一种光刻机晶圆放置板更换机构及光刻机的制作方法

1.本实用新型涉及光刻机技术领域，特别涉及一种光刻机晶圆放置板更换机构及应用该更换机构的光刻机。


背景技术：

2.光刻是半导体制造过程中一道非常重要的工序，它是将一系列掩模板上的芯片图形通过曝光依次转移到硅片相应层上的工艺过程，被认为是大规模集成电路制造中的核心步骤。半导体制造中一系列复杂而耗时的光刻工艺主要由相应的光刻机来完成。
3.现有的光刻机包括机台和设置在机台上的容纳槽，该容纳槽用于容纳晶圆放置板，容纳槽的外形形状与晶圆放置板的形状一致，晶圆用于放置在该晶圆放置板上进行加工。
4.其中，晶圆放置板在使用过程中需要经常进行更换，然而，由于容纳槽的形状与晶圆放置板的形状一致，使得晶圆放置板在放入容纳槽内后很难被取出，故急需针对这种情况进行解决。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本实用新型提供一种光刻机晶圆放置板更换机构及应用该更换机构的光刻机，主要所要解决的技术问题是：如何方便取出容纳槽内的晶圆放置板，以对晶圆放置板进行更换。
6.为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：
7.一方面，本实用新型的实施例提供一种光刻机晶圆放置板更换机构，包括机台、推板和驱动机构；所述机台上设有用于容纳晶圆放置板的容纳槽，所述容纳槽的底面中部设有过孔，所述容纳槽的底面上还凸设有沿周向延伸的第一密封圈和第二密封圈；所述第一密封圈位于第二密封圈的内侧，且两者之间形成环形槽，所述环形槽内设有吸气孔；
8.所述推板上设有推动部，所述晶圆放置板上设有连接块，所述连接块可相对所述晶圆放置板拆卸；其中，所述驱动机构用于驱动所述推板运动，所述推板用于受驱动通过所述推动部经由所述过孔推动所述连接块，以带动所述晶圆放置板伸出或缩入所述容纳槽。
9.可选的，所述连接块通过螺丝与所述晶圆放置板可拆卸连接。
10.可选的，所述晶圆放置板的背离晶圆放置面的一侧设有用于容纳所述连接块的安装槽，所述安装槽的底面上设有供所述螺丝拧入的螺丝孔。
11.可选的，所述连接块上设有供螺丝穿过的螺丝过孔，所述过孔的背离所述安装槽底面的一侧具有沉头槽。
12.可选的，所述推动部包括顶杆，以通过顶杆推动所述连接块。
13.可选的，所述顶杆的数量为两个以上，且沿所述推板的周向均匀分布；其中，连接块的数量与顶杆的数量相等、且一一对应。
14.可选的，所述连接块上设有供顶杆插入的定位槽。
15.可选的，所述定位槽呈半球形，所述顶杆的顶端呈与所述定位槽的形状相一致的半球形。
16.可选的，所述驱动机构包括驱动缸，以通过所述驱动缸驱动所述推板运动。
17.另一方面，本实用新型的实施例还提供一种光刻机，其可以包括上述任一种所述的光刻机晶圆放置板更换机构。
18.借由上述技术方案，本实用新型光刻机晶圆放置板更换机构及应用该更换机构的光刻机至少具有以下有益效果：
19.1、启动驱动机构即可将晶圆放置板从容纳槽内推出，方便对晶圆放置板进行更换；
20.2、容纳槽的底面上设有第一密封圈和第二密封圈，可以防止漏气，从而使得对晶圆放置板的吸附能够更加稳定；
21.3、晶圆放置板背面上的受推部即连接块可拆卸，从而连接块磨损后可及时拆下进行更换。
22.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
23.图1是本实用新型的一实施例提供的一种光刻机晶圆放置板更换机构的结构示意图；
24.图2是图1中光刻机晶圆放置板更换机构的另一视角的结构示意图；
25.图3是光刻机晶圆放置板更换机构隐藏晶圆放置板时的结构示意图；
26.图4是图3中a处的放大示意图；
27.图5是晶圆放置板的结构示意图；
28.图6是推板推动晶圆放置板时的剖面视图。
29.附图标记：1、机台；2、晶圆放置板；3、晶圆；4、推板；5、顶杆；6、驱动缸；7、连接块；8、过孔；21、安装槽；71、螺丝过孔；72、定位槽；101、容纳槽；102、环形槽；11、第一密封圈；12、第二密封圈。
具体实施方式
30.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
31.需要说明，若本发明实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
32.另外，若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技
术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
33.如图1和图2所示，本实用新型的一个实施例提出的一种光刻机晶圆放置板更换机构，其包括机台1、推板4和驱动机构。机台1上设有容纳槽101，该容纳槽101用于容纳晶圆放置板2，容纳槽101的外形形状与晶圆放置板2的外形形状一致，比如两者可以均为方形。容纳槽101可以对晶圆放置板2限位，防止晶圆放置板2晃动而影响其上晶圆3的加工。其中，晶圆放置板2与容纳槽101的槽壁滑动配合，使晶圆放置板2受驱动可伸出或缩入容纳槽101内。
