图；

图2示出了根据本申请的辅助图形的添加装置的实施例的结构示意图；

图3和图4为本申请的两种二维主体图形的设计图；

图5示出了本申请的一种一维图形的设计图；以及

图6示出了本申请的一种处理区域的示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

现有技术中基于规则的辅助图形插入法的精确度较低的问题，为了解决这一个问题，根据本申请的实施例，提供了一种辅助图形的添加方法。

图1是根据本申请实施例的辅助图形的添加方法的流程图。如图1所示，该方法包括以下步骤：

步骤s101，根据预制作图形确定测试图形，上述测试图形包括主体图形和辅助图形，上述辅助图形为通过模型计算法得到的；

步骤s102，根据上述测试图形的至少部分提取上述辅助图形的添加规则。

上述的辅助图形的添加方法中，首先根据预制作图形确定测试图形，该测试图形中的辅助图形通过模型计算法得到，即该测试图形中的辅助图形为基于模型的辅助图形，该模型计算法为本领域中公知的方法，该方法据辅助图形的尺寸及插入位置计算出主体图形的成像对比度，然后不断调整这些参数，直到获得的对比度最大，此时，对应的辅助图形的尺寸及插入位置为最终确定的尺寸及插入位置，此方法获取的辅助图形的精度非常高，因此，包括该辅助图形的测试图形也非常准确，进而根据该测试图形提取的添加规则更加准确，使得后续利用这些添加规则在预制作图形中添加的辅助图形更加准确。且该方法得到了添加规则，后续可以利用添加规则在预制作图形中添加辅助图形，应用起来速度较快且方便简单，该方法满足了对量产对速度和精度的双重需求。

需要说明的是，没有特殊说明的情况下，本申请中的辅助图形均为亚分辨率的辅助图形。

一种具体的实施例中，上述根据预制作图形确定测试图形包括：根据预制作图形确定主体图形；根据主体图形确定上述辅助图形。

在实际的应用过程中，测试图形中一般包括多个主体图形和多个辅助图形，如果直接利用整个测试图形提取添加规则，则工作量较大，为了减少提取规则时的工作量，本申请的一种实施例中，在根据预制作图形确定测试图形之后，在根据上述测试图形的至少部分提取上述辅助图形的添加规则之前，上述添加方法还包括：选择上述测试图形中的至少部分作为处理区域。

利用处理区域提取添加规则，则处理区域应该是包括主体图形和辅助图形的区域，在实际的应用过程中，可以选择包括主体图形和辅助图形的任何区域作为处理区域。为了提取更加准确和全面的添加规则，本申请的一种实施例中，上述选择上述测试图形中的至少部分作为处理区域包括：检测上述测试图形中是否存在归属不明的上述辅助图形，上述归属不明的上述辅助图形为不确定所属上述主体图形的上述辅助图形；在存在归属不明的上述辅助图形的情况下，将包括归属不明的上述辅助图形以及相邻的上述主体图形的区域作为上述处理区域。

在包括了归属不明的辅助图形和对应的主体图形的基础上，处理区域的大小可以根据实际情况而定，可以在刚好包括归属不明的辅助图形和对应的主体图形的区域的基础上向四周扩展50nm以上，这样可能将主体图形包括的更多些，从而更准确地确定归属不明的辅助图形的所属的主体图形。

在应用的过程中，需要判断哪些辅助图形为归属不明的辅助图形，实际的处理过程中，可以通过肉眼来判断，当一个辅助图形看上去与几个主体图形的距离都差不多时，可以确定该辅助图形为归属不明的辅助图形。

当然，也可以通过其他的方法来判断，一种具体的实施例中，上述检测上述测试图形中是否存在归属不明的上述辅助图形包括：检测上述测试图形中的任意两个上述主体图形之间的上述辅助图形的个数；在两个上述主体图形之间的上述辅助图形的个数为奇数的情况下，确定存在归属不明的上述辅助图形。

