射频板条CO2激光器条形光束柱面镜整形的自适应系统的制作方法

文档序号:18641223发布日期:2019-09-11 23:21阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了射频板条CO2激光器条形光束柱面镜整形的自适应系统,包括:反馈模块、输出镜、输出窗口镜、转折镜、第一球面镜、空间滤波器、柱面镜和第二球面镜,激光光束从射频板条CO2激光器的平行电极中射出,依次经过输出镜、输出窗口镜、转折镜、第一球面镜、空间滤波器和柱面镜,所述柱面镜将激光光束反射至第二球面镜,第二球面镜将激光光束射出,其中,所述柱面镜设置有带动柱面镜的反射面运动的调节整形系统,所述调节整形系统包括:X轴连杆、Y轴连杆、Z轴连杆和夹具。本系统通过柱面镜适应调节,确保输出光束指向性和光斑形状。对射频板条CO2激光器光路热畸变导致的整形系统光路偏移和失调进行补偿。主要用于激光技术领域。

技术研发人员:唐霞辉;邹峰;彭浩;刘赞勇;张旭辉
受保护的技术使用者:佛山根固激光科技有限公司
技术研发日:2019.06.17
技术公布日:2019.09.10
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