一种纳米压印拼板方法及设备与流程

1.本技术涉及微纳米压印技术领域，尤其涉及一种纳米压印拼板方法及设备。


背景技术：

2.由于大面积微纳结构加工成本的高昂，技术难度高，而纳米压印技术可用于制备大面积低成本的微纳结构图形。随着相关的压印设备及压印工艺越来越成熟，纳米压印已被广泛用于制备微纳结构图形。但是纳米压印设备的使用，必须要提供一个微纳结构的模板。目前，微纳结构的模板是通过(深)紫外光刻机或电子束光刻机结合刻蚀机在硅片或其他材料上制备得到。而通过该方法获得的大面积模板，存在加工周期长、价格昂贵等缺点。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本技术的目的是提供一种纳米压印拼板方法及设备，能够获取高质量的大面积模板且加工周期短、加工成本低。
4.为达到上述技术目的，本技术提供了一种纳米压印拼板方法，包括步骤：
5.s1，获取模板上的第一标记以及用于支撑所述模板的底座上的第二标记；
6.s2，驱动所述模板相对于所述底座转动，直至所述第一标记与所述第二标记满足第一预设关系，以使得所述模板完成自我校准；
7.s3，驱动所述模板整体运动和/或驱动基板整体运动，以使得所述模板与所述基板上的目标压印位置对准；
8.s4，驱动所述模板往朝向所述基板的方向运动和/或驱动所述基板往朝向所述模板的方向运动，以使得所述模板与所述基板相贴合。
9.进一步地，步骤s3包括：
10.s31，获取所述基板上的第三标记以及校准后的所述模板上的第一标记；
11.s32，驱动所述模板整体运动和/或驱动所述基板整体运动，直至所述第三标记与所述第一标记满足第二预设关系，以使得所述模板与所述基板上的目标压印位置对准。
12.进一步地，步骤s3包括：
13.步骤310，获取所述基板上具有第一图形的第一模板区域标记以及放置于所述底座上的具有第二图形的第二模板区域标记；
14.步骤320，驱动所述模板整体运动和/或驱动所述基板整体运动，直至所述第一模板区域标记与所述第二模板区域标记对准；
15.步骤330，获取所述基板上的第三标记以及校准后的所述模板上的第一标记；
16.步骤s340，驱动所述模板整体运动和/或驱动所述基板整体运动，直至所述第三标记与所述第一标记满足第二预设关系，以使得所述模板与所述基板上的目标压印位置对准。
17.本技术还公开了一种纳米压印拼板设备，基于上述纳米压印拼板方法设计得到，包括：
18.设备主体，所述设备主体具有压印作业舱；
19.模板支撑装置，所述模板支撑装置安装于所述压印作业舱，包括底座、模板载件以及旋转机构，所述模板载件上设有用于固定模板的模板安装工位，所述模板载件通过所述旋转机构可控旋转地安装于所述底座；
20.基板支撑装置，所述基板支撑装置安装于所述压印作业舱，用于固定基板；
21.顶出装置，所述顶出装置安装于所述压印作业舱，用于提供所述基板或所述模板作用力，以使得所述基板与所述模板紧贴，所述顶出装置还用于发出固化光线；
22.压印驱动装置，所述压印驱动装置安装于所述压印作业舱，用于驱动所述模板支撑装置和/或所述基板支撑装置运动，以将所述模板上的图形可拼地压印至所述基板；
23.对准装置，所述对准装置安装于所述压印作业舱，用于获取所述模板上的第一标记以及获取所述底座上的第二标记；
24.控制装置，所述控制装置安装于所述设备主体并与所述模板支撑装置、所述基板支撑装置、所述顶出装置、所述压印驱动装置以及所述对准装置电连接，所述控制装置用于根据所述对准装置反馈的标记信息，控制所述旋转机构带动所述模板载件转动直至所述第一标记与所述第二标记之间满足第一预设关系。
25.进一步地，所述压印驱动装置包括：
26.模板位移驱动装置，所述模板位移驱动装置与所述模板支撑装置连接，用于带动所述模板支撑装置运动；
27.基板位移驱动装置，所述基板位移驱动装置与所述基板支撑装置连接，用于带动所述基板支撑装置运动。
28.进一步地，所述模板支撑装置安装于所述基板支撑装置下方；
29.所述模板载件包括：
30.模板座，所述模板座上设有第一通槽，所述第一通槽上环设有支撑所述模板的第一凸缘，所述第一凸缘上设有若干第一真空吸附孔。
31.进一步地，所述模板位移驱动装置包括：
32.第一a轴移动机构，所述第一a轴移动机构用于带动所述底座沿第一水平直线方向运动；
33.第一b轴移动机构，所述第一b轴移动机构与所述第一a轴移动机构连接，用于带动所述第一a轴移动机构运动，以带动所述底座沿垂直于第一水平直线方向的第二水平直线方向运动。
34.进一步地，所述基板支撑装置包括：
35.基板框架，所述基板框架具有基板安装工位；
36.第一辊轴，所述第一辊轴设于所述基板框架内，且与所述基板接触；
37.第二辊轴，所述第二辊轴设于所述第一辊轴一侧下方，且与所述基板接触；
38.辊轴驱动组件，所述辊轴驱动组件安装于所述基板框架上且与所述第一辊轴以及所述第二辊轴连接，用于带动所述第一辊轴以及所述第二辊轴一同运动，所述第一辊轴用于辊压所述基板，所述第二辊轴用于分离所述基板与所述模板。
39.进一步地，所述基板位移驱动装置包括：
40.两个第二b轴移动机构，两个所述第二b轴移动机构分布于所述基板支撑装置两
侧，用于带动所述基板支撑装置沿第二水平直线方向运动；
41.两个第一c轴移动机构，两个所述第一c轴移动机构一一对应与所述第二b轴移动机构连接，用于带动所述第二b轴移动机构运动，以带动所述基板支撑装置沿垂直于所述模板的方向运动。
42.进一步地，所述基板位移驱动装置还包括：
43.两个第二a轴移动机构，两个所述第二a轴移动机构分布于所述基板支撑装置两侧，用于带动所述基板支撑装置沿垂直于第二水平直线方向的第一水平直线方向运动；
44.所述第二b轴移动机构一一对应与所述第二a轴移动机构连接，用于带动所述第二a轴移动机构运动，以带动所述基板支撑装置沿第二水平直线方向运动。
45.进一步地，所述顶出装置包括：
46.第一筒体，所述第一筒体朝下的一端设有第一开口；
47.透明的第一支撑板，所述第一支撑板安装于所述第一筒体内；
48.第一固化灯，所述第一固化灯安装于所述第一支撑板远离所述第一开口的一侧上；
49.透明的第一透风板，所述第一透风板安装于所述第一筒体内，且位于所述第一支撑板靠近所述第一开口的一侧，并与所述第一支撑板之间形成第一通气腔；
50.第一正压装置，所述第一正压装置与所述第一通气腔连通；
