一种具有对称和不对称结构的感光树脂及其制备方法与应用与流程

1.本发明属于高分子材料技术领域，具体涉及一种具有对称和不对称结构的感光树脂及其制备方法与应用。


背景技术：

2.聚酰亚胺(pi)薄膜具有耐高低温、耐腐蚀、高绝缘、低介电常数和低介电损耗、力学性能优异、耐化学腐蚀及辐射等优点，因而作为封装材料被广泛用于半导体制造过程的芯片表面钝化、ic电路多层布线的层间绝缘、先进微电子封装(bga、csp、sip、wlp等)的封装基板信号线分配、α-粒子屏蔽层，微焊球的制球工艺，塑封电路的应力缓冲层，柔性封装基板以及液晶平板显示器的制造工艺等方面。
3.在上述应用中，通常需要将pi薄膜两侧的电子线路通过pi薄膜的导电通道实现电气连接，而这种导电通道则是通过光致通孔技术或激光通孔技术在聚酰亚胺薄膜上形成的。对于光致通孔技术，通常采用光敏性聚酰亚胺树脂来实现导电通道的制备。
4.随着移动设备、人工智能、5g通信等高科技领域的快速发展，对于微电子设备中的封装材料的光刻分辨率、断裂伸长率等多方面性能要求越来越高。
5.cn113646882a公开了一种碱性水系显影的负型感光性固态胶膜，其由感光性树脂组合物制作而成，所述感光性树脂组合物包括聚酰胺酸酯、光致交联剂、光引发剂、无机填料等。该方案所得固态胶膜为10μm时，图形分辨率达到30μm；而且由于采用碱溶性聚酰亚胺，树脂本身脆性较大，胶膜容易产生裂缝等问题。
6.相对于碱性可溶性感光树脂组合物，传统的溶剂型感光树脂组合物有较好的综合性能，但是光刻分辨率较低，尤其是固化后在10μm及以上的厚膜，分辨率更差。
7.为此，现有技术提出了一系列改进措施，例如：cn101270073a公开了一种具有不对称结构的联苯化合物，采用该不对称的联苯二酐结构可提高聚酰亚胺的可溶可熔性。但是，此种特殊结构的二酐单体体积较大，反应时位阻较大，反应活性低，不适合用于负性光敏性聚酰胺酸酯树脂的制备。
8.cn113277950a公开了一类含三联苯大取代侧基的不对称芳香二胺单体，使用该不对称结构的二胺单体得到的不对称结构聚酰亚胺具有较高的溶解性；但必须通过特定溶剂进行溶解，导致制备成本较高。


技术实现要素：

9.针对上述问题，本发明提供一种感光树脂及其组合物。使用该感光树脂配制而成的感光性树脂组合物可以达到40％的固体含量，并在光刻时具有良好的溶解性，可以进行厚膜的光刻显影，显影后的膜厚可以达到10μm且具有较高的光刻分辨率；同时，该感光性树脂组合物可于230℃进行低温固化，并且所得薄膜具有较高的断裂伸长率，更利于对封装电路或器件的保护。
10.第一方面，本发明提供一种感光树脂，由二酐、二胺、含不饱和双键的醇类化合物
制备而成；所述二胺的结构如下所示：
[0011][0012]
式中，r1、r2、r3和r4各自独立地选自-cf
3-、-ch
3-和-h-中的任意一种基团；
[0013]
r5、r6、r7、r8和r9各自独立地选自-cf
3-、-ch
3-、-h-和-nh
2-中的任意一种基团，但有且只能有1个-nh2，且必须为不对称结构。
[0014]
y选自-o-、-c＝o-、-s＝o-和-ch
2-中的任意一种桥联基团。
[0015]
如上所述，在含不饱和双键的醇类化合物的作用下，本发明首次提出采用具有上述特定的不对称结构的二胺单体与二酐合成感光树脂，即聚酰胺酸酯树脂，所得感光树脂即使在普通常规溶剂中也同样具有较高的溶解性，光刻分辨率高，因而可以进行厚膜的光刻显影，显影后的膜厚可以达到10μm，解决了现有感光树脂在制备较厚薄膜时光刻分辨率较低的缺陷。
[0016]
同时，由于所得感光树脂的溶解性好，含有该感光树脂的感光性树脂组合物可于230℃进行固化，从而实现低温固化的目的；此外，采用本发明所述感光树脂组合物制备的聚酰亚胺(pi)薄膜还兼具较高的断裂伸长率和拉伸强度，更利于对封装电路或器件的保护。
[0017]
优选地，所述二胺为3,4-二氨基二苯醚、3,4-二氨基二苯基甲烷。研究表明，相比其它不对称结构的二胺单体，3,4-二氨基二苯醚和3,4-二氨基二苯基甲烷具有原料的容易获得性和反应活性易于控制的优点。
[0018]
进一步地，所述二酐、所述二胺及所述含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比为：1：(0.8-1.2)：(0.96-2.4)；优选为1：(1-1.2)：(2-2.2)。通过合理控制各组分的比例关系，使所得感光树脂兼具各方面性能，综合效果更佳。
[0019]
本发明所述二酐为对称结构单体。进一步地，本发明发现，常规具有对称结构的二酐与上述具有特定不对称结构的二胺组合时，仍然难以获得兼具光刻分辨率高、成膜性好、力学性能高(特别是断裂拉伸率高)的薄膜。
[0020]
为此，本发明限定所述二酐由含氟芳香族二酐与非含氟芳香族二酐组成，其中含氟芳香族二酐占二酐总摩尔量的5％-30％。通过将含氟芳香族二酐与非含氟芳香族二酐以特定比例组合，使所得二酐与上述二胺的协同性更好，进而获得兼具溶解性高、光刻分辨率高、断裂伸长率高、成膜性好等多重效果的薄膜。
[0021]
所述含氟芳香族二酐选自：6fda、6fbpada和10feda中的一种或几种的混合物；各化合物结构如下：
[0022][0023]
所述非含氟芳香族二酐选自：3,3',4,4'-二苯甲酮四酸二酐、3,3',4,4'-联苯四酸二酐、4,4'-氧双邻苯二甲酸酐、3,3',4,4'-二苯基甲烷四酸二酐、2,2',3,3'-二苯基甲烷四酸二酐和3,3',4,4'-二苯基砜四酸二酐中的一种化合物或两种及两种以上化合物的混合物。优选地，所述非含氟芳香族二酐为4,4'-氧双邻苯二甲酸酐。
[0024]
进一步地，所述含不饱和双键的醇类化合物选自：甲基丙烯酸-2-羟乙酯、丙烯酸-2-羟乙酯、1-丙烯酰氧基-3-丙醇、2-丙烯酰胺乙醇、羟甲基乙烯基酮、2-羟基乙基乙烯基酮、2-羟基-3-甲氧基丙基丙烯酸酯、2-羟基-3-丁氧基丙基丙烯酸酯、2-羟基-3-苯氧基丙基丙烯酸酯、2-羟基-3-丁氧基丙基丙烯酸酯、2-羟基-3-叔丁氧基丙基丙烯酸酯、2-羟基-3环己氧基丙基丙烯酸酯、1-甲基丙烯酰氧基-3-丙醇、2-异丁烯酰胺乙醇、2-羟基-3-甲氧基丙基甲基丙烯酸酯、2-羟基-3-苯氧基丙基甲基丙烯酸酯、2-羟基-3-丁氧基丙基甲基丙烯酸酯、2-羟基-3-叔丁氧基丙基甲基丙烯酸酯和2-羟基-3-环己氧基丙基甲基丙烯酸酯中的一种化合物或两种及两种以上化合物的混合物。
[0025]
所述感光树脂的分子量可为10000-50000。优选地，分子量为22000-26000。
[0026]
本发明中，所述感光树脂在满足多方面性能要求的前体下具有较高的溶解性的形成机理如下：
[0027]
本发明研究发现，采用不对称的单体，可以增加大分子链的极性，易于吸附溶剂，进而可以增加聚酰亚胺前驱体树脂的溶解性。但如果全部采用不对称的二酐和二胺，则无法控制其反应活性，进而无法得到分子量符合需求的树脂。本发明进一步发现，不对称的二胺相对于不对称的二酐，具有原料的容易获得性，反应活性更易于控制、得到的树脂分子量能够满足树脂及后续胶膜多方面的性能要求的优点。因此，本发明由具有对称结构的二酐和具有不对称结构的二胺制备的聚酰亚胺前驱体树脂在满足多方面性能要求的前体下，具有较高的溶解性。
[0028]
作为本发明具体实施方式之一，所述感光树脂由6fda、4,4'-氧双邻苯二甲酸酐、3,4-二氨基二苯醚、甲基丙烯酸-2-羟乙酯、苯酐制得；且6fda、4,4'-氧双邻苯二甲酸酐、3,4-二氨基二苯醚、甲基丙烯酸-2-羟乙酯、苯酐的摩尔比为1：(11-12)：(13-14)：(25-26)：(2-3)；优选为1：11.5：13.75：25：2.5。研究表明，通过选择合适的二酐和二胺，并配以合适的醇类化合物及分子量调节剂，所得聚酰胺酸酯树脂的溶解性等性能更好，由其制得的膜具有更好的综合性能。
[0029]
第二方面，本发明还提供上述感光树脂的制备方法，包括如下步骤：
[0030]
(1)含氟芳香族二酐与所述含不饱和双键的醇类化合物进行反应，生成含氟芳香族二酯二酸；
[0031]
(2)非含氟芳香族二酐与所述含不饱和双键的醇类化合物进行反应，生成非含氟芳香族二酯二酸；
[0032]
(3)所述含氟芳香族二酯二酸与所述非含氟芳香族二酯二酸混合后与酰氯化试剂
进行反应，得到混合二酯二酰氯；
[0033]
(4)所述混合二酯二酰氯、所述二胺与分子量调节剂混合，经缩聚反应得到聚酰胺酸酯树脂溶液；经固体析出即得到所述感光树脂。
[0034]
进一步地，步骤(1)中，含氟芳香族二酐与含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比为：1：1.8-2.4。反应条件：室温搅拌6-7h。
[0035]
进一步地，步骤(2)中，非含氟芳香族二酐与含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比为：1:1.8-2.4。反应条件：室温搅拌6-7h。
[0036]
进一步地，步骤(3)中，含氟芳香族二酯二酸占芳香族二酯二酸总质量的5-95％。所述含氟芳香族二酯二酸与所述非含氟芳香族二酯二酸的总摩尔数与所述酰氯化试剂的摩尔数之比为：1:1.8-2.4。
[0037]
进一步地，步骤(4)中，混合二酯二酰氯与二胺、分子量调节剂的摩尔比依次为：1:0.8-1.2:0.01-0.4；反应条件：先将含有所述二胺的溶液冷却至10℃以下，再将所述混合二酯二酰氯滴加至含有所述二胺的溶液中，室温下反应10-11h；再加入分子量调节剂，室温搅拌。
[0038]
所述分子量调节剂选自：苯酐、氢化苯酐、4-苯乙炔苯酐、氢化4-甲苯酐、3-氯代苯酐、3-溴代苯酐、4-氯代苯酐、4-溴代苯酐、全氯代苯酐、全溴代苯酐、3,4-二氯代苯酐、3,4-二溴代苯酐、苯胺、4-苯乙炔基苯胺和3-苯乙炔基苯胺中的一种化合物或两种及两种以上化合物的混合物。
[0039]
进一步地，步骤(4)中，所述固体析出是指聚酰胺酸酯树脂溶液与不良溶剂混合，析出固体树脂的过程。其中，所述不良溶剂具体可为：去离子水、甲醇、乙醇、己烷、丁基溶纤剂、甲苯等，优选使用去离子水、甲醇或乙醇。
[0040]
