一种光罩移动机构的制作方法

1.本实用新型涉及光罩生产技术领域，具体为一种光罩移动机构。


背景技术：

2.光罩在制作ic的过程中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图型，为将图型复制於晶圆上，必须透过光罩作用的原理，类似于冲洗照片时，利用底片将影像复制至相片上。
3.现有的多数光罩移动机构，在使用过程中，不能够对光罩进行静电消除，不利于使用，因此，我们提出一种光罩移动机构。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种光罩移动机构，通过在移动机构的结构上增加离子棒，利用离子棒能够对光罩进行静电消除，从而降低了玻璃碎片的几率，节约了成本，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种光罩移动机构，包括工作台和固定架，所述固定架设置在工作台的一侧，所述固定架上安装有升降机构，所述工作台的顶部安装有支撑架，所述工作台的顶部还是安装有固定框，所述固定框设置在支撑架的底部，所述支撑架的内侧安装有离子棒，所述固定框的内侧可移动安装有夹具，所述夹具设置在支撑架的外侧，所述夹具设置有四组。
7.优选的，所述固定架的顶部一侧安装有横向调节机构，所述升降机构安装在横向调节机构上。
8.优选的，所述支撑架上固定安装有固定座，所述固定座设置有两组，两组所述固定座相对支撑架对称设置，所述离子棒固定安装在两组固定座的内侧。
9.优选的，所述工作台的底部安装有xy轴调节机构，所述夹具安装在xy轴调节机构上。
10.优选的，所述夹具包括固定板和夹紧板，所述夹紧板固定安装在固定板的一侧。
11.优选的，所述夹紧板通过固定螺栓固定安装在固定板上，且所述夹紧板设置在固定板的上部。
12.优选的，所述工作台的底部安装有支撑框，所述支撑框的四个脚均安装有脚杯。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.本实用新型通过离子棒的设置，在使用移动机构对光罩进行搬运时，能够利用离子棒对光罩进行静电消除，从而降低了玻璃碎片的几率，节约了成本。
附图说明
15.图1为本实用新型的结构示意图；
16.图2为本实用新型的a部分放大结构示意图；
17.图3为本实用新型的b部分放大结构示意图。
18.图中：1、工作台；2、固定架；3、升降机构；4、支撑架；5、固定框；6、离子棒；7、夹具；701、固定板；702、夹紧板；8、横向调节机构；9、固定座；10、支撑框；11、脚杯。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：
21.该光罩移动机构，包括工作台1和固定架2，固定架2用来安装升降机构3，固定架2设置在工作台1的一侧，固定架2上安装有升降机构3，升降机构3用来将光罩传输到支撑架4上，工作台1的顶部安装有支撑架4，支撑架4用来支撑光罩，工作台1的顶部还是安装有固定框5，固定框5设置在支撑架4的底部，支撑架4的内侧安装有离子棒6，离子棒6用来对光罩进行静电消除，固定框5的内侧可移动安装有夹具7，夹具7用来分离光罩的罩体和盖子，夹具7设置在支撑架4的外侧，夹具7设置有四组。
22.固定架2的顶部一侧安装有横向调节机构8，升降机构3安装在横向调节机构8上，横向调节机构8用来调节升降机构3横向的位置。
23.支撑架4上固定安装有固定座9，固定座9设置有两组，两组固定座9相对支撑架4对称设置，离子棒6固定安装在两组固定座9的内侧，固定座9用来安装离子棒6。
24.工作台1的底部安装有xy轴调节机构，夹具7安装在xy轴调节机构上，xy轴调节机构用来对夹具7的xy方向的位置进行调节。