在选择处理区域后，根据处理区域来提取添加规则的情况下，本申请的一种实施例中，上述根据上述处理区域提取上述辅助图形的添加规则包括：计算上述处理区域中的归属不明的上述辅助图形与相邻的各上述主体图形的距离；在归属不明的上述辅助图形与其中的一个上述主体图形的距离最小的情况下，确定与归属不明的上述辅助图形距离最小的上述主体图形为归属不明的上述辅助图形的归属，将归属不明的辅助图形以及对应的主体图形的参数以及二者之间的距离作为添加规则，其中参数包括辅助图形的形状和尺寸。该实施例中获取的添加规则更加全面、更加准确且速度较快。

当然，本申请的确定归属不明的辅助图形的归属还可以采用其他的方法，比如用局域主体图形的光强分布/灰度图/空间像(guidancemap)来确认sraf的归属，具体过程如下包括：随着技术的进一步发展，辅助图形可以玩去哪通过模型计算的办法自动插入。根据sraf的尺寸及插入的位置计算主图形(非辅助图形的部分)的成像对比度，然后不断调整这些参数，直到获得最大的对距离变化的计算结果。在这个过程中，要对辅助图形的大小设置限制条件，以保证最终的结果能符合掩模制备的要求。但是该方法速度比较慢。

计算归属不明的辅助图形与相邻的各上述主体图形的距离可以采用现有技术中的任何方法，本申请的一种实施例中，上述计算上述处理区域中的归属不明的上述辅助图形与相邻的各上述主体图形的距离包括：获取上述处理区域中的归属不明的上述辅助图形的中心坐标；获取上述处理区域中与归属不明的上述辅助图形相邻的各上述主体图形的中心坐标；计算归属不明的上述辅助图形的中心坐标与各上述主体图形的中心坐标的距离，得到归属不明的上述辅助图形与相邻的各上述主体图形的距离。

当然，本申请的计算主体图形与归属不明的辅助图形之间的距离也可以不计算二者的中心之间的距离，还可以计算二者的边界之间的距离等，本领域技术人员可以根据实际情况选择合适的方法计算二者的距离。

在实际的应用过程中，为了将辅助图形和主体图形分离开，使得后续的过程中能够很容易地分辨哪个图形为辅助图形，哪个为主体图形，从而简化该添加方法，本申请的一种具体的实施例中，上述测试图形包括两个图形层，其中一个图形层为上述主体图形，另一个上述图形层为上述辅助图形。

当然，本申请的上述测试图形并不限于包括两个图形层，还可以包括大于两个的图形层，具体地，当辅助图形有三种以及三种以上时，上述的测试图形可以包括三个以及三个以上的图形层。

当然，本申请的上述测试图形也并不限于包括多个图形层，其可以只有一个图形层，可以通过不同的图形填充来区分辅助图形和主体图形，在辅助图形和主体图形尺寸差异较大的情况下，也可以通过尺寸大小来区分辅助图形和主体图形。

需要说明的是，在附图的流程图示出的步骤可以在诸如一组计算机可执行指令的计算机系统中执行，并且，虽然在流程图中示出了逻辑顺序，但是在某些情况下，可以以不同于此处的顺序执行所示出或描述的步骤。

本申请实施例还提供了一种辅助图形的添加装置，需要说明的是，本申请实施例的辅助图形的添加装置可以用于执行本申请实施例所提供的用于辅助图形的添加方法。以下对本申请实施例提供的辅助图形的添加装置进行介绍。

图2是根据本申请实施例的辅助图形的添加装置的示意图。如图2所示，该装置包括：

确定单元10，用于根据预制作图形确定测试图形，上述测试图形包括主体图形和辅助图形，上述辅助图形为通过模型计算法得到的；

提取单元20，用于根据上述测试图形的至少部分提取上述辅助图形的添加规则。

上述的辅助图形的添加装置中，首先确定单元根据预制作图形确定测试图形，该测试图形中的辅助图形通过模型计算法得到，即该测试图形中的辅助图形为基于模型的辅助图形，该模型计算法为本领域中公知的方法，该方法据辅助图形的尺寸及插入位置计算出主体图形的成像对比度，然后不断调整这些参数，直到获得的对比度最大，此时，对应的辅助图形的尺寸及插入位置为最终确定的尺寸及插入位置，此装置获取的辅助图形的精度非常高，因此，包括该辅助图形的测试图形也非常准确，进而提取单元根据该测试图形提取的添加规则更加准确，使得后续利用这些添加规则在预制作图形中添加的辅助图形更加准确。且该装置得到了添加规则，后续可以利用添加规则在预制作图形中添加辅助图形，应用起来速度较快且方便简单，该装置满足了对量产对速度和精度的双重需求。

