光设备及光检测系统的制作方法

文档序号:19324739发布日期:2019-12-04 00:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光设备,其中,具备:

第1镜,具有沿第1方向以及与上述第1方向垂直的第2方向扩展的第1反射面;

第2镜,具有与上述第1反射面对置的第2反射面;

光波导层,位于上述第1镜与上述第2镜之间的区域的一部分,使光沿着上述第1方向传输;以及

光学元件,位于上述第1镜的与上述第1反射面相反的一侧,通过折射及/或衍射使入射的光向与入射方向不同的方向射出,

上述光学元件通过折射及/或衍射,(1)将从上述光波导层经由上述第1镜入射的光向与该入射方向相比上述第1方向的分量变小的方向射出,或者(2)将从该光设备的外部入射的光向与该入射方向相比上述第1方向的分量变大的方向射出,

上述第1镜中的上述光的透射率比上述第2镜中的上述光的透射率高,

上述光波导层具有能够调整折射率及/或厚度的构造,

通过调整上述光波导层的折射率及/或厚度,从上述光波导层经由上述第1镜以及上述光学元件射出的光的方向或经由上述光学元件以及上述第1镜取入到上述光波导层内的光的入射方向变化。

2.如权利要求1所述的光设备,其中,

上述光学元件扩大上述光波导层的折射率及/或厚度发生了变化时的、从上述光波导层射出的上述光的上述方向的变化、或取入到上述光波导层内的上述光的上述入射方向的变化。

3.如权利要求1或2所述的光设备,其中,

上述光学元件包括棱镜。

4.如权利要求3所述的光设备,其中,

上述棱镜具有与上述第1镜对置的第1面、以及位于与上述第1面相反的一侧的第2面,

上述第1面与上述第1反射面平行或交叉,

上述第2面与上述第1反射面交叉。

5.如权利要求1~4中任一项所述的光设备,其中,

上述光学元件包括衍射光栅。

6.如权利要求5所述的光设备,其中,

上述衍射光栅具有折射率沿着上述第1方向变化的多个凹部。

7.如权利要求1~6中任一项所述的光设备,其中,

还具备波导,该波导连接于上述光波导层,并且使有效折射率为ne1的波导模的光沿着上述第1方向传输,

上述波导的前端部处于上述光波导层的内部,

在从与上述第1反射面垂直的方向观察时在上述波导以及上述光波导层重叠的区域中,上述波导以及上述光波导层的至少一部分包括折射率沿着上述第1方向以周期p变化的至少一个光栅,

并且满足λ/ne1<p<λ/(ne1-1)。

8.如权利要求1~6中任一项所述的光设备,其中,

具备多个波导单元,

上述多个波导单元各自包括上述第1镜及上述第2镜、上述光波导层以及上述光学元件,

上述多个波导单元在上述第2方向上排列。

9.如权利要求8所述的光设备,其中,

还具备多个移相器,该多个移相器分别连接于上述多个波导单元,并且分别包括与上述多个波导单元中的对应的一个波导单元的上述光波导层直接相连或经由其他波导相连的波导,

通过使穿过上述多个移相器的光的相位之差分别变化,从上述第1镜射出的上述光的方向或经由上述第1镜取入到上述光波导层的上述光的入射方向变化。

10.如权利要求7所述的光设备,其中,

具备多个波导单元,

上述多个波导单元各自包括上述第1镜及上述第2镜、上述光波导层、上述光学元件以及上述波导,

上述多个波导单元在上述第2方向上排列。

11.如权利要求10所述的光设备,其中,

还具备多个移相器,该多个移相器分别连接于上述多个波导单元,并且分别包括与上述多个波导单元中的对应的一个波导单元的上述波导直接相连或经由其他波导相连的第2波导,

通过使穿过上述多个移相器的光的相位之差分别变化,从上述第1镜射出的上述光的方向或经由上述第1镜取入到上述光波导层的上述光的入射方向变化。

12.如权利要求8~11中任一项所述的光设备,其中,

具备共用的光学元件,

上述多个波导单元各自中的上述光学元件是上述共用的光学元件的一部分。

13.如权利要求12所述的光设备,其中,

具备多个波导阵列和基板,

上述多个波导阵列各自包括上述多个波导单元,

上述多个波导阵列设置在上述基板上。

14.如权利要求13所述的光设备,其中,

具备光学基板,

上述多个波导阵列各自中的上述共用的光学元件是上述光学基板的一部分。

15.如权利要求14所述的光设备,其中,

上述多个波导阵列中的上述共用的光学元件全部具备相同的构造。

16.如权利要求14所述的光设备,其中,

上述多个波导阵列中的上述共用的光学元件中的至少两个具备相互不同的构造。

17.如权利要求14所述的光设备,其中,

上述多个波导阵列中的上述共用的光学元件全部具备相互不同的构造。

18.如权利要求1~17中任一项所述的光设备,其中,

从上述光波导层射出的上述光的上述方向的变化的范围或取入到上述光波导层内的上述光的上述入射方向的变化的范围包含与上述第1反射面垂直的方向。

19.一种光检测系统,其中,具备:

权利要求1~18中任一项所述的光设备;

光检测器,检测从上述光设备射出并从对象物反射的光;以及

信号处理电路,基于上述光检测器的输出,生成距离分布数据。


技术总结
光设备具备:第1镜,具有沿第1方向以及与上述第1方向垂直的第2方向扩展的第1反射面;第2镜,具有与上述第1反射面对置的第2反射面;光波导层,位于上述第1镜与上述第2镜之间的区域的一部分,使光沿着上述第1方向传输;以及光学元件,位于上述第1镜的与上述第1反射面相反的一侧,通过折射及/或衍射使入射的光向与入射方向不同的方向射出。上述光学元件通过折射及/或衍射,(1)将从上述光波导层经由上述第1镜入射的光向与该入射方向相比上述第1方向的分量变小的方向射出,或者(2)将从该光设备的外部入射的光向与该入射方向相比上述第1方向的分量变大的方向射出。上述第1镜中的上述光的透射率比上述第2镜中的上述光的透射率高。

技术研发人员:中村和树;稻田安寿;平泽拓
受保护的技术使用者:松下知识产权经营株式会社
技术研发日:2019.02.18
技术公布日:2019.12.03
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