一种光刻胶涂覆装置的制作方法

1.本实用新型涉及光刻胶喷涂设备技术领域，具体为一种光刻胶涂覆装置。


背景技术：

2.光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用，印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域，1954年由明斯克等人首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸脂就是用于印刷工业的，以后才用于电子工业，光刻胶是一种有机化合物，它被紫外光曝光后，在显影溶液中的溶解度会发生变化，硅片制造中所用的光刻胶以液态涂在硅片表面，而后被干燥成胶膜，在现有技术条件下，光刻胶喷涂工作需要人工手动完成，工作效率低，工作人员劳动强度大，给光刻胶喷涂工作带来较大影响，鉴于此，针对上述问题深入研究，遂有本案产生。


技术实现要素：

3.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种光刻胶涂覆装置，解决了现有条件下光刻胶通过人工手动喷涂，效率低劳动强度大的技术问题。
4.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种光刻胶涂覆装置，包括箱体以及台板，台板安装于箱体上，所述台板上竖直安装有支板，所述支板上水平安装有横板，所述横板上横向安装有第一丝杆模组，所述第一丝杆模组滑块上安装有第二丝杆模组，所述第二丝杆模组滑块上安装有涂胶组件。
5.优选的，所述箱体上安装有显示屏。
6.优选的，所述台板上安装有防滑层。
7.优选的，所述箱体上安装有旋开门，所述旋开门上安装有把手。
8.优选的，所述箱体下侧安装有支脚组件。
9.有益效果
10.本实用新型提供了一种光刻胶涂覆装置。具备以下有益效果：本装置在结构方面进行研究改进，通过添加第一丝杆模组进行横向上的移动，通过第二丝杆模组完成纵向上的移动，并且工作中可实现多位置喷涂，使用本装置能够在极大程度上解放人力，并且提高工作效率，促进降低成本，更好的进行光刻胶喷涂工作。
附图说明
11.图1为本实用新型所述一种光刻胶涂覆装置的主视结构示意图。
12.图2为本实用新型图1所述一种光刻胶涂覆装置的a局部放大结构示意图。
13.图中：1-箱体；2-台板；3-支板；4-横板；5-第一丝杆模组；6-第二丝杆模组；7-涂胶组件；8-显示屏；9-防滑层；10-旋开门；11-把手；12-支脚组件。
具体实施方式
14.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
15.通过本领域人员，将本案中所有电气件与其适配的电源通过导线进行连接，并且应该根据实际情况，选择合适的控制器以及编码器，以满足控制需求，具体连接以及控制顺序，应参考下述工作原理中，各电气件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，不再对电气控制做说明。
16.实施例：请参阅说明书附图1-2，本案为一种光刻胶涂覆装置，包括箱体1以及台板2，台板2安装于箱体1上，台板2上竖直安装有支板3，支板3上水平安装有横板4，横板4上横向安装有第一丝杆模组5。第一丝杆模组5滑块上安装有第二丝杆模组6，第二丝杆模组6滑块上安装有涂胶组件7；
17.综合上述内容可知，使用本案中装置进行光刻胶喷涂工作时，首先，需要工作人员选择合适导线，接通电源，然后开启开关，此时装置进入工作状态，具体实施过程中，工作人员手动将硅片放置于台板2上，装置中的第一丝杆模组5横向调节，第二丝杆模组6纵向调节，两者配合可进行多位置移动，配合涂胶组件7进行喷涂工作，使用本装置能够在极大程度上解放人力，并且提高工作效率，促进降低成本，更好的进行光刻胶喷涂工作。
18.作为优选方案，更进一步的，箱体1上安装有显示屏8，直观展示装置的工作状态和参数。
19.作为优选方案，更进一步的，台板2上安装有防滑层9，防滑层9防止工作中硅片移动，避免喷涂不均。
20.作为优选方案，更进一步的，箱体1上安装有旋开门10，便于检修保养时使用，旋开门10上安装有把手11，便于打开旋开门10。
21.作为优选方案，更进一步的，箱体1下侧安装有支脚组件12，进行稳定支撑，防止装置摇晃。
22.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。
23.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。