第三方面，本发明还提供一种具有不对称树脂结构的感光树脂组合物，包括如下重量份的组分：10-70重量份的感光树脂，0.01-50重量份的光致交联剂，0.01-50重量份的光引发剂，0.01-20重量份的阻聚剂，0.01-50重量份的硅烷偶联剂，100-1000重量份的溶剂。
[0041]
优选地，所述感光树脂组合物，包括如下重量份的组分：100重量份的感光树脂，14-16重量份的光致交联剂，2-3重量份的光引发剂，0.3-0.4重量份的阻聚剂，2-3重量份的硅烷偶联剂，110-120重量份的溶剂。
[0042]
进一步优选的，所述感光树脂组合物，包括如下重量份的组分：100重量份的感光树脂，15重量份的光致交联剂，2.5重量份的光引发剂，0.375重量份的阻聚剂，2.5重量份的硅烷偶联剂，115重量份的溶剂。
[0043]
在上述组合物中，所述光致交联剂可选自：甲基丙烯酸-2-羟甲酯、甲基丙烯酸-2-羟乙酯、甲基丙烯酸-2-羟丙酯、甲基丙烯酸-2-羟丁酯、丙烯酸2-羟甲酯、丙烯酸-2-羟乙酯、丙烯酸-2-羟丙酯、丙烯酸-2羟丁酯、丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸环氧丙酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸环氧丙酯、乙二醇双乙醚甲基丙烯酸酯、乙二醇双乙醚丙烯酸酯和聚乙二醇甲基丙烯酸酯、乙氧化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯，季戊四醇三丙烯酸酯，季戊四醇四丙烯酸酯，三(2-羟乙基)异氰脲酸三丙烯酸酯，三环葵烷二甲醇二丙烯酸酯中的一种化合物或两种及两种以上化合物的混合物。
[0044]
所述光引发剂可选自：二苯甲酮、二苯甲酮衍生物、苯乙酮衍生物、噻吨酮、噻吨酮
衍生物、苯偶酰、苯偶酰衍生物、苯偶姻、苯偶姻衍生物、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟、1-苯基1,2-丁二酮-2-(邻甲氧基羰基)肟和1,3-二苯基丙三酮-2-(邻乙氧基羰基)肟中的一种化合物或两种及两种以上化合物的混合物。
[0045]
所述溶剂为n-甲基吡咯烷酮、n,n
’‑
二甲基乙酰胺、n,n
’‑
二甲基甲酰胺、二甲基亚砜、四甲基脲、γ-丁内酯、乳酸乙酯、环戊酮、环己酮、甲基乙基酮、四氢呋喃、乙酸乙酯和乙酸丁酯中的一种或两种及两种以上的混合物。
[0046]
所述阻聚剂可选自：氢醌、4-甲氧基苯酚、n-亚硝基二苯基胺、对叔丁基儿茶酚、吩噻嗪、n-苯基萘基胺、2,6-二叔丁基对甲基苯酚、5-亚硝基-8-羟基喹啉、1-亚硝基2-萘酚、2-亚硝基-1-萘酚和2-亚硝基-5-(n-乙基-磺基丙基氨基)苯酚中的一种或两种及两种以上的混合物。
[0047]
所述硅烷偶联剂可选自：kh550、kh560、kh570、kh580、kh590或其他市售类似产品，优选kh560。
[0048]
第四方面，本发明提供上述感光性树脂组合物的制备方法，包括：
[0049]
将光致交联剂、光引发剂、溶剂、阻聚剂、硅烷偶联剂混合，搅拌至形成均匀的溶液，最后加入感光树脂，搅拌至均匀。
[0050]
第五方面，本发明还提供了上述感光性树脂组合物在负型感光性封装材料中的应用。
[0051]
具体应用包括但不限于：半导体制造过程的芯片表面钝化，ic电路多层布线的层间绝缘，先进微电子封装(bga、csp、sip、wlp等)的封装基板信号线分配、α-粒子屏蔽层，微焊球的制球工艺，塑封电路的应力缓冲层，柔性封装基板以及液晶平板显示器的制造工艺等方面。
[0052]
本发明有益效果如下：
[0053]
使用本发明的具有对称和不对称结构的感光树脂配制而成的感光性树脂组合物可以达到40％的固体含量，且在光刻时具有良好的溶解性，光刻分辨率好，进而可以进行厚膜的光刻显影，显影后的膜厚可以达到10μm，解决了现有聚酰亚胺(pi)薄膜在制备较厚薄膜时光刻分辨率较低的缺陷。同时，由于所得感光树脂的溶解性好，含有该感光树脂的感光性树脂组合物可于230℃进行固化，从而实现低温固化的目的；此外，采用本发明所述感光树脂组合物制备的聚酰亚胺(pi)薄膜还具有较高的断裂伸长率，更利于对封装电路或器件的保护。
[0054]
本发明所述的光敏性聚酰胺酸酯树脂经曝光、显影、热固化后形成的聚酰亚胺膜的性能如表1所示。
[0055]
表1完全固化后聚酰亚胺膜的主要性能
[0056]
附图说明
[0057]
图1为实施例1的光刻固化后的聚焦离子束fib图。其中(b)为局部放大图。
具体实施方式
[0058]
下述实施例中所使用的实验方法如无特殊说明，均为常规方法。
[0059]
下述实施例中所用的材料、试剂等，如无特殊说明，均可从商业途径得到。
[0060]
实施例1
[0061]
本实施例提供一种聚酰胺酸酯树脂及由其制备的光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物，具体制备步骤如下：
[0062]
(1)聚酰胺酸酯树脂的制备
[0063]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，依次加入3.55g含氟芳香族二酐6fda、2.08g甲基丙烯酸-2-羟乙酯(hema)、0.63g吡啶和12.8gn-甲基吡咯烷酮(nmp)，室温搅拌6h，生成相应的6fda-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0064]
在另一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的100ml三口圆底烧瓶中，依次加入28.54g非含氟芳香族二酐4,4'-氧双邻苯二甲酸酐，23.94ghema、7.27g吡啶和147.2gnmp，室温搅拌6h，生成相应的4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0065]
将4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯溶液加入进6fda-二酸二甲基丙烯酸酯溶液中，然后与28.55g socl2在0-10℃反应2h，室温反应4h，生成相应的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯。
[0066]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1l三口圆底烧瓶中，加入22.02g 3,4-二氨基二苯醚和90g nmp，搅拌使其溶解形成均相透明二胺溶液；
[0067]
采用冰浴将混合二胺溶液冷却至10℃以下，将上述制备的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯滴加进二胺溶液中，滴加时间0.5h；然后，在室温下反应10h；再加入2.96g苯酐，继续搅拌1h；将反应液倒入5l去离子水中，析出固体、过滤、真空干燥，得到聚酰胺酸酯树脂，树脂分子量26000。
[0068]
本实施例中，所述二酐、二胺及含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比依次为：1：1.1：2。
[0069]
(2)光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物的制备
[0070]
在配有黄光灯的千级超净间内，将1.0g 1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟(光引发剂)、0.15g氢醌(阻聚剂)、6g聚乙二醇甲基丙烯酸酯(光致交联剂)、1.0g kh570(硅烷偶联剂)依次加入46g nmp中，室温下搅拌1h，使其形成均匀溶液。向均匀分散液中加入40g聚酰胺酸酯，搅拌至均相负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物液。
[0071]
(3)光刻固化：
[0072]
将制得的聚酰胺酸酯树脂组合物液在支撑膜pet上，通过刮涂的方式制成湿膜。然后，放入80℃鼓风烘箱中烘烤20min后，得到负型感光性固态胶膜，测量膜厚为15μm。通过覆膜的方式将保护膜贴附于固态胶膜表面，贴合压力0.1mpa，得到具有支撑膜和保护膜的负型感光性固态胶膜。
[0073]
采用紫外灯曝光30s，采用环戊酮显影，pgmea漂洗后，在鼓风烘箱中烘烤(140℃(1h，230℃(2h)得到固化后的光刻图形。
[0074]
图1为实施例1的光刻固化后的fib图。
[0075]
实施例2
[0076]
本实施例提供一种聚酰胺酸酯树脂及由其制备的光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物，具体制备步骤如下：
[0077]
(1)聚酰胺酸酯树脂的制备
[0078]
与实施例1的区别在于：含氟芳香族的二酐增加到6.66g，非含氟的二酐减少到26.37g。
[0079]
具体如下：
[0080]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，依次加入6.66g含氟芳香族二酐6fda、3.90g甲基丙烯酸-2-羟乙酯(hema)、1.18g吡啶和24gn-甲基吡咯烷酮(nmp)，室温搅拌6h，生成相应的6fda-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0081]
在另一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的100ml三口圆底烧瓶中，依次加入26.37g非含氟芳香族二酐4,4'-氧双邻苯二甲酸酐，22.12ghema、6.72g吡啶和136.0gnmp，室温搅拌6h，生成相应的4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0082]
将4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯溶液加入进6fda-二酸二甲基丙烯酸酯溶液中，然后与28.55g socl2在0-10℃反应2h，室温反应4h，生成相应的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯。