在实际的应用过程中，测试图形中一般包括多个主体图形和多个辅助图形，如果直接利用整个测试图形提取添加规则，则工作量较大，为了减少提取规则时的工作量，本申请的一种实施例中，上述添加装置还包括选择单元，选择单元用于选择上述测试图形中的至少部分作为处理区域。

利用处理区域提取添加规则，则处理区域应该是包括主体图形和辅助图形的区域，在实际的应用过程中，可以选择包括主体图形和辅助图形的任何区域作为处理区域。为了提取更加准确和全面的添加规则，本申请的一种实施例中，上述选择单元包括检测模块和确定模块，检测模块用于检测上述测试图形中是否存在归属不明的上述辅助图形，上述归属不明的上述辅助图形为不确定所属上述主体图形的上述辅助图形；确定模块用于在存在归属不明的上述辅助图形的情况下，将包括归属不明的上述辅助图形以及相邻的上述主体图形的区域作为上述处理区域。

在应用的过程中，需要判断哪些辅助图形为归属不明的辅助图形，实际的处理过程中，可以通过肉眼来判断，当一个辅助图形看上去与几个主体图形的距离都差不多时，可以确定该辅助图形为归属不明的辅助图形。

当然，也可以通过其他的装置来判断，一种具体的实施例中，上述检测模块包括检测子模块和确定子模块，检测子模块用于检测上述测试图形中的任意两个上述主体图形之间的上述辅助图形的个数；确定子模块用于在两个上述主体图形之间的上述辅助图形的个数为奇数的情况下，确定存在归属不明的上述辅助图形。

在包括选择单元的情况下，提取单元用于根据处理区域来提取添加规则的情况下，本申请的一种实施例中，上述提取单元包括计算模块和归属确定模块，计算模块用于计算上述处理区域中的归属不明的上述辅助图形与相邻的各上述主体图形的距离；归属确定模块用于在归属不明的上述辅助图形与其中的一个上述主体图形的距离最小的情况下，确定与归属不明的上述辅助图形距离最小的上述主体图形为归属不明的上述辅助图形的归属，将归属不明的辅助图形以及对应的主体图形的参数以及二者之间的距离作为添加规则，其中参数包括辅助图形的形状和尺寸。该实施例中获取的添加规则更加全面、更加准确且速度较快。

当然，本申请的确定归属不明的辅助图形的归属还可以采用其他的模块，比如用局域主体图形的光强分布/灰度图/空间像(guidancemap)来确认sraf的归属，但是该装置速度比较慢。

计算归属不明的辅助图形与相邻的各上述主体图形的距离可以采用现有技术中的任何模块，本申请的一种实施例中，上述计算模块包括获取子模块和计算子模块，获取子模块用于获取上述处理区域中的归属不明的上述辅助图形的中心坐标，以及还用于获取上述处理区域中与归属不明的上述辅助图形相邻的各上述主体图形的中心坐标；计算子模块用于计算归属不明的上述辅助图形的中心坐标与各上述主体图形的中心坐标的距离，得到归属不明的上述辅助图形与相邻的各上述主体图形的距离。

当然，本申请的计算主体图形与归属不明的辅助图形之间的距离也可以不计算二者的中心之间的距离，还可以计算二者的边界之间的距离等，本领域技术人员可以根据实际情况选择合适的装置计算二者的距离。

在实际的应用过程中，为了将辅助图形和主体图形分离开，使得后续的过程中能够很容易地分辨哪个图形为辅助图形，哪个为主体图形，从而简化该添加装置，本申请的一种具体的实施例中，上述测试图形包括两个图形层，其中一个图形层为上述主体图形，另一个上述图形层为上述辅助图形。

