特别于光刻系统的光学系统的制作方法

发明主题此目的通过在引言部分中提到的类型的光学系统来实现，其中部件可拆卸地连接到较佳为线形的腹板。与de 10 2017 219 266 a1(其提出了光阑元件和腹板一体成型)相反、或与部件例如通过焊接而连接到腹板的整体连接相反，在根据本发明的光学系统中的部件(特别是光阑元件的形式)可拆卸地连接到腹板。可拆卸的连接可例如为夹紧连接或插件连接。将部件可拆卸地连接到腹板简化了部件的调整。这尤其在部件为光阑元件形式的情况下是有利的，其光决定边缘必须相对于光束路径精确地定位。可拆卸连接还允许以简单的方式更换部件。腹板可例如以线形方式(以线的形式)设计。如果要对腹板施加预拉力(见下文)，这尤其有益。然而，原则上也可将腹板设计成例如薄刀片的形式、引线的形式、或弹簧的形式。腹板通常沿直线延伸。在一具体实施例中，至少一个腹板跨越框形保持器中的开口。在此具体实施例中，至少一个腹板(特别是所有腹板)沿框形保持器从第一位置开始延伸到在框形保持器的相对侧上的第二位置。因此，跨越开口的相应腹板从框形保持器的第一位置开始，然而其并不在部件处终止，而是从那里进一步延伸直到在框形保持器的第二位置。框形保持器中开口的几何形状可以多种方式设计，例如圆形、椭圆形或矩形。相应的腹板可从开口的第一侧延伸到开口的相对侧，并例如垂直于同样跨越开口的另一腹板。然而，一个或多个腹板也可能沿着保持器中的例如矩形或圆形开口的对角线延伸。在另一具体实施例中，光学系统包含配置在其中一个腹板和保持器之间的至少一个较佳为预拉紧的弹簧，特别是片弹簧的形式。弹簧有可能对相应的腹板施加预拉力。关于使用弹簧来拉紧特别是线形腹板的细节，参考在引言部分中提到的de 10 2017 219 266a1，其全部内容通过引用结合到本技术案的内容中。在每种情况下，跨越开口的腹板可在弹簧的协助下在其相对端部预拉紧。在一具体实施例中，光学系统包含至少一个长度设定装置，用于设定至少一个腹板的长度。长度设定装置较佳安装在预拉紧的弹簧上(并与该弹簧一起偏转)。长度设定装置可例如具有绕组元件，其以例如圆柱形线圈等方式，其中(线形)腹板沿着其长度的一部分缠绕在该绕组元件上。可通过绕其纵轴旋转绕组元件来设定腹板的长度(在绕组元件外部)。长度设定装置还可具有(至少一个)固定元件，例如夹紧元件等，用于将绕组元件固定在其相对于纵轴的角位置中。当腹板具有其期望的长度时，绕组元件借助于固定元件被固定在其角位置，例如通过将绕组元件夹紧就位使得它不再能够绕其旋转轴旋转。将长度设定装置安装在预拉紧弹簧(例如片弹簧)上，即使其长度不经意地增加，也可能保持腹板预拉紧。举例来说，由于超过屈服极限时的材料屈服或由于腹板温度的升高，会发生不希望的长度增加。当将长度设定装置安装在预拉紧弹簧上时，长度设定装置以及因此与其连接的腹板将偏转，结果为即使在这种情况下也可保持腹板的预拉紧。在一具体实施例中，通常为光阑元件形式的板形部件附接到承载结构，该承载结构较佳不横向突出超过板形部件，且腹板可拆卸地连接到承载结构。板形部件可使用可拆卸连接或使用永久连接附接到承载结构。在这种情况下，承载结构形成适配器，以在这种情况下将通常非常薄的板形部件连接到腹板。承载结构可用于悬吊板形部件或支撑板形部件。在此具体实施例中的板形部件通常具有小于约500μm的非常低的厚度，例如在200μm至300μm的数量级。举例来说，板形部件可为通过例如化学蚀刻制造的薄石英玻璃板或另一种非常薄的金属板(例如由殷钢制成)。如果部件是光阑元件，石英玻璃板通常具有反射涂层。部件可以一体地连接到承载结构，但也可能通过形状配合和/或力配合连接将部件连接到承载结构。承载结构的材料可为例如具有低热膨胀系数的殷钢，或可拆卸地连接到特别是线形腹板的另一种合适的材料。承载结构与腹板的可拆卸连接可例如通过将线(可能完全地)夹在承载结构的凹痕形凹陷中来实现。然而，线也可被引导穿过承载结构的例如框形部分中的开口或孔。在孔的适当配置或对准的情况下，部件在这种情况下也可配置或保持在光学系统中的特定位置处。在另一具体实施例中，板形部件具有至少一个较佳为杆形的固持元件(销)，其包含用于可拆卸地连接到其中一个腹板的固持部分。固持元件通常垂直于板形部件突出在其上。然而，不言而喻地，固持元件不一定必须垂直于板形部件。固持元件可与部件形成为一体，但固持元件也可与部件压在一起或以另一种方式连接到部件。固持元件或固持部分用于基本上呈点状地将部件连接到相应的腹板。将固持部分连接到腹板有多种可能性：在此具体实施例的一种改进中，固持部分形成至少一较佳成角度的凹口，用于夹紧连接到腹板。在这种情况下，腹板被夹在凹口中。凹口可设计(成角度)使得例如线形腹板和部件阻挡自身。在此具体实施例中，通常在每种情况下部件的两个固持元件用于与腹板的可拆卸连接。这两个固持元件较佳地在各个情况下在部件的横向边缘附近彼此径向相对地配置。可提供不同类型的固持元件用于在两个或更多个腹板处保持部件，以确保部件和线形腹板阻挡自身。在进一步的改进中，固持部分形成至少一个凹口，用于缠绕线形腹板。在此改进中，在这种情况下为线形的腹板缠绕固持元件的固持部分中的凹口周围。为了将部件保持在期望的位置和对准并为了阻挡其定向，线形腹板可缠绕另一固持元件的另一凹口周围。