[0083]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1l三口圆底烧瓶中，加入22.02g3,4-二氨基二苯醚和90g nmp，搅拌使其溶解形成均相透明二胺溶液；采用冰浴将混合二胺溶液冷却至10℃以下，将上述制备的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯滴加进二胺溶液中，滴加时间0.5h；然后，在室温下反应10h；再加入2.96g苯酐，继续搅拌1h；将反应液倒入5l去离子水中，析出固体、过滤、真空干燥，得到聚酰胺酸酯树脂，树脂分子量25000。
[0084]
本实施例中，所述二酐、二胺及含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比依次为：1：1.1：2。
[0085]
(2)光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物的制备
[0086]
在配有黄光灯的千级超净间内，将1.0g 1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟(光引发剂)、0.15g氢醌(阻聚剂)、6g聚乙二醇甲基丙烯酸酯(光致交联剂)、1.0g kh570
(硅烷偶联剂)依次加入46g nmp中，室温下搅拌1h，使其形成均匀溶液。向均匀分散液中加入40g聚酰胺酸酯，搅拌至均相负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物液。
[0087]
(3)光刻固化：
[0088]
将制得的聚酰胺酸酯树脂组合物液在支撑膜pet上，通过刮涂的方式制成湿膜。然后，放入80℃鼓风烘箱中烘烤21min后，得到负型感光性固态胶膜，测量膜厚为15μm。通过覆膜的方式将保护膜贴附于固态胶膜表面，贴合压力0.1mpa，得到具有支撑膜和保护膜的负型感光性固态胶膜。
[0089]
采用紫外灯曝光30s，采用环戊酮显影，pgmea漂洗后，在鼓风烘箱中烘烤(140℃(1h，230℃(2h)得到固化后的光刻图形。
[0090]
实施例3
[0091]
本实施例提供一种聚酰胺酸酯树脂及由其制备的光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物，具体制备步骤如下：
[0092]
(1)聚酰胺酸酯树脂的制备
[0093]
与实施例1的区别在于：含氟芳香族二酐增加到0.03mol，非含氟芳香族二酐减少到0.07mol。
[0094]
具体如下：
[0095]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，依次加入13.32g含氟芳香族二酐6fda、7.80g甲基丙烯酸-2-羟乙酯(hema)、2.36g吡啶和48gn-甲基吡咯烷酮(nmp)，室温搅拌6h，生成相应的6fda-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0096]
在另一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的100ml三口圆底烧瓶中，依次加入21.71g非含氟芳香族二酐4,4'-氧双邻苯二甲酸酐，18.21ghema、5.54g吡啶和112.0gnmp，室温搅拌6h，生成相应的4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0097]
将4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯溶液加入进6fda-二酸二甲基丙烯酸酯溶液中，然后与28.55g socl2在0-10℃反应2h，室温反应4h，生成相应的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯。
[0098]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1l三口圆底烧瓶中，加入22.02g 3,4-二氨基二苯醚和90g nmp，搅拌使其溶解形成均相透明二胺溶液；采用冰浴将混合二胺溶液冷却至10℃以下，将上述制备的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯滴加进二胺溶液中，滴加时间0.5h；然后，在室温下反应10h；再加入2.96g苯酐，继续搅拌1h；将反应液倒入5l去离子水中，析出固体、过滤、真空干燥，得到聚酰胺酸酯树脂，树脂分子量23000。
[0099]
本实施例中，所述二酐、二胺及含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比依次为：1：1.1：2。
[0100]
(2)光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物的制备
[0101]
在配有黄光灯的千级超净间内，将1.0g 1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟(光引发剂)、0.15g氢醌(阻聚剂)、6g聚乙二醇甲基丙烯酸酯(光致交联剂)、1.0g kh570(硅烷偶联剂)依次加入46g nmp中，室温下搅拌1h，使其形成均匀溶液。向均匀分散液中加入40g聚酰胺酸酯，搅拌至均相负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物液。
[0102]
(3)光刻固化：
[0103]
将制得的聚酰胺酸酯树脂组合物液在支撑膜pet上，通过刮涂的方式制成湿膜。然
后，放入80℃鼓风烘箱中烘烤21min后，得到负型感光性固态胶膜，测量膜厚为15μm。通过覆膜的方式将保护膜贴附于固态胶膜表面，贴合压力0.1mpa，得到具有支撑膜和保护膜的负型感光性固态胶膜。
[0104]
采用紫外灯曝光30s，采用环戊酮显影，pgmea漂洗后，在鼓风烘箱中烘烤(140℃(1h，230℃(2h)得到固化后的光刻图形。
[0105]
实施例4
[0106]
本实施例提供一种聚酰胺酸酯树脂及由其制备的光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物，具体制备步骤如下：
[0107]
(1)聚酰胺酸酯树脂的制备
[0108]
与实施例1的区别在于：二胺为21.80g 3,4-二氨基二苯基甲烷。
[0109]
具体如下：
[0110]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，依次加入3.55g含氟芳香族二酐6fda、2.08g甲基丙烯酸-2-羟乙酯(hema)、0.63g吡啶和12.8gn-甲基吡咯烷酮(nmp)，室温搅拌6h，生成相应的6fda-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0111]
在另一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的100ml三口圆底烧瓶中，依次加入28.54g非含氟芳香族二酐4,4'-氧双邻苯二甲酸酐，23.94ghema、7.27g吡啶和147.2gnmp，室温搅拌6h，生成相应的4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0112]
将4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯溶液加入进6fda-二酸二甲基丙烯酸酯溶液中，然后与28.55g socl2在0-10℃反应2h，室温反应4h，生成相应的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯。
[0113]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1l三口圆底烧瓶中，加入21.80g3,4-二氨基二苯基甲烷和90g nmp，搅拌使其溶解形成均相透明二胺溶液；采用冰浴将混合二胺溶液冷却至10℃以下，将上述制备的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯滴加进二胺溶液中，滴加时间0.5h；然后，在室温下反应10h；再加入2.96g苯酐，继续搅拌1h；将反应液倒入5l去离子水中，析出固体、过滤、真空干燥，得到聚酰胺酸酯树脂，树脂分子量24000。
[0114]
本实施例中，所述二酐、二胺及含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比依次为：1：1.1：2。
[0115]
(2)光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物的制备
[0116]
在配有黄光灯的千级超净间内，将1.0g 1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟(光引发剂)、0.15g氢醌(阻聚剂)、6g聚乙二醇甲基丙烯酸酯(光致交联剂)、1.0g kh570(硅烷偶联剂)依次加入46g nmp中，室温下搅拌1h，使其形成均匀溶液。向均匀分散液中加入40g聚酰胺酸酯，搅拌至均相负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物液。
[0117]
(3)光刻固化：
[0118]
将制得的聚酰胺酸酯树脂组合物液在支撑膜pet上，通过刮涂的方式制成湿膜。然后，放入80℃鼓风烘箱中烘烤21min后，得到负型感光性固态胶膜，测量膜厚为15μm。通过覆膜的方式将保护膜贴附于固态胶膜表面，贴合压力0.1mpa，得到具有支撑膜和保护膜的负型感光性固态胶膜。
[0119]