51.密封圈，所述密封圈安装于所述第一筒体的一端上，并环设所述第一透风板外；
52.第二c轴移动机构，所述第二c轴移动机构与所述第一筒体连接，用于驱动所述第一筒体沿靠近或远离所述基板的方向运动；
53.第三a轴移动机构，所述第三a轴移动机构与所述第二c轴移动机构连接，用于带动所述第三a轴移动机构运动，以带动所述第一筒体沿第一水平直线方向运动；
54.第三b轴移动机构，所述第三b轴移动机构与所述第三a轴移动机构连接，用于带动所述第三a轴移动机构运动，以带动所述第一筒体沿垂直于第一水平直线方向的第二水平直线方向运动。
55.进一步地，所述模板支撑装置安装于所述基板支撑装置上方；
56.所述模板载件包括：
57.第二筒体，所述第二筒体朝下的一面设有第二开口，所述第二筒体朝下的一面上设有安装台阶，所述安装台阶上设有若干第二真空吸附孔。
58.进一步地，所述模板位移驱动装置包括：
59.第四b轴移动机构，所述第四b轴移动机构，用于带动所述模板支撑装置沿第二水平直线方向运动；
60.第三c轴移动机构，所述第三c轴移动机构与所述第四b轴移动机构连接，用于带动所述第四b轴移动机构运动，以带动所述模板支撑装置沿垂直于所述基板的方向运动。
61.进一步地，所述模板位移驱动装置还包括：
62.第四a轴移动机构，所述第四a轴移动机构用于带动所述模板支撑装置沿垂直第二水平直线方向的第一水平直线方向运动；
63.所述第四b轴移动机构与所述第四a轴移动机构连接，用于带动所述第四b轴移动机构运动，以带动所述模板支撑装置沿第二水平直线方向运动。
64.进一步地，所述基板支撑装置包括：
65.基板座，所述基板座上设有第二通槽，所述第二通槽上环设有支撑所述基板的第二凸缘，所述第二凸缘上设有若干第三真空吸附孔。
66.进一步地，所述基板位移驱动装置包括：
67.第五a轴移动机构，所述第五a轴移动机构用于带动所述基板支撑装置沿第一水平直线方向运动；
68.第五b轴移动机构，所述第五b轴移动机构与所述第五a轴移动机构连接，用于带动所述第五a轴移动机构运动，以带动所述基板支撑装置沿垂直第一水平直线方向的第二水平直线方向运动。
69.进一步地，所述顶出装置包括：
70.透明的第二支撑板，所述第二支撑板安装于所述第二筒体内；
71.第二固化灯，所述第二固化灯安装于所述第二支撑板远离所述第二开口的一侧上；
72.透明的第二透风板，所述第二透风板安装于所述第二筒体内，且位于所述第二支撑板靠近所述第二开口的一侧，并与所述安装台阶上的所述模板之间形成第二通气腔；
73.第二正压装置，所述第二正压装置与所述第二通气腔连通，经所述第二透风板上的透风口送出的气流作用于所述模板上，可使得所述模板拱起。
74.进一步地，所述对准装置包括：
75.至少一个图像采集器；
76.第六a轴移动机构，所述第六a轴移动机构与所述图像采集器连接，用于带动所述图像采集器沿第一水平直线方向运动；
77.第六b轴移动机构，所述第六b轴移动机构与所述第六a轴移动机构连接，用于带动所述第六a轴移动机构运动，以带动所述图像采集器沿垂直于第一水平直线方向的第二水平直线方向运动。
78.进一步地，还包括：
79.第一激光干涉仪，所述第一激光干涉仪安装于所述模板支撑装置，用于检测所述模板支撑装置在第一水平直线方向的运动位移；
80.第二激光干涉仪，所述第二激光干涉仪安装于所述模板支撑装置，用于检测所述模板支撑装置在垂直于第一水平直线方向的第二水平直线方向的运动位移。
81.进一步地，还包括：
82.喷胶装置，所述喷胶装置用于给模板或基板上喷胶。
83.进一步地，所述喷胶装置包括：
84.至少一料罐及至少一喷头，至少一所述料罐与所述喷头连接。
85.从以上技术方案可以看出，本技术所设计的纳米压印拼板方法，先获取模板上的第一标记以及用于支撑模板的底座上的第二标记，再基于获取的标记信息带动模板相对于底座转动，直至第一标记与第二标记满足第一预设关系，以使得模板完成自我校准，从而使得拼接的图形之间所需要的角度关系能够得到很好的满足。再带动模板整体运动和/或带动基板整体运动，以使得所述模板与所述基板上的目标压印位置对准，之后再带动模板往朝向基板的方向运动和/或带动基板往朝向模板的方向运动，以使得模板与基板相贴合进
行压印。通过上述这一方法设计，能够实现高精度的拼板压印作业以获取高质量的大面积模板，而且加工周期短、加工成本低。
86.从以上技术方案可以看出，本技术所设计的纳米压印拼板设备，应用上述拼板方法设计得到，包括设备主体、模板支撑装置、基板支撑装置、顶出装置、压印驱动装置以及控制装置。其具有与上述拼板方法相同的有益效果，能够获取高质量的大面积模板，而且加工周期短、加工成本低。
附图说明
87.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
88.图1为本技术中提供的一种纳米压印拼板方法的整体流程示意图；
89.图2为本技术中提供的一种纳米压印拼板方法的步骤s3的一种具体流程示意图；
90.图3为本技术中提供的一种纳米压印拼板方法的步骤s3的另一种具体流程示意图；
91.图4为本技术中提供的一种纳米压印拼板方法的步骤s31的具体流程示意图；
92.图5为本技术中提供的一种纳米压印拼板设备的第一种具体实施方式的结构示意图；
93.图6为本技术中提供的一种纳米压印拼板设备的第二种具体实施方式的结构示意图；
94.图7为本技术中提供的一种纳米压印拼板设备具有旋转机构的局部结构示意图；
95.图中：100、设备主体；200、模板支撑装置；300、基板支撑装置；400、压印驱动装置；401、模板位移驱动装置；402、基板位移驱动装置；500、对准装置；600、喷胶装置；700、模板；800、基板；900、顶出装置；
96.1、笼式框架；21、模板载件；211、模板座；212、第一真空吸附孔；22、底座；221、凹槽；23、旋转机构；231、旋转电机；232、主动齿轮；233、齿圈；24、第二筒体；241、第二真空吸附孔；31、基板框架；32、第二辊轴；33、第一辊轴；34、基板座；341、第三真空吸附孔；41、第一b轴移动机构；42、第一a轴移动机构；43、第三c轴移动机构；44、第四b轴移动机构；45、第四a轴移动机构；51、第一c轴移动机构；52、第二b轴移动机构；53、第二a轴移动机构；54、第五b轴移动机构；55、第五a轴移动机构；61、料罐；62、喷头；71、第一筒体；72、第一固化灯；73、第一支撑板；74、第一透风板；75、第三a轴移动机构；76、密封圈；77、第二c轴移动机构；78、第三b轴移动机构；79、第二固化灯；710、第二支撑板；711、第二透风板；81、第六b轴移动机构；82、图像采集器；83、第六a轴移动机构；91、第一激光干涉仪；92、第二激光干涉仪。