34.如图3和图4所示，上述容纳槽101的底面中部设有过孔8，该过孔8可以呈方形。容纳槽101的底面上还凸设有第一密封圈11和第二密封圈12，第一密封圈11和第二密封圈12两者均环绕过孔8设置。第一密封圈11位于第二密封圈12的内侧，且两者之间形成环形槽102，环形槽102内设有吸气孔。其中，晶圆放置板2放入容纳槽101内后，晶圆放置板2的底部与第一密封圈11和第二密封圈12两者的上端接触，吸气孔与外部负压装置连接，外部负压装置启动时可以对环形槽102内部抽真空，以吸附固定晶圆放置板2。其中，在一个具体的应用示例中，环形槽102的底面上还可以设有沿周向延伸的凹槽，上述的吸气孔设置在凹槽内。
35.前述的驱动机构用于驱动推板4运动。如图2所示，该驱动机构可以包括驱动缸6，以通过驱动缸6驱动推板4运动。驱动缸6可以为气缸或液压缸等，具体可以根据实际需要进行选择，在此不再赘述。
36.前述的推板4上设有推动部。如图5所示，晶圆放置板2上设有连接块7，连接块7可相对晶圆放置板2拆卸，以在连接块7磨损后及时从晶圆放置板2拆下进行更换。如图6所示，推板4用于受驱动通过推动部经由过孔8推动连接块7，以带动晶圆放置板2伸出或缩入容纳槽101。
37.在上述示例中，启动驱动机构即可将晶圆放置板2从容纳槽101内推出，方便对晶圆放置板2进行更换。
38.为了实现连接块7可相对晶圆放置板2可拆卸的功能，在一个具体的应用示例中，连接块7可以通过螺丝与晶圆放置板2可拆卸连接。晶圆放置板2具有晶圆放置面，晶圆3用于放置在该晶圆放置面上。如图5和图6所示，晶圆放置板2的背离晶圆放置面的一侧设有安装槽21，该安装槽21用于容纳连接块7。安装槽21的底面上设有供螺丝拧入的螺丝孔。在本示例中，通过将连接块7设置在晶圆放置板2的背面，可以避免连接块7对晶圆3的加工造成影响。
39.如图5所示，前述连接块7上设有供螺丝穿过的螺丝过孔71，该螺丝过孔71的背离安装槽21底面的一侧具有沉头槽，螺丝经由该螺丝过孔71拧入前述安装槽21底面上的螺丝孔内。
40.前述连接块7上螺丝的数量可以为两个以上，以提高连接块7与晶圆放置板2的连接效果。在一个具体的应用示例中，如图5所示，连接块7上螺丝的数量可以为四个，且绕连接块7的周向均匀分布。
41.为了实现前述推动部推动连接块7的功能，如图6所示，推动部可以包括顶杆5，以通过顶杆5推动连接块7。其中，顶杆5的体积较小，可以减少与连接块7之间的摩擦，提高顶杆5和连接块7两者的使用寿命。
42.前述顶杆5的数量可以为两个以上，且沿推板4的周向均匀分布；其中，连接块7的数量与顶杆5的数量相等、且一一对应。在一个具体的应用示例中，如图3和图5所示，顶杆5和连接块7两者的数量均为四个。在本示例中，更多数量的顶杆5，可以提高推动部推动晶圆放置板2的稳定性。
43.如图5所示，前述的连接块7上还可以设有定位槽72，前述的顶杆5用于插入该定位槽72内，顶杆5与定位槽72配合，可以在推动晶圆放置板2的过程中对晶圆放置板2初定位，防止晶圆放置板2在推动的过程中发生晃动。
44.为了减小摩擦，优选的，如图6所示，前述的定位槽72可以呈半球形，顶杆5的顶端可以呈与定位槽72的形状相一致的半球形。
45.本实用新型的一个实施例还提出一种光刻机，该光刻机可以包括上诉任一种所述的光刻机晶圆放置板更换机构。在本示例中，由于光刻机采用上述光刻机晶圆放置板更换机构的缘故，其启动驱动机构即可将晶圆放置板2从容纳槽101内推出，方便对晶圆放置板2进行更换。
46.下面介绍一下本实用新型的工作原理和优选实施例。
47.本实用新型在于设计一种光刻机晶圆放置板更换机构及应用该更换机构的光刻机，光刻机晶圆放置板更换机构包括机台1、推板4和驱动机构。机台1上设有容纳槽101，该容纳槽101用于容置晶圆放置板2，容纳槽101的底面中部设有过孔8。驱动机构包括驱动缸6，驱动缸6的输出端与推板4连接。推板4上设有顶杆5，顶杆5的数量可以为两个以上，比如为四个，顶杆5沿推板4的周向均匀间隔设置。晶圆放置板2的背面设有连接块7，连接块7通过螺丝与晶圆放置板2可拆卸连接，以使连接块7受到磨损后可及时拆下进行更换。其中，连接块7的数量与顶杆5的数量相等，且一一对应。连接块7上还设有呈半球形的凹槽，顶杆5的顶端呈与连接块7的形状相一致的半球形。顶杆5的顶端可以经由过孔8插入连接块7上的凹槽内，以在推动晶圆放置板2的过程中对其初定位，防止晶圆放置板2发生晃动。
48.这里需要说明的是：在不冲突的情况下，本领域的技术人员可以根据实际情况将上述各示例中相关的技术特征相互组合，以达到相应的技术效果，具体对于各种组合情况在此不一一赘述。
49.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。