在另一具体实施例中，部件具有引导腹板穿过的至少一个凹陷或至少一个孔。此具体实施例可特别地与前文进一步描述的具体实施例组合，其中线形腹板缠绕凹口周围：在这种情况下，同一个腹板可缠绕固持元件中的凹口周围并被引导穿过孔或凹陷，以固定部件的定向。为了固定部件的定向，如果缠绕的固持元件与部件中的孔或凹陷之间的距离尽可能大，则是有利的。这例如可通过将固持元件和孔/凹陷配置在部件的径向相对的边缘处来确保。在另一具体实施例中，孔由一密封件封闭，该密封件围绕腹板并将腹板固定在孔中。在这种情况下，孔具有比被引导穿过孔的例如线形腹板更大的直径。为了固定线形腹板相对于孔的位置或定向，将线形腹板嵌入密封件中。在这种情况下，在部件的相对外围处的另一个孔可用于引导线形腹板穿过而不将其相对于部件固定，但也有可能在那里固定另外的密封件。密封件可由与线形腹板相同的材料构成，例如钨或铼。在此具体实施例的进一步发展中，在元件中形成两个孔，线形腹板被引导穿过这些孔，且线形腹板在这些孔之间以回圈的方式缠绕部件周围，更具体地围绕形成在两个孔之间的部件的一部分。以这种方式也有可能确保部件和线形腹板之间的可拆卸连接，这使得有可能将部件保持在期望的对准和位置。在这种情况下，孔通常是在垂直于部件平面的方向上延伸的通孔。在另一具体实施例中，凹陷或孔具有至少一个弯曲部分，用于在线形腹板在凹陷或孔中被引导时弯曲线形腹板，并以这种方式将腹板固定或保持在部件上或部件处。在这种情况下，线形腹板被保持在凹陷或孔中、或通过支撑和摩擦固定在那里。固定被理解为表示，由于支撑和/或摩擦，部件不能容易地沿着线形腹板移位。如果线形腹板如前文进一步描述的那样由弹簧预拉紧，则此具体实施例是特别有利的，因为这有助于通过弯曲将部件固定到线形腹板上。凹陷可具有盖子，即以具有弯曲部分的孔的方式形成。在这种情况下，部件也可能由于摩擦而被保持在适当的位置。为了弯曲线形腹板，凹陷或孔不形成为直线，而是在腹板的第一入口侧端部和第二出口侧端部之间具有至少一个弯曲部分。凹陷或孔的宽度不是绝对需要与线形腹板的宽度基本上对应。相反，凹陷或孔可具有比线形腹板明显更大的宽度。在这种情况下，线形腹板也可在凹陷中或在孔中弯曲。举例来说，这可通过在凹陷或孔的弯曲部分之前沿着凹陷或孔的第一侧壁引导线形腹板并通过在弯曲部分之后沿着凹陷或孔的第二侧壁(其相对于第一侧壁横向地偏移)引导来实现。在此具体实施例的改进中，弯曲部分具有s形几何形状。在这种情况下，线形腹板可在凹陷或孔的入口侧端部进入，并可从凹陷或孔的出口侧端部出来，其具有由于凹陷或孔的s形部分而产生的平行偏移。线形腹板的这种引导已证明特别是对于线形腹板的预拉紧(例如在片弹簧的协助下)的情况是有利的，因为在这种情况下，线形腹板在光阑元件处的偏转太大是相当不利的。在另一具体实施例中，光阑元件形成遮光光阑，用于遮挡光学系统的光束路径的内部部分区域。如前文进一步描述的，遮光光阑设计为阻挡或遮蔽光束路径的横截面区域的内部部分区域。遮光光阑通常用于覆盖遮蔽物，例如反射镜中的穿孔等，光学系统的光束路径延伸通过该遮光光阑。遮光光阑，更具体为遮光光阑的外边界(等效于外部光决定边缘)可设计为圆形、椭圆形、多边形，特别是矩形或正方形，或者对应于自由形式。例如在wo2006/069725a1中描述了具有遮蔽光学设计、更具体地为具有遮蔽光瞳的投射系统，其全部内容通过引用结合到本技术案的内容中。遮光光阑的保持器可为光学系统的承载框架，孔径光阑通常也附接到该承载框架，或者它可为连接到承载框架的部件，例如光阑模组。然而，孔径光阑也可用作遮光光阑的保持器，如例如在de 10 2016 221 823 a1中所描述的，其全部内容通过引用并入本技术案的内容中。除了遮光光阑外，由保持器所保持的部件也可为另一种类型的光阑元件，例如孔径光阑、杂散光光阑、场光阑、外光光阑等。非光阑元件的部件(例如致动器或类似物)也可以前文进一步描述的方式在腹板的帮助下保持。这样的部件(包含光阑元件)可保持在一定义的位置，并在光学系统的光束路径中或相对于光学系统的光束路径具有定义的对准。举例来说，孔径光阑可以前文进一步描述的方式对准，使得形成孔径光阑的孔径外围的孔径光阑边缘准确地定位在要实现光学系统在其外圆周处的光束路径的定界处。在另一具体实施例中，部件由金属材料形成，该金属材料较佳选自由以下所组成的群组：铝、钢或殷钢。较佳为板形的部件(例如形式为光阑元件)可例如由金属材料(特别是由金属板)形成。使用具有高导热性的金属材料(特别是铝或铜)已证明有利于冷却部件，例如光阑元件。或者，部件可由玻璃(例如由石英玻璃)形成，并具有反射涂层。在另一具体实施例中，光学系统包含用于将光掩模成像到晶片上的投射系统，其中光阑元件配置在投射系统的光瞳平面的区域中。在这种情况下，光学系统设计为光刻装置，且除了投射系统外还具有光束成形和照明系统。光束成形和照明系统的照明设定根据要在掩模上成像的结构而改变，这会影响光阑元件的辐射功率或热负荷。从下文对本发明的示例性具体实施例的描述、参照显示出本发明重要细节的附图、以及从权利要求，本发明的进一步特征和优点将是显而易见的。本发明的一个变体中的各个特征可以各自单独实施或以任意组合的群组实施。