具体实施方式
97.下面将结合附图对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术实施例一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术实施例中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属
于本技术实施例保护的范围。
98.在本技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或对应关系为基于附图所示的方位或对应关系，仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
99.在本技术实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可更换连接，或一体地连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术实施例中的具体含义。
100.本技术实施例公开了一种纳米压印拼板方法。
101.请参阅图1，本技术实施例中提供的一种纳米压印拼板方法的一个实施例包括步骤：
102.s1，获取模板上的第一标记以及用于支撑模板的底座上的第二标记。需要说明的是，第一标记以及第二标记可以是特定图形，例如设定模板上的某一图形特征为第一标记，或在模板图形特征区域以外的区域单独设计的标志图形，如“十”字形、“井”字形等作为第一标记；同理，在底座上单独设计标志图形作为第二标记。
103.s2，驱动模板相对于底座转动，直至第一标记与第二标记满足第一预设关系，以使得模板完成自我校准。需要说明的是，底座上的第二标记作为基准标记，模板上的第一标记作为对比标记，通过预先设定的运算程序基于获取的第一标记信息与第二标记信息，计算得到底座的转动量，再带动底座转动以使得第一标记与第二标记满足第一预设关系，从而完成模板的自我校准。
104.s3，驱动模板整体运动和/或驱动基板整体运动，以使得模板与基板上的目标压印位置对准。需要说明的是，目标压印位置为根据实际压印情况通过软件提前设定好的位置，每个位置对应一次图形压印作业。
105.s4，驱动模板往朝向基板的方向运动和/或驱动基板往朝向模板的方向运动，以使得模板与基板相贴合。需要说明的是，在完成上述的对准工序后，即可进行压印。
106.为提高压印效率，降低成本，需要通过压印拼板的方式将原有小面积的模板拼成大面积模板。在拼板过程中需要将图形重新排列或图形与图形之间需要角度要求，为了准确且高效地满足这一要求，本技术设计了上述纳米压印拼板方法。首先，模板与底座相对位置自校准。放置模板的基台可以相对于底座转动，将底座上的第二标记作为基准，移动高精度ccd捕捉模板上的第一标记，通过软件处理构建第一标记与第二标记的关系，再通过转动调节模板的方式来校准模板上第一标记与底座上第二标记之间的关系，进而实现对模板的自我校准。其次，自校准后，驱动模板整体运动和/或驱动基板整体运动，使得模板与基板上的目标压印位置对准(第一次压印无需对准)。然后，驱动模板往朝向基板的方向运动和/或驱动基板往朝向模板的方向运动，以使得模板与基板完整的相贴合。固化单元向贴合后的模板进行运动，使得进行完全压印成型。
107.为进一步说明自校准的必要性，以下以两个图形之间的角度要求为5
°
为例，进行
说明：
108.假设在制备模板时，已将两图形之间的角度关系分别制备在两块模板上，即第一压印结构图形与第一模板上的第一标记关系为0
°
，第二压印结构图形与第二模板上的标记关系为5
°
(第一模板上的第一标记与第二模板上的第二标记为不同模板上的套刻标记)，即第一模板上的标记与第二模板上的标记关系为0
°
。则执行：在通过软件驱动盛放模板的底座运动，使得具有第一压印结构的第一模板校准后角度为0
°
，压印后，转移到基板上的图形相对于原底座第二标记的角度也为0
°
。第二次压印前，对第二压印结构的模板的标记与盛放模板的底座标记进行校准角度为0
°
，校准后第二压印结构与底座标记的角度即为5
°
，驱动模板往朝向基板的方向运动和/或驱动基板往朝向模板的方向运动，以使得已经压印在基板上的第一模板上的标记与盛放在底座上的第二模板的标记进行重叠并实现对准，固化单元向贴合后的模板进行运动，使得进行完全压印成型，压印后两图形即可实现两个图形之间的5
°
的角度要求。以上只是举例说明了其中一种实现方式，其他在本发明思想范围内的实现方式在此不一一举例。
109.以上为本技术实施例提供的一种纳米压印拼板方法的主要流程方法的介绍，以下为本技术实施例提供的一种纳米压印拼板方法的更为详细的方案介绍，具体请参阅图2至图4。
110.以ar眼镜中的波导镜片来说，波导镜片上具有至少两个图形区域，其波导镜片的制备可以是如下两种方式：第一种，模板上具有波导镜片所需的所有图形的情况，此时就只需要压印一次即可。当然这种情况，进行批量生产时，可以是在一个大的基板上压印多个已经组合好的图形组合，方便后续制备出多个波导镜片。第二种，模板上只具有一个图形的情况，此时就需要逐个将所需压印的图形压印至基板上。
111.每一波导镜片上的图形之间根据实际需要会有一定的位置(角度、距离)关系，就上述第一种情况来说，由于图形已经是组合好的，因此，图形之间的位置关系也就是确定好的。为此，进行批量生产时，下一图形组合与上一图形组合之间的位置关系要求也就不用很准确，因为这不会影响图形组合内的图形之间的位置关系，保证压印上去的图形组合之间彼此不会发生重叠即可，那么基于这种情况，本技术该步骤s3具体可以是设计为：
112.s31，获取基板上的第三标记以及校准后的模板上的第一标记。需要说明的是，可以设定在基板上图形压印区域(基板上预先规划好的用于压印图形的区域)外的区域单独设计的标志图形，如上述步骤s1的“十”字形、“井”字形等作为第三标记，亦可设定刚压印完成的图形组合上的某一特征作为第三标记。
