一种低反射的分光镜的制作方法

本实用新型涉及光学器件技术领域，特别是涉及低反射的分光镜。

背景技术：

在自动化检测系统照明及机器视觉中同轴光源的应用是非常普遍的情况。然而同轴光源中需要使用一款分光镜来对拍摄物体照明光源进行反射，以及镜头对对拍摄物体的影像捕捉功能。一般情况这块分光镜是45度斜放置在系统中的。这样的光路系统分光镜的两个表面其中一个面需要镀分光膜用来实现上述功能，但另外的一个面如果不镀膜的话背面会有5%-6%的反射光，这部分的反射光由于镜片本身的厚度原因又在45度角度的使用下会产生一个光程差，这种反射光的存在会使摄像头捕捉的物体主影像边产生重影模糊的现象，从而影响检测精度。通过镀膜来减少这个表面反射常用的技术手段。由于是45度这样的大角度在系统中的使用那么一般的膜系设计能达到的减反效果是能将反射由5%-6%降低到0.8%左右，于是本实用新型提供一种反射率较低的分光镜，以达到较低的减反效果。

技术实现要素：

本实用新型目的是要提供一种低反射的分光镜，解决了现有分光镜反射率较高的问题。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了低反射的分光镜，包括分光镜本体，所述分光镜本体上镀设有分光膜，其特征在于，所述分光镜本体的斜面上镀设有增透膜，所述增透膜包括第一镀膜层、第二镀膜层、第三镀膜层和第四镀膜层，所述第一镀膜层、所述第二镀膜层、所述第三镀膜层和所述第四镀膜层依次设置在所述分光镜本体的斜面上，所述第一镀膜层、所述第二镀膜层、所述第三镀膜层和所述第四镀膜层均包括有sio2层和ta2o5层，所述sio2层和所述ta2o5层依次重叠，所述第一镀膜层内的sio2层紧贴所述分光镜本体设置，所述增透膜还包括有mgf2层，所述mgf2层镀设在所述第四镀膜层的外围。

优选地，所述第一镀膜层内的sio2层和ta2o5层厚度分别为233.69nm和15.58nm，所述第二镀膜层内的sio2层和ta2o5层厚度分别为64.74nm和22.63nm，所述第三镀膜层内的sio2层和ta2o5层厚度分别为239.31nm和48.50nm，所述第四镀膜层内的sio2层和ta2o5层厚度分别为13.76nm和55.85nm。

优选地，所述mgf2层的厚度为115.87nm。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的一种低反射的分光镜，在分光镜的斜面上镀设有一层增透膜，该增透膜包括第一镀膜层、第二镀膜层、第三镀膜层和第四镀膜层，第一镀膜层、第二镀膜层、第三镀膜层和第四镀膜层依次设置在分光镜的本体上，第一镀膜层、第二镀膜层、第三镀膜层和第四镀膜层内均包括sio2层和ta2o5层，但四个镀膜层内的sio2层和ta2o5层厚度不一致，sio2层和ta2o5层在两个膜层内依次排列，第一镀膜层内的sio2层紧贴分光镜本体设置；增透膜还包括有mgf2层，mgf2层镀设在第四镀膜层的外围。本实用通过在分光镜的另一表面镀制大角度超低反射增透膜的方法，有效的消除了背面反射由于45度放置和镜片厚度产生光程差而出现的重影问题。解决了在检测拍摄高对比度产品中很难解决的重影现象的困扰。提升的客户产品的检测精准度和成像效果。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：