背景技术：

1、光刻系统可为用于曝光晶片的光刻装置或是另一微光刻光学系统，例如检查系统，例如用于测量或检查光刻中使用的掩模、晶片等的系统。光刻系统可特别为euv光刻装置或duv光刻装置。euv代表“极紫外光”，且表示所用辐射的波长在0.1纳米到30纳米之间。duv代表“深紫外光”，且表示所用辐射的波长在30纳米到250纳米之间。

2、由腹板或由保持器所保持的部件可例如为操纵器元件(尤其是致动器)或光阑元件。光阑元件在光学系统(特别是在光刻系统)中用于不同的目的，且根据它们在光学系统中的作用而称作例如孔径光阑、遮光光阑、场光阑、杂散光光阑、外光光阑等。

3、孔径光阑的任务是参考从外到内的光束路径在径向方向上消减工作光。遮光光阑的任务是覆盖光束路径中的遮蔽物。为此，遮光光阑切出工作光的内部部分——参考径向方向上的光束路径。外光光阑或杂散光光阑通常位于中间像或中间像平面中。场光阑位于场平面中。

4、遮光光阑通常由保持器元件(例如通过腹板)保持在光束路径中，以将遮光光阑连接到光束路径外部的保持器。这些保持器元件中的每一个都遮挡了有助于成像的一部分工作光(使用光)中的光束路径。因此，保持器元件通常非常薄且可设计成例如细线的形式、引线的形式、弹簧的形式、或刀片的形式。

5、de 10 2015 201 253 a1描述了具有遮光光阑的投射曝光装置，该遮光光阑具有外光阑环和位于光阑环内的内光阑，用于阻挡工作光束的内部区域。内光阑可通过腹板连接到外光阑环并由腹板固定。腹板可用作导热元件，用于从内部光阑散发热量。

6、de 10 2017 219 266 a1描述了一种光学系统，其具有遮光光阑并具有将遮光光阑保持在光束路径中的保持器。光学系统可具有一解耦装置，用于将热膨胀从遮光光阑解耦到保持器。解耦装置可包含配置在其中一个腹板和保持器之间的弹簧，特别是片弹簧。遮光光阑可具有一光阑元件和多个腹板，这些腹板在一侧连接到光阑元件并在另一侧连接到保持器。弹簧可配置在腹板的其中一者和保持器之间。腹板可与光阑元件形成为一体。

7、薄保持器元件在提供足够的抗扭矩刚度方面的能力有限，这意味着遮光光阑只能很困难地稳定，防止倾斜。因此，de 10 2019 205 959 a1提出塑造光阑的周边区域，在该区域处设置光决定边缘，使得如果光阑绕倾斜轴倾斜，则被光阑遮蔽的横截面保持不变。

8、de 10 2019 209 883 a1提出了使用固持装置，用于光瞳平面中的遮光光阑。固持装置包含配置在光瞳平面外部的附接元件，用于将固持装置附接到光学系统的固定域。附接元件可设计为线形或刀片形，且可对其施加拉力，以将固持装置紧靠固定域。

技术实现思路

1、发明目的

2、本发明的目的为提供一光学系统，其具有改良的部件保持器，特别是光阑元件的保持器。