113.s32，驱动模板整体运动和/或驱动基板整体运动，直至第三标记与第一标记满足第二预设关系，以使得模板与基板上的目标压印位置对准。以第三标记作为参考，第一标记作为对比，从而能够实现模板与基板上的目标压印位置的对准，保证下一个图形组合与上一压印好的图形组合之间具有一定距离。
114.就上述第二种情况来说，由于压印过程中是逐个图形进行压印的，也即是下一压印图形与上一压印图形之间有着准确位置关系需求。那么基于这种情况，本技术该步骤s3具体可以是设计为：
115.步骤310，获取基板上具有第一图形的第一模板区域标记以及放置于底座上的具有第二图形的第二模板区域标记。需要说明的是，该第一图形也即是为上一压印好的图形，
而第一模板区域标记也即是该上一压印好的图形上的模板区域标记；而第二图形也即是下一待压印的模板上的图形，而第二模板区域标记则为下一待压印的模板上的模板区域标记。第一模板区域与第二模板区域的外轮廓均可为长方形、正方形、圆形、椭圆形或其他不规则形状，在此不做具体的限制。该模板区域标记可用于确定模板外轮廓线的位置信息。
116.步骤320，驱动模板整体运动和/或驱动基板整体运动，直至第一模板区域标记与第二模板区域标记对准。通过第一模板区域标记与第二模板区域标记的对准(也即第一模板区域标记与第二模板区域标记重合)，有效提高拼接的准确性。具体来说，此拼版方法是多个具有单一图形的模板拼接形成一个具有多个图形的模板(软膜板或硬模板)的过程，而此多个图形之间具有相应的角度关系和位置关系，为了保证各图形之间角度关系与位置关系的准确性，用于拼接的各单一图形模板除了具有本身的图形外，还在模板上的图形区域外设置有标记，且各单一图形模板的形状和大小相同，设置的模板标记位置也是一样，从而在拼接时，可通过先对准模板标记，有效解决因设备的不稳定性等因素导致的基板或模板晃动而造成的各图形之间位置或角度偏差的问题。具体拼接时，采用图像采集器(例如ccd)实时的检测基板上的第一模板区域标记及放置于底座上的模板上的第二模板区域标记，并通过检测的信息实时控制第一模板区域标记与第二模板区域标记重合，从而不仅能够保证各图形在所需要的区域范围内，而且还能够初步保证各图形之间的位置关系和角度关系。此外，将第一模板区域标记与第二模板区域标记进行对准，也即是将下一待压印的模板上的图形与上一压印好的图形之间进行对准，保证下一待压印的图形与上一压印好的图形之间有一个准确的角度关系。
117.步骤s330，获取基板上的第三标记以及校准后的模板上的第一标记。该步骤与上述步骤s31相同，不做赘述。
118.步骤s340，驱动模板整体运动和/或驱动基板整体运动，直至第三标记与第一标记满足第二预设关系，以使得模板与基板上的目标压印位置对准。该步骤与上述步骤s32相同，不做赘述。
119.这一步骤s3的具体设计，相比于上述步骤s3的具体设计来说，增加了第一模板区域标记与第二模板区域标记对准步骤，通过模板上的区域标记及基板上已压印图形对应的模板区域标记之间先对准，来初步确定图形压印位置信息，再基于第三标记与第一标记的之间的关系来使得模板与基板上的目标压印位置对准，从而使得压印上去的下一图形与上一图形之间具有准确的角度与距离关系。
120.再者，就步骤s31或者步骤s330来说，具体包括：
121.s311，若判断当次压印作业为初次压印作业，获取基板上位于图形压印区域外的第三标记以及校准后的模板上的第一标记。需要说明的是，如果判断当次压印作业为初次压印作业，也即是基板上此时不存在压印好的图形，此时，获取的第三标记可以是基板上位于图形压印区域(基板上预先规划好的用于压印图形的区域)外的第三标记，从而完成首次压印作业，也即是完成首次图形的压印定位。
122.s312，若判断当次压印作业为非初次压印作业，获取基板上上一已压印完成的图形上的第三标记以及校准后的模板上的第一标记。需要说明的是，当判断当次压印作业为非首次压印作业时，也即是基板上此时已经存在有压印好的图形了，因此，获取的第三标记可以是基板上上一已压印完成的图形上的第三标记，以此第三标记来与第一标记进行对
比。当然，第三标记也可为基板上位于图形压印区域外的第三标记，即，与首次压印相同的标记。
123.再者，为了避免基板初始压印前或完成上一压印作业后，基板位置发生变化而不在初始位置，进而影响到模板与基板之间的相对位置计算，从而导致模板与基板上的目标压印位置对准发生偏差，优选在步骤s2与步骤s3之间还设计了步骤：
124.s10，判断基板是否处于初始位置，若是，执行后续步骤，若否，控制基板运动至初始位置。该步骤的具体判断方式可以是获取基板上第三标记以及位于基板外的预置的初始位置参考标记，该初始位置参考标记可以是设于靠近该基板初始位置的相应固定结构上，不做限制。获取第三标记以及初始位置参考标记后，根据第三标记与初始位置参考标记之间的位置关系来判断该基板是否处于初始位置，若否，则控制基板运动直至第三标记与初始位置参考标记之间满足预设关系，使得基板复位至初始位置。
125.本技术的模板或基板可以是在使用前就已经喷/涂胶，或在使用时再进行喷/涂胶。以使用时再喷/涂胶料为例，该喷/涂胶料的步骤可以设计在步骤s4之前，也即是压印作业前喷/涂胶即可，具体不做限制。
126.本技术实施例还公开了一种应用上述方法制备的纳米压印拼板设备。
127.请参阅图5，本技术实施例中提供的一种纳米压印拼板设备的一个实施例包括：
128.设备主体100、模板支撑装置200、基板支撑装置300、顶出装置900、压印驱动装置400以及控制装置。
129.其中，设备主体100具有压印作业舱，以提供压印作业空间。
130.模板支撑装置200安装于压印作业舱，包括底座22、模板载件21以及旋转机构23，模板载件21上设有用于固定模板700的模板安装工位，模板载件21通过旋转机构23可控旋转地安装于底座22。
131.基板支撑装置300安装于压印作业舱，用于固定基板800。在本实施例中，固定于基板支撑装置300上的基板800即可为软膜(即，树脂膜)，例如pet膜片，也可为硬质模板，例如晶圆或玻璃等，在此不做具体的限定。此外，如图5所示的采用夹持方式固定基板800的方式，基板800更倾向于用软膜，而对于如图6所示的将基板800固定于基座上的方式，基板800即可为软膜也可为硬质模板。