图1是本实用新型优选实施例与现有常见反光镜的效果对比图；

图2是本实用新型结构示意图。

其中，附图标记说明如下：

1、现有分光镜；2、本实用新型实施例中的分光镜；3、分光镜本体；4、第一镀膜层；5、第二镀膜层；6、第三镀膜层；7、第四镀膜层；8、mgf2层。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图2，本实施例包括分光镜本体3，分光镜本体3的斜面上镀设有增透膜，增透膜包括第一镀膜层4、第二镀膜层5、第三镀膜层6、第四镀膜层7和mgf2层8，第一镀膜层4镀设在分光镜本体上，第二镀膜层5镀设在第一镀膜层的外，第三镀膜层6镀设在第二镀膜层5的外，第四镀膜层7镀设在第三镀膜6的外，mgf2层8镀设在第四镀膜层7的外围，第一镀膜层4、第二镀膜层5、第三镀膜层6和第四镀膜层7包括sio2层和ta2o5层，四个膜层内的sio2层和ta2o5层依次镀设，第一镀膜层4的sio2层镀设在分光镜本体3上，ta2o5层镀设在sio2层上，第二镀膜层5的sio2层镀设在第一镀膜层4的ta2o5层，第二镀膜层5的ta2o5层镀设第二镀膜层5的sio2层上，第三镀膜层6和第四镀膜层7内的也依次镀设sio2层和ta2o5层，mgf2层8镀设在所述第四镀膜层7的外围，即镀设在第四膜层7的ta2o5层的外围。第一镀膜层4的sio2层和ta2o5层厚度分别为233.69nm和15.58nm，第二镀膜层5的sio2层和ta2o5层厚度分别为64.74nm和22.63nm，第三镀膜层6的sio2层和ta2o5层的厚度分别为239.31nm和48.50nm，第四镀膜层7的sio2层和ta2o5层的厚度分别为13.76nm和55.85nm。mgf2层的厚度为115.87nm。

上述优选实施例的所有膜层在镀设时，基板温度均为300度，图1为实施例3和普通常规减反增透膜的反射光谱曲线对比图，现有分光镜1和本实用新型实施例中的分光镜2的对比图中可清晰看出，本实用新型的效果，在光路的使用中，重影得到了有效消除。反射率由之前的平均0.8%降低到平均0.4%左右

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种低反射的分光镜，包括分光镜本体，所述分光镜本体上镀设有分光膜，其特征在于，所述分光镜本体的斜面上镀设有增透膜，所述增透膜包括第一镀膜层、第二镀膜层、第三镀膜层和第四镀膜层，所述第一镀膜层、所述第二镀膜层、所述第三镀膜层和所述第四镀膜层依次设置在所述分光镜本体的斜面上，所述第一镀膜层、所述第二镀膜层、所述第三镀膜层和所述第四镀膜层均包括有sio2层和ta2o5层，所述sio2层和所述ta2o5层依次重叠，所述第一镀膜层内的sio2层紧贴所述分光镜本体设置，所述增透膜还包括有mgf2层，所述mgf2层镀设在所述第四镀膜层的外围。

2.根据权利要求1所述的一种低反射的分光镜，其特征在于：所述第一镀膜层内的sio2层和ta2o5层厚度分别为233.69nm和15.58nm，所述第二镀膜层内的sio2层和ta2o5层厚度分别为64.74nm和22.63nm，所述第三镀膜层内的sio2层和ta2o5层厚度分别为239.31nm和48.50nm，所述第四镀膜层内的sio2层和ta2o5层厚度分别为13.76nm和55.85nm。

3.根据权利要求2所述的一种低反射的分光镜，其特征在于：所述mgf2层的厚度为115.87nm。

技术总结
本实用新型涉及一种低反射的分光镜，包括分光镜本体，分光镜本体上镀设有分光膜和有增透膜，增透膜包括第一镀膜层、第二镀膜层、第三镀膜层和第四镀膜层，第一镀膜层、第二镀膜层、第三镀膜层和第四镀膜层依次设置在分光镜本体的斜面上，第一镀膜层、第二镀膜层、第三镀膜层和第四镀膜层均包括有SIO2层和TA2O5层，SIO2层和TA2O5层依次重叠，第一镀膜层内的SIO2层紧贴分光镜本体设置，增透膜还包括有MGF2层，MGF2层镀设在第四镀膜层的外围；通过在分光镜的另一表面镀制大角度超低反射增透膜，有效的消除了斜面由于45度放置和镜片厚度产生光程差而出现的重影问题。解决了在检测拍摄高对比度产品中很难解决的重影现象的困扰。提升的客户产品的检测精准度和成像效果。

技术研发人员：陈彪
受保护的技术使用者：苏州欣恒高科光电科技有限公司
技术研发日：2020.11.30
技术公布日：2021.06.22