一种光刻胶喷涂装置的制作方法

1.本实用新型涉及喷胶设备技术领域，更具体地说，涉及一种光刻胶喷涂装置。


背景技术：

2.目前，现有的光刻胶喷涂设备还存在着一些不足的地方，例如现有的光刻胶喷涂设备在停止喷胶的间隙，喷头与外部环境中接触，使喷头内残留的光刻胶内的溶剂减少，喷头内的光刻胶容易结晶堵塞喷头，影响喷胶加工和喷胶质量，本实用新型针对以上问题提出了一种新的解决方案。


技术实现要素：

3.针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种光刻胶喷涂装置，以解决背景技术中所提到的技术问题。
4.为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。
5.一种光刻胶喷涂装置，包括工作台，所述工作台的上端面开设有安放槽，安放槽内设置有转盘，转盘的下端面设置有转轴，转轴转动连接在安放槽内，工作台内设置有安装腔，安装腔内设置有第一伺服电机，第一伺服电机的输出端通过设置的变速器与转轴的底端传动连接，工作台的上端面设置有l型支架，l型支架的一端转动连接在工作台上，l型支架的另一端设置有喷嘴，喷嘴内设置有主喷管和副喷管，工作台的上端面一侧设置有存胶罐和输送泵，输送泵的输入端与存胶罐内的底部连通，输送泵的输出端设置有输送管，输送管的一端端与主喷管连通，输送管上设置有电子三通阀，电子三通阀的输入端与副喷管连通，电子三通阀的其中一个输出端与输送管连通，电子三通阀的另一个输出端上设置有回流管，回流管的一端与存胶罐内的底部连通，喷嘴的侧壁上滑动连接有滑块，滑块的顶部设置有电动伸缩杆，电动伸缩杆的一端固定在喷嘴上，滑块的内设置有微型伺服电机，微型伺服电机的输出端轴向固定有安装盘，安装盘的一侧设置有密封堵头，密封堵头与喷嘴的工作端配合设置。
6.优选的是，所述l型支架的一端外侧固定有齿圈，所述工作台的上端面设置有第二伺服电机，第二伺服电机的顶部输出端轴向固定有齿轮，齿轮与齿圈啮合。
7.在上述任一方案中优选的是，所述第二伺服电机的外侧设置有保护罩，保护罩螺栓连接在所述工作台的上端面。
8.在上述任一方案中优选的是，所述工作台的侧壁上设置有检修口，检修口与所述安装腔连通，检修口上螺栓连接有检修盖，检修盖上设置有扣手。
9.在上述任一方案中优选的是，所述检修盖上设置有散热通孔，检修盖的内侧对应散热通孔的位置设置有散热风扇。
10.在上述任一方案中优选的是，所述存胶罐内设置有可沿竖直方向滑动的密封板，密封板将存胶罐分隔成上进气腔和下存液腔，存胶罐的上端面设置有进气口，进气口与上进气腔连通，存胶罐的侧壁上设置有补液管，补液管与下存液腔连通，补液管上设置有控制
阀。
11.在上述任一方案中优选的是，所述进气口内设置有防尘网布。
12.在上述任一方案中优选的是，所述工作台的上端面设置有外壳，外壳插接在所述工作台的上端面，外壳上设置有开口，开口上转动连接有操作门扇。
13.在上述任一方案中优选的是，所述操作门扇的上设置有把手。
14.在上述任一方案中优选的是，所述工作台下端面四角处分别设置有垫脚。
15.相比于现有技术，本实用新型的优点在于：
16.本实用新型中主喷管、副喷管、电子三通阀和密封堵头的设计，当正常喷胶时，可将密封堵头打开，通过控制电子三通阀，使输送管分别与主喷管和副喷管连通，通过主喷管和副喷管同时喷胶，当喷胶完成后，可将密封堵头将喷嘴的工作端封堵，使主喷管的喷射端与副喷管的喷射端连通，然后控制电子三通阀，使副喷管的另一端通过电子三通阀与回流管连通，使输送管、主喷管、副喷管、回流管和存胶罐形成回路，通过输送泵，将存胶罐内的光刻胶在回路内循环输送，避免停止喷胶时，喷嘴内的光刻胶与外部环境接触，避免光刻胶内的溶剂流失，减少光刻胶的浓度变化，避免光刻胶内结晶，保证喷胶质量，避免喷嘴堵塞。
附图说明
17.图1为本实用新型的一种光刻胶喷涂装置的整体结构示意图；
18.图2为图1中a区域局部放大图。
19.图中标号说明：
20.1、工作台；2、安放槽；3、转盘；4、转轴；5、安装腔；6、第一伺服电机；7、l型支架；8、喷嘴；9、主喷管；10、副喷管；11、存胶罐；12、输送泵；13、输送管；14、电子三通阀；15、回流管；16、滑块；17、电动伸缩杆；18、微型伺服电机；19、安装盘；20、密封堵头；21、齿圈；22、第二伺服电机；23、齿轮；24、保护罩；25、检修口；26、检修盖；27、扣手；28、散热通孔；29、散热风扇；30、密封板；31、上进气腔；32、下存液腔；33、进气口；34、补液管；35、控制阀；36、防尘网布；37、外壳；38、开口；39、操作门扇；40、把手；41、垫脚。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.实施例：