132.顶出装置900安装于压印作业舱，用于提供基板800或模板700作用力，以使得基板800与模板700紧贴，顶出装置900还用于发出固化光线。
133.压印驱动装置400安装于压印作业舱，用于驱动模板支撑装置200和/或基板支撑装置300运动，以将模板700上的图形可拼地压印至基板800。具体地，就压印驱动装置400的结构组成来说，包括模板位移驱动装置401以及基板位移驱动装置402。模板位移驱动装置401与模板支撑装置200连接，用于带动模板支撑装置200运动；基板位移驱动装置402与基板支撑装置300连接，用于带动基板支撑装置300运动。
134.对准装置500安装于压印作业舱，用于获取模板700上的第一标记以及底座22上的第二标记。
135.控制装置可以包括plc控制板或处理器等电控器件的组合，安装于设备主体100并与模板支撑装置200、基板支撑装置300、顶出装置900、压印驱动装置400以及对准装置500电连接，控制装置用于根据对准装置500反馈的标记信息，控制旋转机构23带动模板载件21
转动直至模板700上的第一标记与底座22上的第二标记之间满足第一预设关系，从而校准模板700的位置。
136.再者，基于上述设计的方法，对准装置500还可以用于获取校准后的模板700上的第一标记以及获取基板800上的第三标记。对应的，控制装置还用于根据对准装置500反馈的标记信息，控制模板支撑装置200以带动模板700运动和/或控制基板支撑装置300以带动基板800运动直至第三标记与第一标记之间满足第二预设关系，以使得模板700与基板800上的目标压印位置对准。就对准装置500来说，如图6所示，可以是包括至少一个图像采集器82、第六a轴移动机构83以及第六b轴移动机构81。第六a轴移动机构83与图像采集器82连接，用于带动图像采集器82沿第一水平直线方向运动；第六b轴移动机构81与第六a轴移动机构83连接，用于带动第六a轴移动机构83运动，以带动图像采集器82沿垂直于第一水平直线方向的第二水平直线方向运动。具体的，第六a轴移动机构83安装于第六b轴移动机构81的活动部，第六a轴移动机构83的活动部与图像采集器82连接。第六a轴移动机构83以及第六b轴移动机构81的设置使得图像采集器82在x与y方向上能够进行位移调节，对于标记的获取更加方便。另外，图像采集器82可以为高精度ccd摄像头，具体不做限制。对于图像采集器82的数量来说，多个情况下，不同图像采集器82可以用于获取不同的标记，以提高标记获取效率，第六a轴移动机构83以及第六b轴移动机构81的数量可以是与图像采集器82的数量一一对应，也即是实现每个图像采集器82均独立受控制，具体不做限制。以图像采集器82数量为两个为例，那么一个可以用于采集本技术中提及的第一标记、第二标记以及第三标记；另一个可以用于采集第一模板区域标记、第二模板区域标记。两个图像采集器82可以是设置于同一侧，或分别对立设置，具体可以根据实际情况而变换设计，不做限制。
137.再者，本技术中，该设计的设备还可以包括第一激光干涉仪91以及第二激光干涉仪92器。第一激光干涉仪91安装于模板支撑装置200，用于检测模板支撑装置200在第一水平直线方向的运动位移；第二激光干涉仪92安装于模板支撑装置200，用于检测模板支撑装置200在第二水平直线方向的运动位移。第一激光干涉仪91与第二激光干涉仪92检测到的位移数据反馈给控制装置，使得控制装置能够更加精准控制模板700的移动，进一步提高拼板精度。
138.再者，本技术中，该设计的设备还可以包括喷胶装置600，喷胶装置600用于给模板700或基板800上喷胶。具体的，喷胶装置600包括至少一料罐61及至少一喷头62，至少一料罐61与喷头62连接。具体包括两个料罐61以及一个喷头62，两个料罐61中的一个用于储存胶料，另一个用于储存增粘剂。此时，喷头62具有两个独立喷洒管路，分别与两个料罐61连接，一路喷模板胶，一路增粘剂。增粘剂可以使得模板胶牢固的压印在基板上，从而在脱模的时候不会发生跑偏、移位或被带出等情况。以给模板700喷胶为例，那么可以是先喷模板胶再喷增粘剂，这样压印到基板800上时即可利用增粘剂稳固粘黏住模板胶。以给基板800喷胶为例，那么则可以是先喷增粘剂，再喷模板胶。当然，除了喷胶方式外，也可以是将模板700或基板800拆出，并在设备外进行旋涂后模板胶之后再安装固定。此外，也可为是两个喷头62，此时，一个料罐61连接一个喷头62，分别独立进行喷洒，相互不影响喷涂作业。当然，对于不需要喷涂增粘剂的样品来说，也可选择设计为只有一个料罐61和一个喷头62。
139.再者，本技术中，就设备主体100的结构来说，包括笼式框架1，笼式框架1内形成压印作业舱。为了使得压印作业舱相对密封，避免外界环境对压印作业产生影响，笼式框架1
上覆盖有透明的挡板图中未示。
140.本技术这一设计的纳米压印拼板设备的主要压印工作过程如下：
141.1、模板700或基板800在压印驱动装置400的驱动下运动至喷头62位置，再通过喷头62往模板700或往基板800上喷胶。
142.2、对准装置500获取第一标记以及第二标记并反馈给控制装置，控制装置控制旋转机构23转动以带动模板700转动直至第一标记与第二标记满足第一预设关系。
143.3、对准装置500再获取基板上的第三标记以及校准后的模板上的第一标记并反馈给控制装置，控制装置再控制压印驱动装置400驱动模板700整体运动和/或驱动基板800整体运动，直至第三标记与第一标记满足第二预设关系，以使得模板700与基板800上的目标压印位置对准。
144.4、压印驱动装置400驱动模板700往朝向基板800的方向运动和/或驱动基板800往朝向模板700的方向运动，以使得模板700与基板800相贴合进行预压印。
145.5、顶出装置900给模板700或基板800施加作用力，以使得模板700与基板800之间贴合牢靠，还发出固化光线使得压印的图形固化，以完成压印作业。
146.本技术这一采用机械自动化的压印拼板设计，不仅能够提高拼板效率、缩短加工周期、降低加工成本，还能够提高拼板精度，实现更好的拼板质量。
147.以上为本技术实施例提供的一种纳米压印拼板设备的主体结构介绍，以下为本技术实施例提供的一种纳米压印拼板设备的更为详细的方案介绍，具体请参阅图5至图7。
148.本技术该拼板设备的第一种具体实施方案：
