技术特征：
1.一种桌面便携式无掩膜曝光机，其特征在于：包括壳体和安装在所述壳体内的激光系统、微透镜阵列模块、移动平台及电源，所述的微透镜阵列模块设在激光系统与移动平台之间，所述的移动平台承载加工基片，激光系统发出的激光束照射到微透镜阵列模块上被分束和聚焦后投射到移动平台上的加工基片进行曝光。2.根据根据权利要求1所述的一种桌面便携式无掩膜曝光机，其特征在于：所述的壳体是矩形壳体。3.根据权利要求1所述的一种桌面便携式无掩膜曝光机，其特征在于：还包括安装在壳体内的光路改向结构，所述的光路改向结构设在激光系统与微透镜阵列模块之间，激光系统发出的激光束经光路改向结构后照射到微透镜阵列模块上。4.根据权利要求3所述的一种桌面便携式无掩膜曝光机，其特征在于：光路改向结构包括至少一个反射镜。5.根据权利要求1所述的一种桌面便携式无掩膜曝光机，其特征在于：还包括安装在壳体内的孔径光阑，所述的孔径光阑设在激光系统与微透镜阵列模块之间，激光系统发出的激光束经孔径光阑后照射到微透镜阵列模块上。6.根据权利要求1所述的一种桌面便携式无掩膜曝光机，其特征在于：还包括安装在壳体内的扩束镜，所述的扩束镜设在激光系统与微透镜阵列模块之间，激光系统发出的激光束经扩束镜后照射到微透镜阵列模块上。7.根据权利要求1所述的一种桌面便携式无掩膜曝光机，其特征在于：还包括至少一个反射镜、孔径光阑、扩束镜，激光系统发出的激光束通过所述的反射镜调节光路方向并依次经过所述孔径光阑、所述扩束镜后照射到微透镜阵列模块上。8.根据权利要求7所述的一种桌面便携式无掩膜曝光机，其特征在于：包括三个反射镜，分别为第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜，所述的第一反射镜、所述的第二反射镜和所述的第三反射镜依序分别位于壳体的三个连续的角位置，激光系统发出的光束依次经过所述第一反射镜、所述第二反射镜、所述孔径光阑、所述扩束镜、所述第三反射镜后照射到微透镜阵列模块上。9.根据权利要求1所述的一种桌面便携式无掩膜曝光机，其特征在于：所述的激光系统包括激光光源和激光快门。10.根据权利要求1所述的一种桌面便携式无掩膜曝光机，其特征在于：所述的激光系统外周罩设有屏蔽罩，用于干扰信号的屏蔽。
技术总结
本实用新型公开了一种桌面便携式无掩膜曝光机，其特征在于：包括壳体和安装在所述壳体内的激光系统、微透镜阵列模块、移动平台及电源，所述的微透镜阵列模块设在激光系统与移动平台之间，所述的移动平台承载加工基片，激光系统发出的激光束照射到微透镜阵列模块上被分束和聚焦后投射到移动平台上的加工基片进行曝光。它具有如下优点：实现无掩膜光刻，加工效率高，尤其适用周期性图案的曝光加工，小型化、便于移动和携带。便于移动和携带。便于移动和携带。
技术研发人员：周锐 陈哲堃 王振忠 朱宇超 严星 洪明辉
受保护的技术使用者：厦门大学
技术研发日：2022.01.24
技术公布日：2022/6/30