技术特征：
1.一种多波长光束处理装置，其特征在于，包括：至少一个光束处理子装置，所述光束处理子装置用于对多波长光束进行合束或分束处理，包括：一主光束准直器、至少两个分光束准直器及至少两个透反射组件，其中，当所述光束处理子装置用于多波长光束合束时，多波长的分光束分别经过对应的所述分光束准直器进行准直后，经过至少一个所述透反射组件进行反射或透射后分别输出至所述主光束准直器进行合束并输出；当所述光束处理子装置用于多波长光束分束时，多波长的主光束经过所述主光束准直器进行准直后，经过对应的至少一个所述透反射组件进行反射或透射后分别输出至对应的所述分光束准直器输出。2.根据权利要求1所述的多波长光束处理装置，其特征在于，还包括：至少两个滤波组件，每个所述滤波组件分别与所述分光束准直器对应设置，用于对光束进行滤波处理。3.根据权利要求1所述的多波长光束处理装置，其特征在于，所述每个透反射组件与水平方向夹角均为45
°
。4.根据权利要求1所述的多波长光束处理装置，其特征在于，每个所述透反射组件的反射波长不同，所述多波长光束中大于每个所述透反射组件的反射波长的光束透射该透反射组件。5.根据权利要求1所述的多波长光束处理装置，其特征在于，所述主光束准直器和所述分光束准直器均为具有三自由度调节功能的准直器，包括：由内向外依次设置的卡环、透镜组件、光纤连接件、调节环、准直器基体及外壳。6.根据权利要求5所述的多波长光束处理装置，其特征在于，所述卡环与所述透镜组件之间设置柔性垫圈，所述柔性垫圈用于防止所述卡环与所述透镜组件直接接触时刮伤所述透镜组件的表面。7.根据权利要求5所述的多波长光束处理装置，其特征在于，所述主光束准直器和所述分光束准直器分别通过卡环设置于所述光束处理子装置的基体上。8.根据权利要求5所述的多波长光束处理装置，其特征在于，所述光纤连接件通过螺旋机构设置于所述调节环内，并通过旋转所述光纤连接件可实现光纤的z轴方向位置调节。9.根据权利要求1所述的多波长光束处理装置，其特征在于，每个所述分光束准直器的工作波长不同，该工作波长与其对应的入射或出射光束的波长相同。10.一种基于如权利要求1～9中任意一项所述的多波长光束处理装置的多波长光束处理方法，其特征在于，包括：当光束处理子装置用于多波长光束合束时，多波长的分光束分别经过与之对应的分光束准直器进行准直后，经过对应的至少一个透反射组件进行反射或透射后分别输出至主光束准直器进行合束并输出；当光束处理子装置用于多波长光束分束时，多波长的主光束经过所述主光束准直器进行准直后，经过对应的至少一个透反射组件进行反射或透射后分别输出至对应的所述分光束准直器输出。
技术总结
本公开提供了一种多波长光束处理装置，包括：至少一个光束处理子装置，光束处理子装置用于对多波长光束进行合束或分束处理，包括：一主光束准直器、至少两个分光束准直器及至少两个透反射组件，其中，当光束处理子装置用于多波长光束合束时，多波长的分光束分别经过对应的分光束准直器进行准直后，经过至少一个透反射组件进行反射或透射后分别输出至主光束准直器进行合束并输出；当光束处理子装置用于多波长光束分束时，多波长的主光束经过主光束准直器进行准直后，经过对应的至少一个透反射组件进行反射或透射后分别输出至对应的分光束准直器输出。本公开还提供了一种多波长光束处理方法。处理方法。处理方法。
技术研发人员：王朋辉 李璟 陈进新 卢增雄 高斌 齐威
受保护的技术使用者：中国科学院微电子研究所
技术研发日：2021.10.14
技术公布日：2022/1/18