一种曝光机的制作方法

本实用新型涉及曝光技术领域，尤其是涉及一种曝光机。

背景技术：

曝光机是一种通过紫外线将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备，广泛应用于光刻领域中。根据曝光方式的不同，曝光机可分为水平式曝光机和立式曝光机。目前，立式曝光机中采用的网版是一种硬质框架结构，网格状的布固定于硬质框架上，立式曝光机在工作时通过夹板夹紧网版，从上料区依次将网版输送至曝光区和下料区。然而，由于网版的精度低，其不能用于标定和校准等，而标定板的精度高，可用于标定和校准，网版逐渐地被标定板所代替。目前的标定板多为玻璃材质，易碎且容易被刮花，若直接采用夹板夹取的话，容易造成标定板的损坏。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种可避免标定板损坏的曝光机。

为实现上述目的，本实用新型提出如下技术方案：一种曝光机，包括校准机构、带动所述校准机构移动的移动机构和用于安装标定板的标定板安装装置，所述校准机构与移动机构相连，所述校准机构由所述移动机构移动并通过标定板校准移动机构移动的精确度，所述标定板安装装置包括第一夹板、第二夹板和标定板安装载具，所述第一夹板与第二夹板相对设置，并且第一夹板和第二夹板之间形成有工作区域，所述标定板安装载具设于所述工作区域中并通过所述第一夹板和第二夹板夹紧固定。

优选地，所述第一夹板和第二夹板之间的间距可调。

优选地，所述标定板安装载具包括承载基板，所述承载基板上设有用于对标定板进行支撑的支撑件，及至少两个用于对标定板进行抵压的抵压件，所述抵压件围绕所述标定板设置。

优选地，所述承载基板上设有三个所述抵压件，所述三个抵压件与支撑件围成一收容区域，所述标定板固定于所述收容区域内。

优选地，所述收容区域呈矩形状。

优选地，所述支撑件为橡胶材料制成的支撑件。

优选地，所述抵压件为橡胶材料制成的抵压件。

优选地，所述工作区域与安装基面呈角度设置，所述安装基面为曝光机布置或摆放的平面。

优选地，所述移动机构包括沿水平方向延伸设置的承托件和用于驱动所述承托件沿竖直方向移动的承托件驱动机构，所述校准机构设于所述承托件上。

优选地，所述承托件驱动机构包括沿竖直方向延伸设置的至少一个丝杆和旋转机构，所述丝杆包括丝杠和设于所述丝杠上的螺母，所述旋转机构包括动力源和至少一个滚轮传动组件，每个丝杆中的螺母与承托件相连，丝杠通过滚轮传动组件与动力源相连，所述动力源通过滚轮传动组件驱动丝杠转动。

本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型所述的曝光机，通过设置用于安装标定板的标定板安装载具，使夹板仅夹持标定板安装载具，而非直接夹持标定板，可避免标定板的损坏。

(2)本实用新型所述的曝光机，通过设置校准机构，以对移动机构移动的精确度进行校准，提高了移动机构移动的精确度。

附图说明

图1是本实用新型的曝光机立体示意图；

图2是图1中标定板安装装置结构示意图。

附图标记：10、第一夹板，20、第二夹板，30、标定板安装载具，31、承载基板，32、支撑件，33、抵压件，40、曝光光源，50、承托件，60、丝杆，70、动力源，80、滚轮传动组件，a、拖链，m、标定板，n、输送平台，q、标定板安装装置。

具体实施方式

下面将结合本实用新型的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。

本实用新型所揭示的一种曝光机，通过设置用于安装标定板m的标定板安装载具30，使夹板仅夹持标定板安装载具30，而非直接夹持标定板m，可避免标定板m的损坏。

如图1所示，为本实用新型所揭示的一种曝光机，包括标定板安装装置q、曝光光源40、校准机构和移动机构。其中，标定板安装装置用于安装标定板，标定板上设有标准间距的多个标定点；曝光光源40与移动机构相连，移动机构驱动曝光光源40移动，以对曝光物体进行曝光处理，实施时，以移动机构带动曝光光源40沿水平或竖直方向位最佳，并且曝光光源照射出的光源与曝光物体的曝光面相垂直；校准机构也与移动机构相连，校准机构由移动机构带动着移动，并依靠标定板校准移动机构移动的精确度，实施时，校准机构通过移动机构在任意标定点之间移动，测量出移动的距离和标准间距之间的误差，进一步通过补偿方法修正误差，如通过控制移动机构再次移动相应距离以修正误差，提高了移动机构移动的精确度。

本实施例中，校准机构包括拍照模块和数据处理模块，拍照模块用于拍摄标定板上的标定点，数据处理模块用于对拍照模块拍摄的图像进行处理，以计算出移动机构移动的距离及该距离和标准间距之间的误差，并通相应补偿方法修正该误差。拍照模块优选ccd相机，当然，在其他实施例中，还可选用其他能够实现拍照或摄像功能的装置；数据处理模块包括但不限于mcu、cpu。

如图2所示，标定板安装装置q包括第一夹板10、第二夹板20和标定板安装载具30，其中，第一夹板10和第二夹板20相对设置，用于夹持标定板安装载具30，第一夹板10和第二夹板20之间形成有工作区域，工作区域包括但不限于预上料区、曝光区和下料区，工作区域与安装基面呈角度设置，这里所说的安装基面是指曝光机布置或者摆放的平面，通常为地面。实施时，以工作区域与安装基面垂直为最佳，当然，在其他实施例中，可根据实际需求设置相应的角度。