当然，本申请的上述测试图形并不限于包括两个图形层，还可以包括大于两个的图形层，具体地，当辅助图形有三种以及三种以上时，上述的测试图形可以包括三个以及三个以上的图形层。

当然，本申请的上述测试图形也并不限于包括多个图形层，其可以只有一个图形层，可以通过不同的图形填充来区分辅助图形和主体图形，在辅助图形和主体图形尺寸差异较大的情况下，也可以通过尺寸大小来区分辅助图形和主体图形。

需要说明的是，本申请的预制作图形为器件的某个工艺步骤要制作形成的图形。

为了使得本领域技术人员能够更加清楚地了解本申请的技术方案，以下将结合具体的实施例来说明本申请的技术方案。

实施例

辅助图形的添加方法具体包括：

第一步，根据预制作图形设计基本的规则的主体图形。

在该步骤中，首先规定好每个主体图形11的中心点和边长，线条的线宽和重复周期，并把它输出到版图的某一层中，如图3所示，图4为另一种常规的二维的主体图形11的设计方案。

如要对一维图形进行辅助图形抽取，一维的主体图形11可以设计成图5所示。

第二步，用基于模型的辅助图形添加方法，为主体图形添加精确的辅助图形。

在该步骤中，软件中对亚分辨率辅助图形(sub-resolution-assist-featuresraf)的大小设置一些限制条件，以保证最终的结果能符合掩模制备的要求；然后通过sraf的尺寸及插入位置计算出主体图形的成像对比度，不断调整这些参数，直到获得最大的对比度。并且使最终的主体图形与sraf分别输出到不同的版图层中去。

第三步，选取大小合理的处理区域，也称为处理窗口。

有一些sraf为两个主体图形共用，在添加规则的提取过程中会遇到问题，不易处理。所以需要将出现sraf归属于哪个主体图形不明确的地方，选定为后续计算的处理区域，即选择包括归属不明的辅助图形的区域作为处理区域，并适当向四周扩展200nm以上，能把可能对应的主体图形的范围包含的更广一些。如图6所示的处理区域中，虚线框为包括归属不明的辅助图形12的区域，其余部分为扩展的区域。

第四步，提取每个sraf与主体图形的中心点坐标。

提取处理窗口内每一个sraf的中心点坐标和每一个主体图形的中心点坐标。

对每一个sraf计算其到每一个主体图形的距离。以处理窗内的一个sraf为例，计算该sraf和每一个主体图形的中心坐标点间的距离。主体图形的选择顺序可以遵循从左到右，从下到上的规则。找到与该sraf最小距离对应的主体图形，即该主体图形为sraf应该归属的主体图形。若最小距离所对应的主体图形有多个，每一个主体图形都可以完整拥有该sraf。

对每一个sraf都重复上述操作，从而将虚线内部的要解决冲突的sraf都找到其应归属的主体图形。

上述辅助图形的添加装置包括处理器和存储器，上述确定单元和提取单元等均作为程序单元存储在存储器中，由处理器执行存储在存储器中的上述程序单元来实现相应的功能。

处理器中包含内核，由内核去存储器中调取相应的程序单元。内核可以设置一个或以上，通过调整内核参数来提高辅助图形的添加速度和添加精度。

存储器可能包括计算机可读介质中的非永久性存储器，随机存取存储器(ram)和/或非易失性内存等形式，如只读存储器(rom)或闪存(flashram)，存储器包括至少一个存储芯片。

