一种双波导耦合式的等离子电光调制器的制作方法

文档序号:19153836发布日期:2019-11-16 00:25阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种双波导耦合式的等离子电光调制器,连接于片上光网络,其特征在于:所述双波导耦合式的等离子电光调制器包括sio2基,sio2基上刻蚀三条波导参数一致的si波导,外侧的si波导用于输入激光,另外一侧的si波导用于传输调制好的激光信号并连接片上光网络;位于中间的si波导的上方沉积有第一hfo2层、ito层、第二hfo2层及导体层;

所述导体层施加阳极电压,位于sio2基上方的si波导面用于施加阴极电压。

2.根据权利要求1所述双波导耦合式的等离子电光调制器,其特征在于:所述si波导为脊型si波导。

3.根据权利要求2所述双波导耦合式的等离子电光调制器,其特征在于:所述导体层为au层。

4.根据权利要求3所述双波导耦合式的等离子电光调制器,其特征在于:所述脊型si波导的高度为透视谱窗口发生移动的高度。

5.根据权利要求1-4任一所述双波导耦合式的等离子电光调制器,其特征在于:所述片上光网络为ornoc拓扑结构的片上光网络。

6.根据权利要求1-4任一所述双波导耦合式的等离子电光调制器,其特征在于:沉积采用喷溅工艺方法。

7.根据权利要求3所述双波导耦合式的等离子电光调制器,其特征在于:所述脊型si波导的宽度wg=400nm,相邻si波导之间的间距wgap=150nm,位于两侧的两条脊型si波导的波导高度hg=180nm,位于中间的脊型si波导高度hig=180nm,第一hfo2层的厚度hig=15nm、ito层厚度hhfo=20nm、第二hfo2层厚度hig=15nm、au层厚度hau=500nm及脊型si波导长度lcoupling=8500nm;所述双波导耦合式的等离子电光调制器的工作波长为1400nm-1600nm。


技术总结
本发明涉及一种双波导耦合式的等离子电光调制器,解决的是尺寸与平均耦合效率、消光比性能不能兼容的技术问题,同时解决了直通型电光调制器不能很好应用于ORNoC片上光网络的问题,通过采用包括SiO2基,SiO2基上刻蚀三条波导参数一致的Si波导,外侧的Si波导用于输入激光,另外一侧的Si波导用于传输调制好的激光信号并连接片上光网络;位于中间的Si波导的上方沉积有第一HfO2层、ITO层、第二HfO2层及导体层;所述导体层施加阳极电压,位于SiO2基上方的Si波导面用于施加阴极电压技术方案,较好的解决了该问题,可用于片上光网络中。

技术研发人员:许川佩;梁志勋;胡聪;杜社会;朱爱军
受保护的技术使用者:桂林电子科技大学
技术研发日:2019.08.06
技术公布日:2019.11.15
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