标定板安装载具30设于工作区域中，也即标定板安装载具30位于第一夹板10和第二夹板20之间，其可通过第一夹板10和第二夹板20夹紧固定，标定板安装载具30用于安装标定板m。实施时，将标定板m安装于标定板安装载具30上，进一步将标定板安装载具30放置于第一夹板10和第二夹板20之间形成的工作区域中，标定板安装载具30通过第一夹板10和第二夹板20夹紧固定，夹紧后通过输送平台n输送，如输送至曝光区进行曝光处理。通过将标定板m安装于标定板安装载具30上，避免夹板直接夹紧标定板m，进而避免了标定板m的损坏。

如图1所示，标定板安装载具30包括承载基板31，承载基板31上设有支撑件32和多个抵压件33，其中，支撑件32用于对标定板m进行支撑，防止其相对承载基板31发生位移；抵压件33围绕标定板m设置，用于对标定板m进行抵压，使标定板m固定于承载基板31上。

本实施例中，承载基板31上设置有三个抵压件33，分别记为上抵压件、左抵压件和右抵压件，上抵压件用于对标定板m的顶部进行抵压，左抵压件用于对标定板m的左侧部进行抵压，右抵压件用于对标定板m的右侧部进行抵压。三个抵压件33与支撑件32围成一呈矩形状的收容区域，标定板m被固定于该收容区域内。实施时，标定板m的底部与支撑件32相抵接，同时，上抵压件33对标定板m的顶部进行抵压固定，左抵压件33对标定板m的左侧部进行抵压固定，右抵压件33对标定板m的右侧部进行抵压固定，最终实现标定板m的安装固定。

进一步地，支撑件32和抵压件33均采用橡胶材质制成，当然，在其他实施例中，可采用其他柔性材质制成，以避免在对标定板m固定时造成标定板m的损伤。

如图2所示，第一夹板10与第二夹板20之间的间距可调。实施时，可通过设置相应驱动机构，如丝杆、气缸等等，驱动第一夹板和/或第二夹在竖直平面上移动，以调整两者之间的间距。通过使第一夹板10与第二夹板20之间的间距可调，能够适应不同尺寸的标定板安装载具30，进而适用不同尺寸的标定板m，提高了标定板m安装装置的适用范围。

如图1所示，移动机构包括沿水平方向延伸设置的承托件50和驱动所述承托件50沿竖直方向移动的承托件驱动机构，曝光光源40滑动设于所述承托件50上，并可在承托件50上水平移动，曝光光源40通过拖链a为其提供电源。实施时，曝光光源40可通过导向组件滑动设于承托件50上，如导向组件包括滑块和供滑块导向滑动的导轨，导轨沿水平方向延伸设置于承托件50上，滑块滑动设于导轨上，曝光光源40与滑块相连，实现曝光光源40的水平移动。

如图1所示，承托件驱动机构包括沿竖直方向延伸设置的至少一个丝杆60和旋转机构，其中，丝杆60包括丝杠和设于所述丝杠上的螺母，螺母与承托件50相连；旋转机构与丝杠相连，用于驱动丝杠转动。

进一步地，旋转机构包括动力源70和至少一个滚轮传动组件80，每个丝杠通过一滚轮传动组件80与动力源70相连，动力源70通过滚轮传动组件80驱动丝杠转动。每个滚轮传动组件80包括主动轮、从动轮和环绕设置于主动轮和从动轮上的传动带，每个滚轮传动组件80中的主动轮均与动力源70相连，从动轮对应连接一丝杠。实施时，每个主动轮在动力源70的作用下转动，进一步通过传动带带动相应从动轮转动，从动轮进而带动相应的丝杠转动，丝杠转动的过程中带动螺母向上或者向下移动，以使承托件50沿竖直方向移动。

如图1所示，承托件驱动机构包括两个丝杆60，分别记为第一丝杆和第二丝杆。其中，承托件50的一端与第一丝杆中的螺母相连，相对端与第二丝杆中的螺母相连。两个丝杆60中的丝杠分别通过一个滚轮传动组件80与动力源70相连，并且两个丝杠同步转动。通过设置两个丝杆60，可确保承托件50的稳定移动。当然，在其他实施例中，可根据实际需求设置丝杆60的数量。

本实施例中，动力源70为电机，当然，在其他实施例中，也可为每个丝杠选用电机驱动机构，通过电机直接驱动丝杠转动。

本实用新型所述的曝光机的工作原理如下：将标定板安装于标定板安装载具30，并将标定板安装载具30放置于工作区域中，进一步通过第一夹板10和第二夹板20夹紧固定。夹紧后，通过输送平台n输送至曝光区。

承托件驱动机构驱动承托件50在竖直平面移动，进而带动曝光光源40在竖直平面移动，曝光光源40对曝光物体进行曝光处理。在曝光光源40移动过程中，校准机构40通过移动机构在任意标定点之间移动，测量出移动的距离和标准间距之间的误差并修正误差，以提高移动机构移动的精确度。

本实施例中，曝光机为无菲林的立式ldi(laserdirectimaging，激光直接成像)激光直写式曝光机，立式ldi激光直写式曝光机是光源将激光束照射到数字微镜阵列dmd(数字微反射镜)上，由dmd反射向被曝光物体，可以制作出图案精度较高的被曝光物体(如标定板)。

本实用新型所述的曝光机，一方面通过设置用于安装标定板的标定板安装载具，使夹板仅夹持标定板安装载具，而非直接夹持标定板，可避免标定板的损坏，另一方面通过设置校准机构，以对移动机构移动的精确度进行校准，提高了移动机构移动的精确度。

本实用新型的技术内容及技术特征已揭示如上，然而熟悉本领域的技术人员仍可能基于本实用新型的教示及揭示而作种种不背离本实用新型精神的替换及修饰，因此，本实用新型保护范围应不限于实施例所揭示的内容，而应包括各种不背离本实用新型的替换及修饰，并为本专利申请权利要求所涵盖。