采用紫外灯曝光30s，采用环戊酮显影，pgmea漂洗后，在鼓风烘箱中烘烤(140℃(1h，230℃(2h)得到固化后的光刻图形。
[0120]
实施例5
[0121]
本实施例提供一种聚酰胺酸酯树脂及由其制备的光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物，具体制备步骤如下：
[0122]
(1)聚酰胺酸酯树脂的制备
[0123]
与实施例1的区别在于：含氟芳香族的二酐增加到6.66g，非含氟的二酐减少到26.37g，二胺为21.80g 3,4-二氨基二苯基甲烷。
[0124]
具体如下：
[0125]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，依次加入6.66g含氟芳香族二酐6fda、3.90g甲基丙烯酸-2-羟乙酯(hema)、1.18g吡啶和24gn-甲基吡咯烷酮(nmp)，室温搅拌6h，生成相应的6fda-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0126]
在另一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的100ml三口圆底烧瓶中，依次加入26.37g非含氟芳香族二酐4,4'-氧双邻苯二甲酸酐，22.12ghema、6.72g吡啶和136.0gnmp，室温搅拌6h，生成相应的4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0127]
将4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯溶液加入进6fda-二酸二甲基丙烯酸酯溶液中，然后与28.55g socl2在0-10℃反应2h，室温反应4h，生成相应的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯。
[0128]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1l三口圆底烧瓶中，加入21.80g:3,4-二氨基二苯基甲烷和90g nmp，搅拌使其溶解形成均相透明二胺溶液；采用冰浴将混合二胺溶液冷却至10℃以下，将上述制备的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯滴加进二胺溶液中，滴加时间0.5h；然后，在室温下反应10h；再加入2.96g苯酐，继续搅拌1h；将反应液倒入5l去离子水中，析出固体、过滤、真空干燥，得到聚酰胺酸酯树脂，树脂分子量25000。
[0129]
本实施例中，所述二酐、二胺及含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比依次为：1：1.1：2。
[0130]
(2)光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物的制备
[0131]
在配有黄光灯的千级超净间内，将1.0g 1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟(光引发剂)、0.15g氢醌(阻聚剂)、6g聚乙二醇甲基丙烯酸酯(光致交联剂)、1.0g kh570(硅烷偶联剂)依次加入46g nmp中，室温下搅拌1h，使其形成均匀溶液。向均匀分散液中加入40g聚酰胺酸酯，搅拌至均相负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物液。
[0132]
(3)光刻固化：
[0133]
将制得的聚酰胺酸酯树脂组合物液在支撑膜pet上，通过刮涂的方式制成湿膜。然后，放入80℃鼓风烘箱中烘烤20min后，得到负型感光性固态胶膜，测量膜厚为15μm。通过覆膜的方式将保护膜贴附于固态胶膜表面，贴合压力0.1mpa，得到具有支撑膜和保护膜的负型感光性固态胶膜。
[0134]
采用紫外灯曝光30s，采用环戊酮显影，pgmea漂洗后，在鼓风烘箱中烘烤(140℃(1h，230℃(2h)得到固化后的光刻图形。
[0135]
实施例6
[0136]
本实施例提供一种聚酰胺酸酯树脂及由其制备的光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物，具体制备步骤如下：
[0137]
(1)聚酰胺酸酯树脂的制备
[0138]
与实施例1的区别在于：含氟芳香族的二酐增加到13.32g，非含氟的二酐减少到21.71g，二胺为21.80g3,4-二氨基二苯基甲烷。
[0139]
具体如下：
[0140]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，依次加入13.32g含氟芳香族二酐6fda、7.80g甲基丙烯酸-2-羟乙酯(hema)、2.36g吡啶和48gn-甲基吡咯烷酮(nmp)，室温搅拌6h，生成相应的6fda-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0141]
在另一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的100ml三口圆底烧瓶中，依次加入21.71g非含氟芳香族二酐4,4'-氧双邻苯二甲酸酐，18.21ghema、5.54g吡啶和112.0gnmp，室温搅拌6h，生成相应的4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0142]
将4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯溶液加入进6fda-二酸二甲基丙烯酸酯溶液中，然后与28.55g socl2在0-10℃反应2h，室温反应4h，生成相应的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯。
[0143]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1l三口圆底烧瓶中，加入21.80g3,4-二氨基二苯基甲烷和90g nmp，搅拌使其溶解形成均相透明二胺溶液；采用冰浴将混合二胺溶液冷却至10℃以下，将上述制备的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯滴加进二胺溶液中，滴加时间0.5h；然后，在室温下反应10h；再加入2.96g苯酐，继续搅拌1h；将反应液倒入5l去离子水中，析出固体、过滤、真空干燥，得到聚酰胺酸酯树脂，树脂分子量22000。
[0144]
本实施例中，所述二酐、二胺及含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比依次为：1：1.1：2。
[0145]
(2)光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物的制备
[0146]
在配有黄光灯的千级超净间内，将1.0g 1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟(光引发剂)、0.15g氢醌(阻聚剂)、6g聚乙二醇甲基丙烯酸酯(光致交联剂)、1.0g kh570(硅烷偶联剂)依次加入46g nmp中，室温下搅拌1h，使其形成均匀溶液。向均匀分散液中加入40g聚酰胺酸酯，搅拌至均相负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物液。
[0147]
(3)光刻固化：
[0148]
将制得的聚酰胺酸酯树脂组合物液在支撑膜pet上，通过刮涂的方式制成湿膜。然后，放入80℃鼓风烘箱中烘烤22min后，得到负型感光性固态胶膜，测量膜厚为15μm。通过覆膜的方式将保护膜贴附于固态胶膜表面，贴合压力0.1mpa，得到具有支撑膜和保护膜的负型感光性固态胶膜。
[0149]
采用紫外灯曝光30s，采用环戊酮显影，pgmea漂洗后，在鼓风烘箱中烘烤(140℃(1h，230℃(2h)得到固化后的光刻图形。
[0150]
对比例1
[0151]
本对比例提供一种聚酰胺酸酯树脂及由其制备的光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物，具体制备步骤如下：
[0152]
(1)聚酰胺酸酯树脂的制备
[0153]
与实施例1的区别在于：二胺为22.02g 4,4-二氨基二苯醚。
[0154]
具体如下：
[0155]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，依次加入3.55g含氟芳香族二酐6fda、2.08g甲基丙烯酸-2-羟乙酯(hema)、0.63g吡啶和12.8gn-甲
基吡咯烷酮(nmp)，室温搅拌6h，生成相应的6fda-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0156]
在另一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的100ml三口圆底烧瓶中，依次加入28.54g非含氟芳香族二酐4,4'-氧双邻苯二甲酸酐，23.94ghema、7.27g吡啶和147.2gnmp，室温搅拌6h，生成相应的4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0157]
将4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯溶液加入进6fda-二酸二甲基丙烯酸酯溶液中，然后与28.55g socl2在0-10℃反应2h，室温反应4h，生成相应的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯。
