适于接触式光刻机的分区域曝光装置的制作方法

1.本实用新型涉及光刻机技术领域，具体为适于接触式光刻机的分区域曝光装置。


背景技术：

2.光刻机(mask aligner)又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。
3.目前的光刻胶与俺模之间是使俺模与光刻胶搭接，而不是基片通过光刻胶与俺模搭接，导致不能很好的控制俺模板的下降力度，影响光刻效果。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供适于接触式光刻机的分区域曝光装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：适于接触式光刻机的分区域曝光装置，包括底座，所述底座的下表面固定连接有固定盘，所述底座的上表面固定连接有固定柱，所述固定柱的上表面开设有凹槽，所述凹槽的内底壁固定连接有液压伸缩柱，所述液压伸缩柱的上表面固定连接有托板，所述托板的上表面固定连接有工作台，所述固定柱的侧面固定连接有固定箱，所述固定箱的两侧开设有进料口，所述固定箱的上表面固定连接有阻尼转轴，所述阻尼转轴的表面固定连接有箱门，所述箱门的正面固定连接有把手，所述固定箱的内壁固定连接有横俺模，所述固定箱的内壁转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面固定连接有齿轮，所述齿轮的表面啮合连接有直角齿轮，所述螺纹杆的表面螺纹连接有灯座，所述灯座的底部设置有紫外光源。
6.优选的，所述固定箱的内壁固定连接有固定板，且固定板的下表面开设有与直角齿轮相适配的槽，所述直角齿轮的背面固定连接有电动机。
7.优选的，所述固定板的下表面固定连接有横板，且横板的下表面开设有与灯座横向移动的移动槽，且螺纹杆的一端横向贯穿横板。
8.优选的，所述横俺模位于灯座的下方，且灯座的侧面开设有与螺纹杆一端相适配的螺纹孔。
9.优选的，所述螺纹杆的两端通过固定圆盘与固定箱的内壁转动连接，且固定箱的两侧开设有与固定圆盘相适配的凸槽。
10.优选的，所述固定箱的正面开设有与箱门相适配的槽。
11.有益效果
12.本实用新型提供了适于接触式光刻机的分区域曝光装置，具备以下有益效果：
13.1.该适于接触式光刻机的分区域曝光装置，通过设置底座、固定盘、固定柱、凹槽、液压伸缩柱、托板和工作台，便于把基片和光刻胶放在工作台上，并启动液压伸缩柱，使其
伸缩带动托板上升，托板上升带动工作台上升，工作台上升带动基片与固定箱内壁的横俺模搭接，从而达到便于对基片进行曝光的效果。
14.2.该适于接触式光刻机的分区域曝光装置，通过设置固定箱、横俺模、螺纹杆、齿轮、直角齿轮、灯座和紫外光源，便于启动直角齿轮的背面电动机，使其带动直角齿轮转动，直角齿轮带动齿轮转动，齿轮带动螺纹杆转动，螺纹杆带动灯座横向移动，从而便于对工作台进行曝光处理。
附图说明
15.图1为本实用新型结构正剖示意图；
16.图2为本实用新型结构正视示意图。
17.图中：1底座、2固定盘、3固定柱、4凹槽、5液压伸缩柱、6托板、7工作台、8固定箱、9进料口、10阻尼转轴、11箱门、12把手、13横俺模、14螺纹杆、15齿轮、16直角齿轮、17灯座、18紫外光源。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.请参阅图1
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2，本实用新型提供一种技术方案：适于接触式光刻机的分区域曝光装置，包括底座1，底座1的下表面固定连接有固定盘2，底座1的上表面固定连接有固定柱3，固定柱3的上表面开设有凹槽4，凹槽4的内底壁固定连接有液压伸缩柱5，液压伸缩柱5的上表面固定连接有托板6，托板6的上表面固定连接有工作台7，固定柱3的侧面固定连接有固定箱8，固定箱8的两侧开设有进料口9，固定箱8的上表面固定连接有阻尼转轴10，阻尼转轴10的表面固定连接有箱门11，固定箱8的正面开设有与箱门11相适配的槽，箱门11的正面固定连接有把手12，固定箱8的内壁固定连接有横俺模13，固定箱8的内壁转动连接有螺纹杆14，螺纹杆14的两端通过固定圆盘与固定箱8的内壁转动连接，且固定箱8的两侧开设有与固定圆盘相适配的凸槽，螺纹杆14的表面固定连接有齿轮15，齿轮15的表面啮合连接有直角齿轮16，固定箱8的内壁固定连接有固定板，且固定板的下表面开设有与直角齿轮16相适配的槽，直角齿轮16的背面固定连接有电动机，螺纹杆14的表面螺纹连接有灯座17，固定板的下表面固定连接有横板，且横板的下表面开设有与灯座17横向移动的移动槽，且螺纹杆14的一端横向贯穿横板，横俺模13位于灯座17的下方，且灯座17的侧面开设有与螺纹杆14一端相适配的螺纹孔，灯座17的底部设置有紫外光源18。
20.工作原理：在使用适于接触式光刻机的分区域曝光装置时，通过把基片和光刻胶放在工作台7上，并启动液压伸缩柱5，使其伸缩带动托板6上升，托板6上升带动工作台7上升，工作台7上升带动基片和光刻胶与固定箱8内壁的横俺模13搭接，启动直角齿轮16的背面电动机，使其带动直角齿轮16转动，直角齿轮16带动齿轮15转动，齿轮15带动螺纹杆14转动，螺纹杆14带动灯座17横向移动，使紫外灯源18对工作台7表面进行曝光，从而达到便于对基片进行曝光的效果。
21.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。