149.就模板支撑装置200与基板支撑装置300之间的对应关系来说，如图4所示，可以是模板支撑装置200安装于基板支撑装置300下方。以此为例，模板载件21可以包括模板座211，模板座211上设有第一通槽，第一通槽上环设有支撑模板700的第一凸缘，第一凸缘上设有若干第一真空吸附孔212。若干第一真空吸附孔212连接负压装置图中未示，通过真空吸附的方式来固定模板700，拆装维护更加便利。
150.以上述这一设计的模板支撑装置200为例，模板位移驱动装置401具体可以包括第一b轴移动机构41以及第一a轴移动机构42。
151.第一a轴移动机构42用于带动底座22沿第一水平直线方向运动；第一b轴移动机构41与第一a轴移动机构42连接，用于带动第一a轴移动机构42运动，以带动底座22沿垂直于第一水平直线方向的第二水平直线方向运动。在使用时，可结合对准装置500，根据对准需要进行位移调节，有效实现第三标记与第一标记的自动对准。以第一水平直线方向为x方向的话，那第二水平直线方向即为y方向，相反以第一水平直线方向为y方向的话，那第二水平直线方向即为x方向，具体不做赘述。
152.上述各个移动机构均可以采用丝杆滑台、气缸滑台等移动机构，具体不做限制。以丝杆滑台为例，具体应用时，第一b轴移动机构41设置在模板支撑装置200底部，且第一b轴移动机构41具有活动部；第一a轴移动机构42安装于第一b轴移动机构41的活动部上，而第一a轴移动机构42的活动部与底座22连接，实现对模板支撑装置200的位移控制。通过这一xy移动机构的配合来实现模板700在xy方向上的位移调节，以实现在不同位置点进行压印作业。当然，不仅仅局限于上述这一设计，本领域技术人员可以以此为基础做适当的变换设计，保证压印作业能够稳定进行即可。
153.进一步地，如图5所示，基板支撑装置300可以包括基板框架31、第一辊轴33、第二辊轴32、辊轴驱动组件图中未示。
154.基板框架31具有基板安装工位，基板800的安装固定可以是夹持固定或真空吸附等易拆装的固定方式，具体不做限制。另外，基板安装工位可以是设置于基板框架31朝下的一面，或设于基板框架31内或设于其它位置，具体不做限制。
155.第一辊轴33设于基板框架31内，且与基板800接触；第二辊轴32设于第一辊轴33一侧下方，且与基板800接触；辊轴驱动组件安装于基板框架31上且与第一辊轴33以及第二辊轴32连接，用于带动第一辊轴33以及第二辊轴32一同运动，第一辊轴33用于辊压基板800，第二辊轴32用于分离基板800与模板700。具体设计时，辊轴驱动组件可以包括电机、主动链轮、从动链轮以及链条；电机的输出轴上套固主动链轮，并安装于基板框架31上靠近一第一c轴移动机构51的一侧位置或靠近另一第一c轴移动机构51的一侧的位置，而从动链轮枢接于基板框架31上于主动链轮相对的另一侧位置，链轮连接于主动链轮与从动链轮之间。第一辊轴33的一端与链条连接，另一端活动连接于基板框架31上，同时第一辊轴33与第二辊轴32固定连接，通过这一设计即可实现辊轴驱动组件带动第一辊轴33和第二辊轴32同步运动。当然，不仅仅局限于上述这一设计，本领域技术人员可以以此为基础做适当的变换设计。
156.以上述这一基板支撑装置300的设计为例，基板位移驱动装置402可包括两个第一c轴移动机构51以及两个第二b轴移动机构52。
157.两个第二b轴移动机构52分布于基板支撑装置300两侧，用于带动基板支撑装置300沿第二水平直线方向运动。结合对准装置500，可提高第三标记与第一标记的自动对准效率。为了进一步提高模板700与基板800上的目标压印位置的对准效率，可增加设置两个第二a轴移动机构53，两个第二a轴移动机构53分布于基板支撑装置300两侧，用于带动基板支撑装置300沿垂直于第二水平直线方向的第一水平直线方向运动；而第二b轴移动机构52一一对应与第二a轴移动机构53连接，用于带动第二a轴移动机构53运动，以带动基板支撑装置300沿第二水平直线方向运动。
158.两个第一c轴移动机构51一一对应与第二b轴移动机构52连接，用于带动第二b轴移动机构52运动，以带动基板支撑装置300沿垂直于模板700的方向运动。在完成第一标记与第三标记的对准时，基板800以及模板700也即运动到位，此时即可控制两个第一c轴移动机构51来带动基板800向下运动直至贴合模板700，实现压印目的。同时，两个第一c轴移动机构51为相对独立设置的移动机构，从而能够实现对基板支撑装置300倾斜控制，进而使得固定于基板支撑装置300上的基板800可相对于模板700具有如图4所示的一定倾斜角度的贴合，有效解决模板700与基板800贴合时产生气泡的问题，获得更好地压印作业效果。为了保证基板800与模板700之间能够很好的贴合，第一c轴移动机构51要能够带动基板800向下运行至低于模板700高度的位置，而这也就使得第一c轴移动机构51的底部高度会低于模板700的高度，此时，第一a轴移动机构42以及第一b轴移动机构41可以带动模板支撑装置200绕过第一c轴移动机构51运动。当然，第一c轴移动机构51可以四个，两两相对于基板支撑装置300对称设置，每两个第一c轴移动机构51均间隔设置，那么第一a轴移动机构42以及第一b轴移动机构41即可带动模板支撑装置200从一边的两个第一c轴移动机构51之间穿过，具体不做限制。
159.上述各个移动机构亦可均采用丝杆滑台、气缸滑台等移动机构，具体不做限制。以丝杆滑台移动机构为例，两个第二b轴移动机构52一一对应安装于第一c轴移动机构51的活动部上，每个第二b轴移动机构52均具有两个间隔设置且同步运动的活动部；两个第二a轴移动机构53一一对应安装于两个第二b轴移动机构52的活动部之间，第二a轴移动机构53的活动部与基板支撑装置300连接。当然，不仅仅局限于上述这一设计，本领域技术人员可以以此为基础做适当的变换设计，保证压印作业能够稳定进行即可。
160.第一辊轴33与第二辊轴32的工作原理：由于基板框架31受两个独立的第一c轴移动机构51控制，这样即可控制基板框架31与模板载件21之间呈一定的夹角，而辊轴驱动组件即可驱动第一辊轴33从夹角侧开始移动滚压基板800，使得基板800能够印出模板700上的图形，并起到赶气泡的作用，实现更好的贴合效果。当驱动第一辊轴33复位时，此时第二辊轴32则从基板800与模板700之间通过，逐渐将基板800与模板700分离，起到脱模作用。