[0158]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1l三口圆底烧瓶中，加入22.02g 4,4-二氨基二苯醚和90g nmp，搅拌使其溶解形成均相透明二胺溶液；采用冰浴将混合二胺溶液冷却至10℃以下，将上述制备的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯滴加进二胺溶液中，滴加时间0.5h；然后，在室温下反应10h；再加入2.96g苯酐，继续搅拌1h；将反应液倒入5l去离子水中，析出固体、过滤、真空干燥，得到聚酰胺酸酯树脂，树脂分子量26000。
[0159]
本对比例中，所述二酐、二胺及含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比依次为：1：1.1：2。
[0160]
(2)光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物的制备
[0161]
在配有黄光灯的千级超净间内，将1.0g 1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟(光引发剂)、0.15g氢醌(阻聚剂)、6g聚乙二醇甲基丙烯酸酯(光致交联剂)、1.0gkh570(硅烷偶联剂)依次加入46gnmp中，室温下搅拌1h，使其形成均匀溶液。向均匀分散液中加入40g聚酰胺酸酯，搅拌至均相负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物液。
[0162]
(3)光刻固化：
[0163]
将制得的聚酰胺酸酯树脂组合物液在支撑膜pet上，通过刮涂的方式制成湿膜。然后，放入80℃鼓风烘箱中烘烤25min后，得到负型感光性固态胶膜，测量膜厚为15μm。通过覆膜的方式将保护膜贴附于固态胶膜表面，贴合压力0.1mpa，得到具有支撑膜和保护膜的负型感光性固态胶膜。
[0164]
采用紫外灯曝光30s，采用环戊酮显影，pgmea漂洗后，在鼓风烘箱中烘烤(140℃(1h，230℃(2h)得到固化后的光刻图形。
[0165]
对比例2
[0166]
本对比例提供一种聚酰胺酸酯树脂及由其制备的光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物，与实施例1的区别在于：含氟芳香族二酐增加到6.66g，非含氟芳香族二酐减少到26.37g，二胺为22.02g 4,4-二氨基二苯醚。
[0167]
具体步骤如下：
[0168]
(1)聚酰胺酸酯树脂的制备
[0169]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，依次加入6.66g含氟芳香族二酐6fda、3.90g甲基丙烯酸-2-羟乙酯(hema)、1.18g吡啶和24gn-甲基吡咯烷酮(nmp)，室温搅拌6h，生成相应的6fda-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0170]
在另一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的100ml三口圆底烧瓶中，依次加入26.37g非含氟芳香族二酐4,4'-氧双邻苯二甲酸酐，22.12ghema、6.72g吡啶和136.0gnmp，室温搅拌6h，生成相应的4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0171]
将4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯溶液加入进6fda-二酸二甲基丙
烯酸酯溶液中，然后与28.55g socl2在0-10℃反应2h，室温反应4h，生成相应的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯。
[0172]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1l三口圆底烧瓶中，加入22.02g 3,4-二氨基二苯醚和90g nmp，搅拌使其溶解形成均相透明二胺溶液；采用冰浴将混合二胺溶液冷却至10℃以下，将上述制备的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯滴加进二胺溶液中，滴加时间0.5h；然后，在室温下反应10h；再加入2.96g苯酐，继续搅拌1h；将反应液倒入5l去离子水中，析出固体、过滤、真空干燥，得到聚酰胺酸酯树脂，树脂分子量24000。
[0173]
本对比例中，所述二酐、二胺及含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比依次为：1：1.1：2。
[0174]
(2)光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物的制备
[0175]
在配有黄光灯的千级超净间内，将1.0g 1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟(光引发剂)、0.15g氢醌(阻聚剂)、6g聚乙二醇甲基丙烯酸酯(光致交联剂)、1.0gkh570(硅烷偶联剂)依次加入46gnmp中，室温下搅拌1h，使其形成均匀溶液。向均匀分散液中加入40g聚酰胺酸酯，搅拌至均相负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物液。
[0176]
(3)光刻固化：
[0177]
将制得的聚酰胺酸酯树脂组合物液在支撑膜pet上，通过刮涂的方式制成湿膜。然后，放入80℃鼓风烘箱中烘烤25min后，得到负型感光性固态胶膜，测量膜厚为15μm。通过覆膜的方式将保护膜贴附于固态胶膜表面，贴合压力0.1mpa，得到具有支撑膜和保护膜的负型感光性固态胶膜。
[0178]
采用紫外灯曝光30s，采用环戊酮显影，pgmea漂洗后，在鼓风烘箱中烘烤(140℃(1h，230℃(2h)得到固化后的光刻图形。
[0179]
对比例3
[0180]
本对比例提供一种聚酰胺酸酯树脂及由其制备的光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物，与实施例1的区别在于：含氟芳香族二酐增加到13.32g，非含氟芳香族二酐减少到21.71g，二胺为22.02g 4,4-二氨基二苯醚。
[0181]
具体步骤如下：
[0182]
(1)聚酰胺酸酯树脂的制备
[0183]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，依次加入13.32g含氟芳香族二酐6fda、7.80g甲基丙烯酸-2-羟乙酯(hema)、2.36g吡啶和48gn-甲基吡咯烷酮(nmp)，室温搅拌6h，生成相应的6fda-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0184]
在另一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的100ml三口圆底烧瓶中，依次加入21.71g非含氟芳香族二酐4,4'-氧双邻苯二甲酸酐，18.21ghema、5.54g吡啶和112.0gnmp，室温搅拌6h，生成相应的4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0185]
将4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯溶液加入进6fda-二酸二甲基丙烯酸酯溶液中，然后与28.55g socl2在0-10℃反应2h，室温反应4h，生成相应的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯。
[0186]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1l三口圆底烧瓶中，加入22.02g4,4-二氨基二苯醚和90g nmp，搅拌使其溶解形成均相透明二胺溶液；采用冰浴将混合二胺溶液冷却至10℃以下，将上述制备的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯滴加进二胺溶液
中，滴加时间0.5h；然后，在室温下反应10h；再加入2.96g苯酐，继续搅拌1h；将反应液倒入5l去离子水中，析出固体、过滤、真空干燥，得到聚酰胺酸酯树脂，树脂分子量24000。
[0187]
本对比例中，所述二酐、二胺及含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比依次为：1：1.1：2。
[0188]
(2)光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物的制备
[0189]
在配有黄光灯的千级超净间内，将1.0g 1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟(光引发剂)、0.15g氢醌(阻聚剂)、6g聚乙二醇甲基丙烯酸酯(光致交联剂)、1.0gkh570(硅烷偶联剂)依次加入46gnmp中，室温下搅拌1h，使其形成均匀溶液。向均匀分散液中加入40g聚酰胺酸酯，搅拌至均相负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物液。
[0190]
(3)光刻固化：
[0191]
将制得的聚酰胺酸酯树脂组合物液在支撑膜pet上，通过刮涂的方式制成湿膜。然后，放入80℃鼓风烘箱中烘烤25min后，得到负型感光性固态胶膜，测量膜厚为15μm。通过覆膜的方式将保护膜贴附于固态胶膜表面，贴合压力0.1mpa，得到具有支撑膜和保护膜的负型感光性固态胶膜。
[0192]
采用紫外灯曝光30s，采用环戊酮显影，pgmea漂洗后，在鼓风烘箱中烘烤(140℃(1h，230℃(2h)得到固化后的光刻图形。
[0193]
对比例4
[0194]
本对比例提供一种聚酰胺酸酯树脂及由其制备的光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物，与实施例1的区别在于：二胺为21.80g 4,4-二氨基二苯基甲烷。
[0195]
具体步骤如下：
