技术特征：
1.一种波长选择性滤光器，包括：交替地具有低折射率层和高折射率层的多层结构，面向所述多层结构的所述低折射率层的周期性结构层，所述低折射率层的折射率在1.30和1.60之间，厚度在100nm和800nm之间，所述高折射率层的折射率在1.70和2.20之间，厚度在30nm和100nm之间，以及在垂直于所述周期性结构层的厚度方向的平面中，所述周期性结构层具有由金属或半导体构成的周期性结构。2.根据权利要求1所述的波长选择性滤光器，其中在所述垂直于所述周期性结构层的厚度方向的平面中，所述周期性结构被折射率在1.30和1.60之间的第一材料包围。3.根据权利要求2所述的波长选择性滤光器，其中在所述垂直于所述周期性结构层的厚度方向的平面中，所述波长选择性滤光器在两个相邻的第一材料之间具有第二材料，其中所述第二材料的折射率在1.00和1.20之间。4.根据权利要求2所述的波长选择性滤光器，其中所述周期性结构嵌入在由所述第一材料构成的层中。5.根据权利要求1至4中任一项所述的波长选择性滤光器，其中所述多层结构是由两层低折射率层和位于所述两层低折射率层之间的一层高折射率层构成的三层结构。6.根据权利要求1至5中任一项所述的波长选择性滤光器，其中所述周期性结构由呈网格图案间隔地排列的多个方形岛状结构组成，以及其中所述方形岛状结构一侧的宽度在所述方形岛状结构的排列间距的65％和85％之间。7.一种制造根据权利要求1至6中任一项所述的波长选择性滤光器的方法，所述方法包括以下步骤：交替地沉积所述低折射率层和所述高折射率层以形成所述多层结构，沉积金属层或半导体层，以及图案化所述金属层或半导体层以形成所述周期性结构。
技术总结
[问题]本申请的目的包括提供一种利用表面等离子体共振的波长选择性滤光器，其中波长选择性滤光器的峰值波长在近红外波长区域，并且其中波长选择性滤光器的透射波长的半峰全宽比传统滤光器的窄。[解决方案]一种波长选择性滤光器，包括交替地具有低折射率层和高折射率层的多层结构、面向多层结构的低折射率层的周期性结构层，低折射率层的折射率在1.30和1.60之间、厚度在100nm和800nm之间，高折射率层的折射率在1.70和2.20之间、厚度在30nm和100nm之间，在垂直于周期性结构的厚度方向的平面中，多层结构层具有由金属或半导体构成的周期性结构。周期性结构。周期性结构。
技术研发人员：二瓶瑞久 於丰 金森义明
受保护的技术使用者：东北大学
技术研发日：2019.11.21
技术公布日：2022/6/21