161.进一步地，就顶出装置900结构组成来说，如图4所示，包括第一筒体71、透明的第一支撑板73、第一固化灯72、透明的第一透风板74、第一正压装置、密封圈76、第二c轴移动机构77、第三a轴移动机构75、第三b轴移动机构78。
162.第一筒体71朝下的一端设有第一开口，第一支撑板73安装于第一筒体71内；第一固化灯72安装于第一支撑板73远离第一开口的一侧上。第一透风板74安装于第一筒体71内，且位于第一支撑板73靠近第一开口的一侧，并与第一支撑板73之间形成第一通气腔；第一正压装置图中未示与第一通气腔连通。密封圈76安装于第一筒体71的一端上，并环设第一透风板74外。密封圈76与第一透风板74以及基板800之间可以形成挤压气腔，第一透风板74具体可以是均风板，使得第一通气腔内的气流均匀穿过第一透风板74，实现对基板800更加均匀施压的作用。
163.第二c轴移动机构77与第一筒体71连接，用于驱动第一筒体71沿靠近或远离基板800的方向运动，第二c轴移动机构77可以是伸缩气缸，不做限制；第三a轴移动机构75与第二c轴移动机构77连接，用于带动第二c轴移动机构77运动，以带动第一筒体71沿第一水平直线方向运动；第三b轴移动机构78与第三a轴移动机构77连接，用于带动第三a轴移动机构77运动，以带动第一筒体71沿垂直于第一水平直线方向的第二水平直线方向运动。第三a轴移动机构75以及第三b轴移动机构78可以是丝杆滑台、气缸滑台等移动机构，不做限制。
164.顶出装置900的工作原理如下，当第一辊轴33完成贴合及赶气泡的工作后，第三a轴移动机构75以及第三b轴移动机构78带动第一筒体71移动至对应模板的位置，再由第二c轴移动机构77驱动第一筒体71朝向基板800移动，使得密封圈76与基板800接触，此时密封圈76与第一透风板74以及基板800之间可以形成挤压气腔，再通过第一正压装置往第一通气腔内注入空气，而注入的空气则通过第一透风板74上的气孔均匀送入挤压气腔中，再对基板800形成均匀的挤压作用，从而使得模板700上的图形更好的压印至基板800上，同时开启第一固化灯72，对压印好的图形进行固化。
165.以图5这一组合设计为例，本技术该设备的压印工作过程如下：
166.模板700在第一b轴移动机构41以及第一a轴移动机构42的驱动下运动至喷头62位置，再通过喷头62往模板700上先喷模板胶再喷增粘剂，以完成喷胶。
167.控制装置再控制第六b轴移动机构81以及第六a轴移动机构83来带动图像采集器82获取第一标记以及第二标记，并根据获取的标记信息计算并控制旋转机构23以带动模板
700转动直至第一标记与第二标记满足第一预设关系。
168.控制装置再控制第六b轴移动机构81以及第六a轴移动机构83来带动图像采集器82获取基板800上的第三标记以及初始位置参考标记，并根据第三标记与初始位置参考标记之间的位置关系来判断该基板800是否处于初始位置，若否，则控制第二a轴移动机构53以及第二b轴移动机构52带动基板800运动直至第三标记与初始位置参考标记之间满足预设关系，使得基板800复位至初始位置。
169.首次压印或前述方法中的第一种压印情况为例，控制装置再控制第六b轴移动机构81以及第六a轴移动机构83来带动图像采集器82获取第三标记以及模板700对准后的第一标记，并根据获取的标记信息控制第一b轴移动机构41以及第一a轴移动机构42带动模板700运动和/或控制第二a轴移动机构53以及第二b轴移动机构52带动基板800运动，直至模板700与基板800上的目标压印位置对准。以前述方法中第二种压印情况的非首次压印为例，那么控制装置再控制第六b轴移动机构81以及第六a轴移动机构83来带动图像采集器82获取第一模板区域标记以及第二模板区域标记，并根据获取的标记信息控制第一b轴移动机构41以及第一a轴移动机构42带动模板700运动和/或控制第二a轴移动机构53以及第二b轴移动机构52带动基板800运动，直至第一模板区域标记与第二模板区域标记对准。之后，再控制图像采集器82获取第三标记以及模板700对准后的第一标记，继续控制第一b轴移动机构41以及第一a轴移动机构42带动模板700运动和/或控制第二a轴移动机构53以及第二b轴移动机构52带动基板800运动直至模板700与基板800上的目标压印位置对准。
170.控制装置再控制两独立的第一c轴移动机构51以不同的速率带动基板800靠近模板700运动直至基板800与模板700呈一定角度，再驱动辊轴驱动组件以带动第一辊轴33以及第二辊轴32进行辊压。
171.控制装置再控制第三a轴移动机构75、第二c轴移动机构77以及第三b轴移动机构78带动第一筒体71运动至对准模板700并且密封圈76与基板800接触，再往第一通气腔内通气，通入的气体通过第一透风板74对基板800形成挤压，同时第一固化灯72进行照射，完成之后再驱动第一辊轴33以及第二辊轴32复位，此时第二辊轴32即可分离基板800与模板700，完成脱模，从而完成当次压印作业。
172.本技术该拼板设备的第二种具体实施方案：
173.就模板支撑装置200与基板支撑装置300的位置分布来说，如图6所示，还可以是模板支撑装置200安装于基板支撑装置300上方。以此为例，模板载件21可以包括第二筒体24，第二筒体24朝下的一面设有第二开口，第二筒体24朝下的一面上设有安装台阶，安装台阶上设有若干第二真空吸附孔241。第二真空吸附孔241亦连接负压装置，采用真空吸附的方式来固定住模板700，拆装维护更加方便。
174.以上述这一模板支撑装置200设计为例，模板位移驱动装置401可以包括第三c轴移动机构43以及第四b轴移动机构44。
175.第四b轴移动机构44，用于带动模板支撑装置200沿第二水平直线方向运动。结合对准装置500，可提高第三标记与第一标记的自动对准效率。为了进一步提高模板700与基板800上的目标压印位置的对准效率，同样可增加设置第四a轴移动机构45，第四a轴移动机构45用于带动模板支撑装置200沿垂直第二水平直线方向的第一水平直线方向运动；第四b轴移动机构44与第四a轴移动机构45连接，用于带动第四b轴移动机构44运动，以带动模板
支撑装置200沿第二水平直线方向运动。第三c轴移动机构43与第四b轴移动机构44连接，用于带动第四b轴移动机构44运动，以带动模板支撑装置200沿垂直于基板的方向运动。