[0196]
(1)聚酰胺酸酯树脂的制备：
[0197]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，依次加入3.55g含氟芳香族二酐6fda、2.08g甲基丙烯酸-2-羟乙酯(hema)、0.63g吡啶和12.8gn-甲基吡咯烷酮(nmp)，室温搅拌6h，生成相应的6fda-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0198]
在另一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的100ml三口圆底烧瓶中，依次加入28.54g非含氟芳香族二酐4,4'-氧双邻苯二甲酸酐，23.94ghema、7.27g吡啶和147.2gnmp，室温搅拌6h，生成相应的4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0199]
将4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯溶液加入进6fda-二酸二甲基丙烯酸酯溶液中，然后与28.55g socl2在0-10℃反应2h，室温反应4h，生成相应的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯。
[0200]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1l三口圆底烧瓶中，加入21.80g4,4-二氨基二苯基甲烷和90g nmp，搅拌使其溶解形成均相透明二胺溶液；采用冰浴将混合二胺溶液冷却至10℃以下，将上述制备的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯滴加进二胺溶液中，滴加时间0.5h；然后，在室温下反应10h；再加入2.96g苯酐，继续搅拌1h；将反应液倒入5l去离子水中，析出固体、过滤、真空干燥，得到聚酰胺酸酯树脂，树脂分子量25000。
[0201]
本对比例中，所述二酐、二胺及含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比依次为：1：1.1：2。
[0202]
(2)光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物的制备
[0203]
在配有黄光灯的千级超净间内，将1.0g 1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)
肟(光引发剂)、0.15g氢醌(阻聚剂)、6g聚乙二醇甲基丙烯酸酯(光致交联剂)、1.0gkh570(硅烷偶联剂)依次加入46gnmp中，室温下搅拌1h，使其形成均匀溶液。向均匀分散液中加入40g聚酰胺酸酯，搅拌至均相负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物液。
[0204]
(3)光刻固化：
[0205]
将制得的聚酰胺酸酯树脂组合物液在支撑膜pet上，通过刮涂的方式制成湿膜。然后，放入80℃鼓风烘箱中烘烤25min后，得到负型感光性固态胶膜，测量膜厚为15μm。通过覆膜的方式将保护膜贴附于固态胶膜表面，贴合压力0.1mpa，得到具有支撑膜和保护膜的负型感光性固态胶膜。
[0206]
采用紫外灯曝光30s，采用环戊酮显影，pgmea漂洗后，在鼓风烘箱中烘烤(140℃(1h，230℃(2h)得到固化后的光刻图形。
[0207]
对比例5
[0208]
本对比例提供一种聚酰胺酸酯树脂及由其制备的光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物，与实施例1的区别在于：含氟芳香族二酐增加到6.66g，非含氟二酐减少到26.37g，二胺为21.80g 4,4-二氨基二苯基甲烷。
[0209]
具体步骤如下：
[0210]
(1)聚酰胺酸酯树脂的制备：
[0211]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，依次加入6.66g含氟芳香族二酐6fda、3.90g甲基丙烯酸-2-羟乙酯(hema)、1.18g吡啶和24gn-甲基吡咯烷酮(nmp)，室温搅拌6h，生成相应的6fda-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0212]
在另一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的100ml三口圆底烧瓶中，依次加入26.37g非含氟芳香族二酐4,4'-氧双邻苯二甲酸酐，22.12ghema、6.72g吡啶和136.0gnmp，室温搅拌6h，生成相应的4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0213]
将4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯溶液加入进6fda-二酸二甲基丙烯酸酯溶液中，然后与28.55g socl2在0-10℃反应2h，室温反应4h，生成相应的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯。
[0214]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1l三口圆底烧瓶中，加入21.80g4,4-二氨基二苯基甲烷和90g nmp，搅拌使其溶解形成均相透明二胺溶液；采用冰浴将混合二胺溶液冷却至10℃以下，将上述制备的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯滴加进二胺溶液中，滴加时间0.5h；然后，在室温下反应10h；再加入2.96g苯酐，继续搅拌1h；将反应液倒入5l去离子水中，析出固体、过滤、真空干燥，得到聚酰胺酸酯树脂，树脂分子量25000。
[0215]
本对比例中，所述二酐、二胺及含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比依次为：1：1.1：2。
[0216]
(2)光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物的制备
[0217]
在配有黄光灯的千级超净间内，将1.0g 1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟(光引发剂)、0.15g氢醌(阻聚剂)、6g聚乙二醇甲基丙烯酸酯(光致交联剂)、1.0gkh570(硅烷偶联剂)依次加入46gnmp中，室温下搅拌1h，使其形成均匀溶液。向均匀分散液中加入40g聚酰胺酸酯，搅拌至均相负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物液。
[0218]
(3)光刻固化：
[0219]
将制得的聚酰胺酸酯树脂组合物液在支撑膜pet上，通过刮涂的方式制成湿膜。然
后，放入80℃鼓风烘箱中烘烤25min后，得到负型感光性固态胶膜，测量膜厚为15μm。通过覆膜的方式将保护膜贴附于固态胶膜表面，贴合压力0.1mpa，得到具有支撑膜和保护膜的负型感光性固态胶膜。
[0220]
采用紫外灯曝光30s，采用环戊酮显影，pgmea漂洗后，在鼓风烘箱中烘烤(140℃(1h，230℃(2h)得到固化后的光刻图形。
[0221]
对比例6
[0222]
本对比例提供一种聚酰胺酸酯树脂及由其制备的光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物，与实施例1的区别在于：含氟芳香族二酐增加到13.32g，非含氟二酐减少到21.71g，二胺为21.80g 4,4-二氨基二苯基甲烷。
[0223]
具体步骤如下：
[0224]
(1)聚酰胺酸酯树脂的制备：
[0225]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，依次加入13.32g含氟芳香族二酐6fda、7.80g甲基丙烯酸-2-羟乙酯(hema)、2.36g吡啶和48gn-甲基吡咯烷酮(nmp)，室温搅拌6h，生成相应的6fda-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0226]
在另一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的100ml三口圆底烧瓶中，依次加入21.71g非含氟芳香族二酐4,4'-氧双邻苯二甲酸酐，18.21ghema、5.54g吡啶和112.0gnmp，室温搅拌6h，生成相应的4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0227]
将4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯溶液加入进6fda-二酸二甲基丙烯酸酯溶液中，然后与28.55g socl2在0-10℃反应2h，室温反应4h，生成相应的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯。
[0228]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1l三口圆底烧瓶中，加入21.80g4,4-二氨基二苯基甲烷和90g nmp，搅拌使其溶解形成均相透明二胺溶液；采用冰浴将混合二胺溶液冷却至10℃以下，将上述制备的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯滴加进二胺溶液中，滴加时间0.5h；然后，在室温下反应10h；再加入2.96g苯酐，继续搅拌1h；将反应液倒入5l去离子水中，析出固体、过滤、真空干燥，得到聚酰胺酸酯树脂，树脂分子量22000。
[0229]
本对比例中，所述二酐、二胺及含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比依次为：1：1.1：2。
