曝光方法、曝光机及计算机可读存储介质与流程

1.本发明涉及曝光技术领域，具体涉及一种曝光方法、曝光机及计算机可读存储介质


背景技术：

2.现有曝光机上高功率激光器控制时序是在设备上电后一直稳定恒流工作。由于激光器的工作电流超级大，导致产生大量的热，会导致设备局部温度升高，从而影响平台定位精度，而且也会造成较大的电能消耗。另外，激光器随工作时间增长而衰减，也会降低激光器的使用寿命。


技术实现要素：

3.本发明的目的在于提供一种曝光方法、曝光机及计算机可读存储介质，能够减少激光器的发热，使设备保持在相对稳定的温度，有利于保障平台的定位精度，同时也能起到节约电能和提高激光器的使用寿命的作用。
4.为实现上述目的，本发明提供了一种曝光方法，用于对平台上放置的若干待曝光工件进行曝光，通过所述平台的定位使若干待曝光工件依次对准激光器，所述曝光方法包括：
5.至少于所述平台的多次定位过程中的部分时段控制所述激光器处于关闭状态。
6.可选地，在所述平台开启定位过程之后，控制所述激光器由打开状态切换为关闭状态。
7.可选地，在所述平台结束定位过程之前，控制所述激光器由关闭状态切换为打开状态。
8.为实现上述目的，本发明还提供了一种曝光方法，用于对平台上放置的若干待曝光工件进行曝光，通过所述平台的定位使若干待曝光工件依次对准激光器，所述曝光方法包括：
9.于当前曝光工件完成曝光后，控制所述激光器由打开状态切换为关闭状态以及控制所述平台对下一待曝光工件进行定位；
10.于下一待曝光工件完成定位时、完成定位前或完成定位后，控制所述激光器由关闭状态切换为打开状态以对该待曝光工件进行曝光；
11.重复上述步骤。
12.可选地，于当前曝光工件完成曝光后，先控制所述平台开启定位过程，再控制所述激光器由打开状态切换为关闭状态。
13.为实现上述目的，本发明还提供了一种曝光机，其特征在于，包括：
14.处理器；
15.存储器，其中存储有所述处理器的可执行指令；
16.其中，所述处理器配置为经由执行所述可执行指令来执行如上所述的曝光方法。
17.为实现上述目的，本发明还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有程序，所述程序被处理器执行时实现如上所述的曝光方法。
18.与现有技术相比，本发明对曝光机的激光器进行分时控制，使激光器至少在平台处于定位过程中的部分时段处于关闭状态，有效减少了激光器的工作时间，进而减少了激光器的发热，使得设备可以保持在相对稳定的温度，有利于保障平台的定位精度，同时也能起到节约电能和提高激光器的使用寿命的作用。
附图说明
19.图1是本发明实施例曝光方法的示意性控制时序图。
20.图2是本发明实施例曝光方法的示意性流程图。
21.图3是本发明实施例曝光机的示意框图。
具体实施方式
22.为了详细说明本发明的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。
23.实施例一
24.请参阅图1，本发明公开了一种曝光方法，用于对平台上放置的若干待曝光工件进行曝光，通过平台的定位使若干待曝光工件依次对准激光器，曝光方法包括：至少于平台的多次定位过程中的部分时段控制激光器处于关闭状态。应该注意的是，本实施例曝光方法并不限制为在整个曝光过程(对所有工件曝光)执行，比如，可以是在某个或某些时段执行，也可以间或地执行，在此不作限制。在图2显示的时序图中，本发明曝光方法至少在部分时段内连续执行。
25.本发明曝光方法对曝光机的激光器进行分时控制，使激光器至少在平台处于定位过程中的部分时段处于关闭状态，有效减少了激光器的工作时间，进而减少了激光器的发热，使得设备可以保持在相对稳定的温度，有利于保障平台的定位精度，同时也能起到节约电能和提高激光器的使用寿命的作用。
26.在一些实施方式中，在平台开启定位过程之后，控制激光器由打开状态切换为关闭状态，从而有利于保证曝光效果。为了提高作业效率，可以在当前工件的曝光结束后即进入平台定位过程。
27.在一些实施方式中，在平台结束定位过程之前，控制激光器由关闭状态切换为打开状态。通过该操作，可以保证平台一旦完成定位，激光器可以即刻对对应的工件进行正常曝光，从而使得本发明曝光方法能够保证曝光作业的效率。本发明中可以根据预设定位时间或者检测装置的检测等来作为控制激光器打开时间的依据。
28.实施例二
29.请参阅图1和图2，本发明公开了一种曝光方法，用于对平台上放置的若干待曝光工件进行曝光，通过平台的定位使若干待曝光工件依次对准激光器，曝光方法包括：
30.101、于当前曝光工件完成曝光后，控制激光器由打开状态切换为关闭状态以及控制平台对下一待曝光工件进行定位。
31.102、于下一待曝光工件完成定位时、完成定位前或完成定位后，控制激光器由关
闭状态切换为打开状态以对该待曝光工件进行曝光。作为优选的方案，可以选择在下一待曝光工件完成定位前，控制激光器由关闭状态切换为打开状态，以保证平台一旦完成定位，激光器可以即刻对对应的工件进行正常曝光，从而使得本发明曝光方法能够保证曝光作业的效率。
32.重复上述步骤。
33.应该注意的是，本实施例曝光方法并不限制为在整个曝光过程(对所有工件曝光)执行，比如，可以是在某个或某些时段执行，在此作限制。另外，本发明曝光工件完成曝光可以根据设定的曝光时间或者其他判断条件来判断。
34.本发明曝光方法对曝光机的激光器进行分时控制，使激光器至少在平台处于定位过程中的部分时段处于关闭状态，有效减少了激光器的工作时间，进而减少了激光器的发热，使得设备可以保持在相对稳定的温度，有利于保障平台的定位精度，同时也能起到节约电能和提高激光器的使用寿命的作用。
35.在一些实施方式中，于当前曝光工件完成曝光后，先控制平台开启定位过程，再控制激光器由打开状态切换为关闭状态，从而有利于保证曝光效果。
36.实施例三
37.请参阅图3，本发明还公开了一种曝光机，包括：
38.处理器40；
39.存储器50，其中存储有处理器40的可执行指令；
40.其中，处理器40配置为经由执行可执行指令来执行如实施例一或实施例二所述的曝光方法。
41.实施例四
42.本发明还公开了一种计算机可读存储介质，其上存储有程序，程序被处理器执行时实现如实施例一或实施例二所述的曝光方法。
43.以上所揭露的仅为本发明的较佳实例而已，不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明权利要求所作的等同变化，均属于本发明所涵盖的范围。