176.具体应用时，为了使得位移控制更加平稳，第四a轴移动机构45、第四b轴移动机构44以及第三c轴移动机构43数量均可以设计为两个，两个第四a轴移动机构45分布于模板支撑装置200两侧，用于带动模板支撑装置200沿垂直第二水平直线方向的第一水平直线方向运动；而两个第四b轴移动机构44一一对应与第四a轴移动机构45，用于带动第四b轴移动机构44运动，以带动模板支撑装置200沿第二水平直线方向运动。第三c轴移动机构43一一对应与第四b轴移动机构44连接，用于带动第四b轴移动机构44运动，以带动模板支撑装置200沿垂直于基板的方向运动。本领域技术人员可以以此为基础做适当的变换设计，保证压印作业能够稳定进行即可。
177.进一步地，如图6所示，基板支撑装置300包括基板座34，基板座34上设有第二通槽，第二通槽上环设有支撑基板800的第二凸缘，第二凸缘上设有若干第三真空吸附孔341。采用真空吸附的方式来固定住基板800，拆装维护更加方便。
178.基于上述这一基板支撑装置300设计为例，基板位移驱动装置402可以包括第五b轴移动机构54以及第五a轴移动机构55。
179.第五a轴移动机构55用于带动基板支撑装置300沿第一水平直线方向运动；第五b轴移动机构54与第五a轴移动机构55连接，用于带动第五a轴移动机构55运动，以带动基板支撑装置300沿垂直于第一水平直线方向的第二水平直线方向运动。该移动机构组合可以参考前述的两个第一b轴移动机构41以及两个第一a轴移动机构42的组合，不做赘述。本领域技术人员可以以此为基础做适当的变换设计，保证压印作业能够稳定进行即可。
180.进一步地，如图6所示，顶出装置900包括透明的第二支撑板710，第二固化灯79，透明的第二透风板711，以及第二正压装置图中未示。
181.第二支撑板710安装于第二筒体24内；第二固化灯79安装于第二支撑板710远离第二开口的一侧上；第二透风板711安装于第二筒体24内，且位于第二支撑板710靠近第二开口的一侧，并与安装台阶上的模板700之间形成第二通气腔。第二正压装置与第二通气腔连通，经第二透风板711上的透风口送出的气流作用于模板700上，可使得模板700拱起。
182.顶出装置900的工作原理：在压印前先通入一定气流，使得模板700拱起，在驱动第三c轴移动机构43使得拱起的模板700开始贴紧基板800，此处模板700拱起部分先接触基板800，随着第三c轴移动机构43的驱动使得模板700逐渐增加与基板800的接触面积，直至与基板800完全接触，这一过程能够起到赶气泡的作用，与前述的第一辊轴33压有着异曲同工的作用。而待模板700与基板800完成接触之后亦可继续通入气体，对模板700进行挤压，同时启动第二固化灯79，能够提高压印效果。
183.以图6这一组合设计为例，本技术该设备的压印工作过程如下：
184.基板800在第五b轴移动机构54以及第五a轴移动机构55的驱动下移动至喷头62位置，再通过喷头往基板800上先喷增粘剂再喷模板胶，以完成喷胶。
185.控制装置再控制第六b轴移动机构81以及第六a轴移动机构83来带动图像采集器82获取第一标记以及第二标记，并根据获取的标记信息计算并控制旋转机构23以带动模板700转动直至第一标记与第二标记满足第一预设关系。
186.控制装置控制第六b轴移动机构81以及第六a轴移动机构83来带动图像采集器82
来获取基板800上的第三标记以及初始位置参考标记，并根据第三标记与初始位置参考标记之间的位置关系来判断该基板800是否处于初始位置，若否，则控制第五b轴移动机构54以及第五a轴移动机构55带动基板800运动直至第三标记与初始位置参考标记之间满足预设关系，使得基板800复位至初始位置。
187.首次压印或前述方法中的第一种压印情况为例，控制装置再控制第六b轴移动机构81以及第六a轴移动机构83来带动图像采集器82获取第三标记以及模板700对准后的第一标记，并根据获取的标记信息控制第四a轴移动机构45以及第四b轴移动机构44带动模板700运动和/或控制第五b轴移动机构54以及第五a轴移动机构55带动基板800运动，直至模板700与基板800上的目标压印位置对准。以前述方法中的第二种压抑情况的非首次压印为例，那么控制装置再控制第六b轴移动机构81以及第六a轴移动机构83来带动图像采集器82获取第一模板区域标记以及第二模板区域标记，并根据获取的标记信息控制第四a轴移动机构45以及第四b轴移动机构44带动模板700运动和/或控制第五b轴移动机构54以及第五a轴移动机构55带动基板800运动，直至第一模板区域标记与第二模板区域标记对准。之后，再控制图像采集器82获取第三标记以及模板700对准后的第一标记，继续控制第四a轴移动机构45以及第四b轴移动机构44带动模板700运动和/或控制第五b轴移动机构54以及第五a轴移动机构55带动基板800运动，直至模板700与基板800上的目标压印位置对准。
188.控制装置控制第三c轴移动机构43以带动模板700往基板800方向运动，使得模板700与基板800接触，模板700弧形拱起部分先与基板800接触，这一过程中在第三c轴移动机构43驱动下逐渐增大基板800与模板700的接触面积直至完全接触，再继续通入气体，进一步挤压模板700，同时开启第二固化灯79进行照射，完成之后带动模板700复位，完成当次压印作业。
189.无论是前述的第一种具体实施方案还是第二种具体实施方案，本技术中就旋转机构23设计来说，可以是如图7所示，包括旋转电机231、主动齿轮232以及齿圈233；底座22上设有用于支撑模板载件21的台阶，该台阶的底面上设有凹槽221，该凹槽221一侧壁嵌装有旋转电机231，旋转电机231的输出轴伸入凹槽221内并套固有主动齿轮232，而主动齿轮232的部分伸出凹槽221外，齿圈233固定于模板载件21的底部并与主动齿轮232啮合。模板载件21可转动地安装在底座22上，并受旋转电机231的驱动可实现旋转运动。当然，不仅仅局限与上述这一设计，本领域技术人员可以以此为基础做适当的变换设计，不做限制。
190.以上对本技术所提供的一种纳米压印拼板方法及设备进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本技术实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。