[0230]
(2)光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物的制备
[0231]
在配有黄光灯的千级超净间内，将1.0g 1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟(光引发剂)、0.15g氢醌(阻聚剂)、6g聚乙二醇甲基丙烯酸酯(光致交联剂)、1.0gkh570(硅烷偶联剂)依次加入46gnmp中，室温下搅拌1h，使其形成均匀溶液。向均匀分散液中加入40g聚酰胺酸酯，搅拌至均相负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物液。
[0232]
(3)光刻固化：
[0233]
将制得的聚酰胺酸酯树脂组合物液在支撑膜pet上，通过刮涂的方式制成湿膜。然后，放入80℃鼓风烘箱中烘烤25min后，得到负型感光性固态胶膜，测量膜厚为15μm。通过覆膜的方式将保护膜贴附于固态胶膜表面，贴合压力0.1mpa，得到具有支撑膜和保护膜的负型感光性固态胶膜。
[0234]
采用紫外灯曝光30s，采用环戊酮显影，pgmea漂洗后，在鼓风烘箱中烘烤(140℃(1h，230℃(2h)得到固化后的光刻图形。
[0235]
对比例7
[0236]
本对比例提供一种聚酰胺酸酯树脂及由其制备的光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物，与实施例1的区别仅在于：仅采用含氟芳香族二酐。
[0237]
具体步骤如下：
[0238]
(1)聚酰胺酸酯树脂的制备：
[0239]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，依次加入44.42g芳香族二酐6fda、26.03g甲基丙烯酸-2-羟乙酯(hema)、15.82g吡啶和95g n甲基吡咯烷酮(nmp)，室温搅拌6h，生成相应的二酸二甲基丙烯酸酯。
[0240]
将上述产物与23.79g socl2在0-10℃反应2h，室温反应4h，生成相应的二酰氯二甲基丙烯酸酯。
[0241]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1l三口圆底烧瓶中，加入22.02g3,4-二氨基二苯醚和90g nmp，搅拌使其溶解形成均相透明二胺溶液；
[0242]
采用冰浴将混合二胺溶液冷却至10℃以下，将上述制备的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯滴加进二胺溶液中，滴加时间0.5h；然后，在室温下反应10h；再加入2.96g苯酐，继续搅拌1h；将反应液倒入5l去离子水中，析出固体、过滤、真空干燥，得到聚酰胺酸酯树脂，树脂分子量22000。
[0243]
本对比例中，所述二酐、二胺及含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比依次为：1：1.1：2。
[0244]
(2)光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物的制备
[0245]
在配有黄光灯的千级超净间内，将1.0g 1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟(光引发剂)、0.15g氢醌(阻聚剂)、6g聚乙二醇甲基丙烯酸酯(光致交联剂)、1.0gkh570(硅烷偶联剂)依次加入46gnmp中，室温下搅拌1h，使其形成均匀溶液。向均匀分散液中加入40g聚酰胺酸酯，搅拌至均相负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物液。
[0246]
(3)光刻固化：
[0247]
将制得的聚酰胺酸酯树脂组合物液在支撑膜pet上，通过刮涂的方式制成湿膜。然后，放入80℃鼓风烘箱中烘烤25min后，得到负型感光性固态胶膜，测量膜厚为15μm。通过覆膜的方式将保护膜贴附于固态胶膜表面，贴合压力0.1mpa，得到具有支撑膜和保护膜的负型感光性固态胶膜。
[0248]
采用紫外灯曝光30s，采用环戊酮显影，pgmea漂洗后，在鼓风烘箱中烘烤(140℃(1h，230℃(2h)得到固化后的光刻图形。
[0249]
对比例8
[0250]
本对比例提供一种聚酰胺酸酯树脂及由其制备的光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物，与实施例1的区别仅在于：仅采用非含氟芳香族二酐。
[0251]
具体步骤如下：
[0252]
(1)聚酰胺酸酯树脂的制备：
[0253]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，依次加入31.02g非含氟芳香族二酐4,4'-氧双邻苯二甲酸酐、26.03g甲基丙烯酸-2-羟乙酯(hema)、15.82g吡啶和95g n甲基吡咯烷酮(nmp)，室温搅拌6h，生成相应的二酸二甲基丙烯酸酯。将上述产物与23.79g socl2在0-10℃反应2h，室温反应4h，生成相应的二酰氯二甲基
丙烯酸酯。
[0254]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1l三口圆底烧瓶中，加入22.02g3,4-二氨基二苯醚和90g nmp，搅拌使其溶解形成均相透明二胺溶液；
[0255]
采用冰浴将混合二胺溶液冷却至10℃以下，将上述制备的二酰氯二甲基丙烯酸酯滴加进二胺溶液中，滴加时间0.5h；然后，在室温下反应10h；再加入2.96g苯酐，继续搅拌1h；将反应液倒入5l去离子水中，析出固体、过滤、真空干燥，得到聚酰胺酸酯树脂，树脂分子量26000。
[0256]
本对比例中，所述二酐、二胺及含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比依次为：1：1.1：2。
[0257]
(2)光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物的制备
[0258]
在配有黄光灯的千级超净间内，将1.0g 1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟(光引发剂)、0.15g氢醌(阻聚剂)、6g聚乙二醇甲基丙烯酸酯(光致交联剂)、1.0gkh570(硅烷偶联剂)依次加入46gnmp中，室温下搅拌1h，使其形成均匀溶液。向均匀分散液中加入40g聚酰胺酸酯，搅拌至均相负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物液。
[0259]
(3)光刻固化：
[0260]
将制得的聚酰胺酸酯树脂组合物液在支撑膜pet上，通过刮涂的方式制成湿膜。然后，放入80℃鼓风烘箱中烘烤25min后，得到负型感光性固态胶膜，测量膜厚为15μm。通过覆膜的方式将保护膜贴附于固态胶膜表面，贴合压力0.1mpa，得到具有支撑膜和保护膜的负型感光性固态胶膜。
[0261]
采用紫外灯曝光30s，采用环戊酮显影，pgmea漂洗后，在鼓风烘箱中烘烤(140℃(1h，230℃(2h)得到固化后的光刻图形。
[0262]
对比例9
[0263]
本对比例提供一种聚酰胺酸酯树脂及由其制备的光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物，与实施例1的区别仅在于：采用其它常规非含氟芳香族二酐。
[0264]
具体步骤如下：
[0265]
(1)聚酰胺酸酯树脂的制备：
[0266]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，依次加入29.42g 2,3,3,4-联苯四甲酸二酐、26.03g甲基丙烯酸-2-羟乙酯(hema)、15.82g吡啶和95g n甲基吡咯烷酮(nmp)，室温搅拌6h，生成相应的二酸二甲基丙烯酸酯。将上述产物与23.79g socl2在0-10℃反应2h，室温反应4h，生成相应的二酰氯二甲基丙烯酸酯。
[0267]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1l三口圆底烧瓶中，加入22.02g 3,4-二氨基二苯醚和90g nmp，搅拌使其溶解形成均相透明二胺溶液；
[0268]
采用冰浴将混合二胺溶液冷却至10℃以下，将上述制备的二酰氯二甲基丙烯酸酯滴加进二胺溶液中，滴加时间0.5h；然后，在室温下反应10h；再加入2.96g苯酐，继续搅拌1h；将反应液倒入5l去离子水中，析出固体、过滤、真空干燥，得到聚酰胺酸酯树脂，树脂分子量5000。
[0269]
本对比例中，所述二酐、二胺及含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比依次为：1：1.1：2。
[0270]
(2)光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物的制备
[0271]
在配有黄光灯的千级超净间内，将1.0g 1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟(光引发剂)、0.15g氢醌(阻聚剂)、6g聚乙二醇甲基丙烯酸酯(光致交联剂)、1.0gkh570(硅烷偶联剂)依次加入46gnmp中，室温下搅拌1h，使其形成均匀溶液。向均匀分散液中加入40g聚酰胺酸酯，搅拌至均相负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物液。
[0272]
(3)光刻固化：
[0273]
将制得的聚酰胺酸酯树脂组合物液在支撑膜pet上，通过刮涂的方式制成湿膜。然后，放入80℃鼓风烘箱中烘烤50min后，得到负型感光性固态胶膜，测量膜厚为15μm。通过覆膜的方式将保护膜贴附于固态胶膜表面，贴合压力0.1mpa，得到具有支撑膜和保护膜的负型感光性固态胶膜。
[0274]