25.夹具7包括固定板701和夹紧板702，夹紧板702固定安装在固定板701的一侧，固定板701用来安装夹紧板702，夹紧板702用来夹持光罩的盖子。
26.夹紧板702通过固定螺栓固定安装在固定板701上，且夹紧板702设置在固定板701的上部，通过固定螺栓安装夹紧板702，使夹紧板702方便拆卸。
27.工作台1的底部安装有支撑框10，支撑框10用来支撑工作台1，支撑框10的四个脚均安装有脚杯11，脚杯11用来支撑支撑框10，同时能够对支撑框10水平度进行调节。
28.具体使用时，固定架2设置在工作台1的一侧，固定架2上安装有升降机构3，工作台1的顶部安装有支撑架4，工作台1的顶部还是安装有固定框5，固定框5设置在支撑架4的底部，支撑架4的内侧安装有离子棒6，固定框5的内侧可移动安装有夹具7，夹具7设置在支撑架4的外侧，夹具7设置有四组，在对光罩进行搬运时，利用升降机构3将光罩传输至支撑架4上，接着通过xy轴调节机构移动夹具7，通过夹具7将光罩的罩体和盖子分离，然后利用离子棒6对光罩进行静电消除，最后在将盖子恢复原位，从而实现对光罩的静电消除。
29.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种光罩移动机构，包括工作台(1)和固定架(2)，其特征在于：所述固定架(2)设置在工作台(1)的一侧，所述固定架(2)上安装有升降机构(3)，所述工作台(1)的顶部安装有支撑架(4)，所述工作台(1)的顶部还是安装有固定框(5)，所述固定框(5)设置在支撑架(4)的底部，所述支撑架(4)的内侧安装有离子棒(6)，所述固定框(5)的内侧可移动安装有夹具(7)，所述夹具(7)设置在支撑架(4)的外侧，所述夹具(7)设置有四组。2.根据权利要求1所述的一种光罩移动机构，其特征在于：所述固定架(2)的顶部一侧安装有横向调节机构(8)，所述升降机构(3)安装在横向调节机构(8)上。3.根据权利要求1所述的一种光罩移动机构，其特征在于：所述支撑架(4)上固定安装有固定座(9)，所述固定座(9)设置有两组，两组所述固定座(9)相对支撑架(4)对称设置，所述离子棒(6)固定安装在两组固定座(9)的内侧。4.根据权利要求1所述的一种光罩移动机构，其特征在于：所述工作台(1)的底部安装有xy轴调节机构，所述夹具(7)安装在xy轴调节机构上。5.根据权利要求1所述的一种光罩移动机构，其特征在于：所述夹具(7)包括固定板(701)和夹紧板(702)，所述夹紧板(702)固定安装在固定板(701)的一侧。6.根据权利要求5所述的一种光罩移动机构，其特征在于：所述夹紧板(702)通过固定螺栓固定安装在固定板(701)上，且所述夹紧板(702)设置在固定板(701)的上部。7.根据权利要求1所述的一种光罩移动机构，其特征在于：所述工作台(1)的底部安装有支撑框(10)，所述支撑框(10)的四个脚均安装有脚杯(11)。

技术总结
本实用新型公开了一种光罩移动机构，包括工作台和固定架，所述固定架设置在工作台的一侧，所述固定架上安装有升降机构，所述工作台的顶部安装有支撑架，所述工作台的顶部还是安装有固定框，所述固定框设置在支撑架的底部，所述支撑架的内侧安装有离子棒，所述固定框的内侧可移动安装有夹具，所述夹具设置在支撑架的外侧，所述夹具设置有四组，所述支撑架上固定安装有固定座，所述固定座设置有两组，两组所述固定座相对支撑架对称设置，所述离子棒固定安装在两组固定座的内侧。本实用新型通过在移动机构的结构上增加离子棒，利用离子棒能够对光罩进行静电消除，从而降低了玻璃碎片的几率，节约了成本。节约了成本。节约了成本。


技术研发人员：郑哲勳 王恒
受保护的技术使用者：昆山利哲祥机械材料有限公司
技术研发日：2021.12.14
技术公布日：2022/7/5