23.请参阅图1至图2，一种光刻胶喷涂装置，包括工作台1，所述工作台1的上端面开设有安放槽2，安放槽2内设置有转盘3，转盘3的下端面设置有转轴4，转轴4转动连接在安放槽2内，工作台1内设置有安装腔5，安装腔5内设置有第一伺服电机6，第一伺服电机6的输出端通过设置的变速器与转轴4的底端传动连接，工作台1的上端面设置有l型支架7，l型支架7的一端转动连接在工作台1上，l型支架7的另一端设置有喷嘴8，喷嘴8内设置有主喷管9和副喷管10，工作台1的上端面一侧设置有存胶罐11和输送泵12，输送泵12的输入端与存胶罐11内的底部连通，输送泵12的输出端设置有输送管13，输送管13的一端端与主喷管9连通，
输送管13上设置有电子三通阀14，电子三通阀14的输入端与副喷管10连通，电子三通阀14的其中一个输出端与输送管13连通，电子三通阀14的另一个输出端上设置有回流管15，回流管15的一端与存胶罐11内的底部连通，喷嘴8的侧壁上滑动连接有滑块16，滑块16的顶部设置有电动伸缩杆17，电动伸缩杆17的一端固定在喷嘴8上，滑块16的内设置有微型伺服电机18，微型伺服电机18的输出端轴向固定有安装盘19，安装盘19的一侧设置有密封堵头20，密封堵头20与喷嘴8的工作端配合设置。
24.在本实施例中，所述l型支架7的一端外侧固定有齿圈21，所述工作台1的上端面设置有第二伺服电机22，第二伺服电机22的顶部输出端轴向固定有齿轮23，齿轮23与齿圈21啮合；所述第二伺服电机22的外侧设置有保护罩24，保护罩24螺栓连接在所述工作台1的上端面。第二伺服电机22的设计，可通过第二伺服电机22的实现l型支架7的自动转动，更省力方便。
25.在本实施例中，所述工作台1的侧壁上设置有检修口25，检修口25与所述安装腔5连通，检修口25上螺栓连接有检修盖26，检修盖26上设置有扣手27。检修口25的设计，可方便检修安装腔5内的各个设备，保证安装腔5内各设备的正常使用。
26.在本实施例中，所述检修盖26上设置有散热通孔28，检修盖26的内侧对应散热通孔28的位置设置有散热风扇29。散热通孔28和散热风扇29的设计，可保证安装腔5内正常的运行温度，防止安装腔5内温度过高。
27.在本实施例中，所述存胶罐11内设置有可沿竖直方向滑动的密封板30，密封板30将存胶罐11分隔成上进气腔31和下存液腔32，存胶罐11的上端面设置有进气口33，进气口33与上进气腔31连通，存胶罐11的侧壁上设置有补液管34，补液管34与下存液腔32连通，补液管34上设置有控制阀35；所述进气口33内设置有防尘网布36。通过上述设计，可避免存胶罐11内的光刻胶与外部环境中的空气接触，防止存胶罐11内光刻胶结晶。
28.在本实施例中，所述工作台1的上端面设置有外壳37，外壳37插接在所述工作台1的上端面，外壳37上设置有开口38，开口38上转动连接有操作门扇39；所述操作门扇39的上设置有把手40。外壳37的设计，可避免外部光线和其它不利因素对加工区域的影响。
29.在本实施例中，所述工作台1下端面四角处分别设置有垫脚41。垫脚41的设计，可避免工作台1的下端面直接与支撑物接触而磨损。
30.本实用新型的工作过程如下：
31.操作者可将光刻胶注入到下存液腔32内，然后连接外部控制器和电源，打开操作门扇39，将待加工的部件放置在转盘3上，然后关闭操作门扇39，打开第一伺服电机6和输送泵12，使转盘3带动待加工的部件转动，然后打开输送泵12将存胶罐11的光刻胶通过输送管13输送到主喷管9和副喷管10，通过喷嘴8将光刻胶喷射到待加工的部件上，当喷胶完成后，启动电动伸缩杆17，电动伸缩杆17伸长后然后启动微型伺服电机18，微型伺服电机18将密封堵头20转动到喷嘴8的下方，然后将电动伸缩杆17复位，使密封堵头20封堵到喷嘴8上，使主喷管9的喷射端与副喷管10的喷射端连通，然后控制电子三通阀14，使副喷管10的另一端通过电子三通阀14与回流管15连通，使输送管13、主喷管9、副喷管10、回流管15和存胶罐11形成回路，通过输送泵12，将存胶罐11内的光刻胶在回路内循环输送。主喷管9、副喷管10、电子三通阀14和密封堵头20的设计，当正常喷胶时，可将密封堵头20打开，通过控制电子三通阀14，使输送管13分别与主喷管9和副喷管10连通，通过主喷管9和副喷管10同时喷胶，当
喷胶完成后，可将密封堵头20将喷嘴8的工作端封堵，使主喷管9的喷射端与副喷管10的喷射端连通，然后控制电子三通阀14，使副喷管10的另一端通过电子三通阀14与回流管15连通，使输送管13、主喷管9、副喷管10、回流管15和存胶罐11形成回路，通过输送泵12，将存胶罐11内的光刻胶在回路内循环输送，避免停止喷胶时，喷嘴8内的光刻胶与外部环境接触，避免光刻胶内的溶剂流失，减少光刻胶的浓度变化，避免光刻胶内结晶，保证喷胶质量，避免喷嘴8堵塞。
32.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式；但本实用新型的保护范围并不局限于此。任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。