采用紫外灯曝光30s，采用环戊酮显影，pgmea漂洗后，在鼓风烘箱中烘烤(140℃(1h，230℃(2h)得到固化后的光刻图形。
[0275]
结果显示：光刻固化后不能成膜。
[0276]
对比例10
[0277]
本对比例提供一种聚酰胺酸酯树脂及由其制备的光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物，与实施例1的区别仅在于：采用其它常规具有不对称结构的二胺，但其与实施例1的结构不同；其具体结构如下：
[0278]
与实施例1的区别在于：二胺为11.89g 1,3-苯二胺。
[0279]
具体如下：
[0280]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，依次加入3.55g含氟芳香族二酐6fda、2.08g甲基丙烯酸-2-羟乙酯(hema)、0.63g吡啶和12.8gn-甲基吡咯烷酮(nmp)，室温搅拌6h，生成相应的6fda-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0281]
在另一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的100ml三口圆底烧瓶中，依次加入28.54g非含氟芳香族二酐4,4'-氧双邻苯二甲酸酐，23.94ghema、7.27g吡啶和147.2gnmp，室温搅拌6h，生成相应的4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0282]
将4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯溶液加入进6fda-二酸二甲基丙烯酸酯溶液中，然后与28.55g socl2在0-10℃反应2h，室温反应4h，生成相应的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯。
[0283]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1l三口圆底烧瓶中，加入11.89g1,3-苯二胺和90g nmp，搅拌使其溶解形成均相透明二胺溶液；采用冰浴将混合二胺溶液冷却至10℃以下，将上述制备的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯滴加进二胺溶液中，滴加时间0.5h；然后，在室温下反应10h；再加入2.96g苯酐，继续搅拌1h；将反应液倒入5l去离子水中，析出固体、过滤、真空干燥，得到聚酰胺酸酯树脂，树脂分子量20000。
[0284]
本对比例中，所述二酐、二胺及含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比依次为：1：1.1：2。
[0285]
(2)光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物的制备
[0286]
在配有黄光灯的千级超净间内，将1.0g 1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟(光引发剂)、0.15g氢醌(阻聚剂)、6g聚乙二醇甲基丙烯酸酯(光致交联剂)、1.0gkh570(硅烷偶联剂)依次加入46gnmp中，室温下搅拌1h，使其形成均匀溶液。向均匀分散液中加入40g聚酰胺酸酯，搅拌至均相负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物液。
[0287]
(3)光刻固化：
[0288]
将制得的聚酰胺酸酯树脂组合物液在支撑膜pet上，通过刮涂的方式制成湿膜。然后，放入80℃鼓风烘箱中烘烤25min后，得到负型感光性固态胶膜，测量膜厚为15μm。通过覆膜的方式将保护膜贴附于固态胶膜表面，贴合压力0.1mpa，得到具有支撑膜和保护膜的负型感光性固态胶膜。
[0289]
采用紫外灯曝光30s，采用环戊酮显影，pgmea漂洗后，在鼓风烘箱中烘烤(140℃(1h，230℃(2h)得到固化后的光刻图形。
[0290]
对比例11
[0291]
本对比例提供一种聚酰胺酸酯树脂及由其制备的光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物，与实施例1的区别仅在于：所述二酐由含氟芳香族二酐与非含氟芳香族二酐组成，但其中含氟芳香族二酐占二酐总摩尔量的35％。
[0292]
具体步骤如下：
[0293]
(1)聚酰胺酸酯树脂的制备：
[0294]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的500ml三口圆底烧瓶中，依次加入15.55g含氟芳香族二酐6fda、2.08g甲基丙烯酸-2-羟乙酯(hema)、0.63g吡啶和12.8gn-甲基吡咯烷酮(nmp)，室温搅拌6h，生成相应的6fda-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0295]
在另一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的100ml三口圆底烧瓶中，依次加入20.16g非含氟芳香族二酐4,4'-氧双邻苯二甲酸酐，23.94ghema、7.27g吡啶和147.2gnmp，室温搅拌6h，生成相应的4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯。
[0296]
将4,4'-氧双邻苯二甲酸酐-二酸二甲基丙烯酸酯溶液加入进6fda-二酸二甲基丙烯酸酯溶液中，然后与28.55g socl2在0-10℃反应2h，室温反应4h，生成相应的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯。
[0297]
在一个装有机械搅拌器、温度计和氮气保护装置的1l三口圆底烧瓶中，加入11.89g1,3-苯二胺和90g nmp，搅拌使其溶解形成均相透明二胺溶液；采用冰浴将混合二胺溶液冷却至10℃以下，将上述制备的混合二酰氯二甲基丙烯酸酯滴加进二胺溶液中，滴加时间0.5h；然后，在室温下反应10h；再加入2.96g苯酐，继续搅拌1h；将反应液倒入5l去离子水中，析出固体、过滤、真空干燥，得到聚酰胺酸酯树脂，树脂分子量21000。
[0298]
本对比例中，所述二酐、二胺及含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比依次为：1：1.1：2。
[0299]
(2)光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物的制备
[0300]
在配有黄光灯的千级超净间内，将1.0g 1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟(光引发剂)、0.15g氢醌(阻聚剂)、6g聚乙二醇甲基丙烯酸酯(光致交联剂)、1.0gkh570(硅烷偶联剂)依次加入46gnmp中，室温下搅拌1h，使其形成均匀溶液。向均匀分散液中加入40g聚酰胺酸酯，搅拌至均相负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物液。
[0301]
(3)光刻固化：
[0302]
将制得的聚酰胺酸酯树脂组合物液在支撑膜pet上，通过刮涂的方式制成湿膜。然后，放入80℃鼓风烘箱中烘烤25min后，得到负型感光性固态胶膜，测量膜厚为15μm。通过覆膜的方式将保护膜贴附于固态胶膜表面，贴合压力0.1mpa，得到具有支撑膜和保护膜的负型感光性固态胶膜。
[0303]
采用紫外灯曝光30s，采用环戊酮显影，pgmea漂洗后，在鼓风烘箱中烘烤(140℃(1h，230℃(2h)得到固化后的光刻图形。
[0304]
效果验证
[0305]
将实施例1-6及对比例1-11所得薄膜进行测试，结果如下：
[0306]
表2各实施例的测试结果
[0307][0308]
表3各对比例的测试结果
[0309][0310][0311]
表4各对比例的测试结果
[0312][0313]
通过上述试验结果得出以下结论：
[0314]
(1)通过比较实施例1-6及对比例1-6的测试结果可知，使用不对称的二胺得到的树脂和感光树脂组合物比使用对称二胺得到的树脂和感光树脂组合物，在相同膜厚度的前提下，实施例1-6所得聚酰胺酸酯树脂的光刻分辨率更高(≤20)，断裂伸长率更高。
[0315]
(2)通过比较实施例1-6及对比例7的测试结果可知，在相同膜厚度的前提下，单纯采用含氟芳香族二酐与不对称二胺合成树脂，对比例7所得聚酰胺酸酯树脂的光刻分辨率同样较高，但断裂伸长率较低。
[0316]
(3)通过比较实施例1-6及对比例8的测试结果可知，在相同膜厚度的前提下，单纯采用非含氟芳香族二酐与不对称二胺合成树脂，对比例8所得聚酰胺酸酯树脂的光刻分辨率较低。
[0317]
(4)通过比较实施例1-6及对比例9的测试结果可知，在相同膜厚度的前提下，采用常规的非含氟芳香族二酐与不对称二胺合成树脂，对比例9所得聚酰胺酸酯树脂存在分子量过低，从而固化后不成膜的问题。
[0318]
(5)通过比较实施例1-6及对比例10的测试结果可知，采用其它常规的不对称结构的二胺与具有对称结构的二酐合成树脂，所得聚酰胺酸酯树脂的拉伸强度过低，无法满足使用要求，从而证实了采用本发明所述的通式(i)所示的具有不对称结构二胺的优势。
[0319]
(6)通过比较实施例1-6及对比例11的测试结果可知，当含氟芳香族二酐的占比过高时，所得聚酰胺酸酯树脂的断裂伸长率过低，无法满足使用要求，从而证实了采用本发明所述的特定占比的优势。
[0320]
虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施方案对本发明作了详尽的描述，但在本发明基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本发明精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本发明要求保护的范围。