本发明实施例提供了一种存储介质，其上存储有程序，该程序被处理器执行时实现上述辅助图形的添加方法。

本发明实施例提供了一种处理器，上述处理器用于运行程序，其中，上述程序运行时执行上述辅助图形的添加方法。

本发明实施例提供了一种设备，设备包括处理器、存储器及存储在存储器上并可在处理器上运行的程序，处理器执行程序时实现以下步骤：

步骤s101，根据预制作图形确定测试图形，上述测试图形包括主体图形和辅助图形，上述辅助图形为通过模型计算法得到的；

步骤s102，根据上述测试图形的至少部分提取上述辅助图形的添加规则。

本文中的设备可以是服务器、pc、pad、手机等。

本申请还提供了一种计算机程序产品，当在数据处理设备上执行时，适于执行初始化有如下方法步骤的程序：

步骤s101，根据预制作图形确定测试图形，上述测试图形包括主体图形和辅助图形，上述辅助图形为通过模型计算法得到的；

步骤s102，根据上述测试图形的至少部分提取上述辅助图形的添加规则。

本领域内的技术人员应明白，本申请的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此，本申请可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本申请可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、cd-rom、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。

本申请是参照根据本申请实施例的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

在一个典型的配置中，计算设备包括一个或多个处理器(cpu)、输入/输出接口、网络接口和内存。

存储器可能包括计算机可读介质中的非永久性存储器，随机存取存储器(ram)和/或非易失性内存等形式，如只读存储器(rom)或闪存(flashram)。存储器是计算机可读介质的示例。

计算机可读介质包括永久性和非永久性、可移动和非可移动媒体可以由任何方法或技术来实现信息存储。信息可以是计算机可读指令、数据结构、程序的模块或其他数据。计算机的存储介质的例子包括，但不限于相变内存(pram)、静态随机存取存储器(sram)、动态随机存取存储器(dram)、其他类型的随机存取存储器(ram)、只读存储器(rom)、电可擦除可编程只读存储器(eeprom)、快闪记忆体或其他内存技术、只读光盘只读存储器(cd-rom)、数字多功能光盘(dvd)或其他光学存储、磁盒式磁带，磁带磁磁盘存储或其他磁性存储设备或任何其他非传输介质，可用于存储可以被计算设备访问的信息。按照本文中的界定，计算机可读介质不包括暂存电脑可读媒体(transitorymedia)，如调制的数据信号和载波。

还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、商品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、商品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、商品或者设备中还存在另外的相同要素。

本领域技术人员应明白，本申请的实施例可提供为方法、系统或计算机程序产品。因此，本申请可采用完全硬件实施例、完全软件实施例或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本申请可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、cd-rom、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。

从以上的描述中，可以看出，本申请上述的实施例实现了如下技术效果：

1)、本申请的辅助图形的添加方法中，首先根据预制作图形确定测试图形，该测试图形中的辅助图形通过模型计算法得到，即该测试图形中的辅助图形为基于模型的辅助图形，该模型计算法为本领域中公知的方法，该方法据辅助图形的尺寸及插入位置计算出主体图形的成像对比度，然后不断调整这些参数，直到获得的对比度最大，此时，对应的辅助图形的尺寸及插入位置为最终确定的尺寸及插入位置，此方法获取的辅助图形的精度非常高，因此，包括该辅助图形的测试图形也非常准确，进而根据该测试图形提取的添加规则更加准确，使得后续利用这些添加规则在预制作图形中添加的辅助图形更加准确。且该方法得到了添加规则，后续可以利用添加规则在预制作图形中添加辅助图形，应用起来速度较快且方便简单，该方法满足了对量产对速度和精度的双重需求。

2)、本申请的辅助图形的添加装置中，首先确定单元根据预制作图形确定测试图形，该测试图形中的辅助图形通过模型计算法得到，即该测试图形中的辅助图形为基于模型的辅助图形，该模型计算法为本领域中公知的方法，该方法据辅助图形的尺寸及插入位置计算出主体图形的成像对比度，然后不断调整这些参数，直到获得的对比度最大，此时，对应的辅助图形的尺寸及插入位置为最终确定的尺寸及插入位置，此装置获取的辅助图形的精度非常高，因此，包括该辅助图形的测试图形也非常准确，进而提取单元根据该测试图形提取的添加规则更加准确，使得后续利用这些添加规则在预制作图形中添加的辅助图形更加准确。且该装置得到了添加规则，后续可以利用添加规则在预制作图形中添加辅助图形，应用起来速度较快且方便简单，该装置满足了对量产对速度和精度的双重需求。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。