一种自动控制的自准直样品对准装置的制作方法

1.本技术涉及样品方位校准设备的技术领域，尤其是涉及一种自动控制的自准直样品对准装置。


背景技术：

2.椭偏测量技术是用于测量纳米薄膜参数的重要手段之一，主要利用探测光波经纳米薄膜表面反射时产生的偏振态的变化来探测样品的信息。当利用椭偏测量系统对样品进行测量时，为了获得准确的结果，需要对样品的方位进行校准和调节。校准包括对待测样品表面进行俯仰方位的校准和对待测样品表面进行高低方位的校准。
3.目前，一般是在整套椭偏测量系统中既安装一套自准直望远系统，又安装一套显微系统，显微系统滑动设置在自准直望远系统的底部，当需要对样品表面进行俯仰方位的校准时，即需要使该测量系统变成望远模式，需要手动移动显微系统，从而使显微系统与自准直望远系统发生错位。当需要对待测样品表面进行高低方位的校准时，即需要使该测量系统变成显微模式，需要再次手动移动显微系统，从而使显微系统与自准直望远系统的光轴重合。
4.手动调节的过程中，容易产生误差，难以使显微系统和自准直望远系统的光轴快速重合，需要多次进行调节，操作麻烦。


技术实现要素：

5.本技术提供一种自动控制的自准直样品对准装置，具有便于使显微系统和自准直望远系统的光轴快速重合的效果，进而实现自准直望远系统与显微系统的功能能够便捷切换的目的。
6.本技术提供的一种自动控制的自准直样品对准装置，采用如下的技术方案：
7.一种自动控制的自准直样品对准装置，包括光学自准望远系统和显微物镜组，所述光学自准望远系统包括光学器件套筒，所述光学器件套筒的底部设置有自动调节装置，所述自动调节装置能够调节显微物镜组的位置，使显微物镜组的光轴与光学器件套筒的光轴重合。
8.通过采用上述技术方案，当需要使该装置由望远模式转换至显微模式时，操作人员可通过自动调节装置使显微物镜组与光学器件套筒的光轴快速重合，从而省去了需要人工多次进行调整的麻烦，进而提高了调节效率和精准度。
9.作为优选，所述光学器件套筒的底部开设有导向槽，所述导向槽的延伸方向与光学器件套筒的光轴垂直；所述自动调节装置包括导向块和电动推杆，所述导向块开设有透光孔，所述透光孔的中心线与显微物镜组的中心线重合，所述导向块沿导向槽的延伸方向滑移于导向槽内；所述电动推杆安装于光学器件套筒底端的一侧，并且所述电动推杆的活塞杆端与导向块连接，用于推动导向块移动。
10.通过采用上述技术方案，导向槽和导向块的设置便于对显微物镜组进行导向，提
高了显微物镜组移动时的稳定性，从而便于电动推杆将显微物镜组移动至合适的位置。
11.作为优选，所述光学器件套筒的侧壁安装有安装板，所述电动推杆可拆卸连接于安装板。
12.通过采用上述技术方案，通过设置安装板便于对电动推杆进行固定和更换。
13.作为优选，所述导向块的侧壁还设置有延伸块，所述延伸块的长度方向与导向槽的延伸方向垂直，所述延伸块的另一端与电动推杆的活塞杆端固定连接。
14.通过采用上述技术方案，延伸块的设置便于使电动推杆与光学器件套筒的光轴发生错位，从而降低了电动推杆的活塞杆对光学器件套筒的光轴造成遮挡的概率。
15.作为优选，所述自动调节装置包括用于安装显微物镜组的安装块，所述安装块的中心位置开设有透光孔，所述透光孔的中心线与显微物镜组的中心线重合，所述安装块的侧壁与光学器件套筒底端的侧壁铰接，所述安装块靠近光学器件套筒底端的一端设置有定位块，所述光学器件套筒底端开设有与定位块插接配合的定位槽。
16.通过采用上述技术方案，由于安装块与光学器件套筒底端的侧壁铰接，便于对安装块和显微物镜组进行翻折，当需要使该装置处于望远模式时，可通过手动或者自动调节的方式将显微物镜组向上翻折，直至显微物镜组与光学器件套筒的光轴发生错位；
17.当需要使该装置处于显微模式时，可通过手动或者自动调节的方式将显微物镜组向下翻折，直至显微物镜组与光学器件套筒的光轴重合。
18.由于在安装时，显微物镜组与光学器件套筒的光轴已经初步对准，因此，在翻折后，显微物镜组能够与光学器件套筒的光轴快速重合，无需多次进行调整，从而提高了调节效率和精准度。
19.作为优选，所述显微物镜组的外侧固定有磁性金属环，所述光学器件套筒的底端还安装有第一磁体，当所述显微物镜组的出光孔与光学器件套筒的出光孔朝向相同时，所述磁性金属环吸引第一磁体。
20.通过采用上述技术方案，当显微物镜组的顶端与光学器件套筒的底端抵接时，在第一磁体对磁性金属环的吸引力作用下，便于将显微物镜组固定在光学器件套筒的底端，从而便于对显微物镜组进行固定。
21.作为优选，该装置还包括用于将安装块固定在光学器件套筒侧壁的固定件。
22.通过采用上述技术方案，向上翻折显微物镜组，当显微物镜组与光学器件套筒的光轴发生错位时，固定件便于对显微物镜组进行固定，从而降低了显微物镜组在重力的作用下自动向下翻折的概率。
23.作为优选，所述固定件包括安装于光学器件套筒的侧壁的第二磁性块，当所述显微物镜组的出光孔与光学器件套筒的出光孔朝向相反时，所述第二磁性块与磁性金属环吸合。
24.通过采用上述技术方案，向上翻折显微物镜组，当显微物镜组与光学器件套筒的光轴发生错位时，第二磁性块与磁性金属环吸合，从而便于对显微物镜组进行固定。
25.综上所述，本技术具有以下有益效果：
26.1、当需要使该装置由望远模式转换至显微模式时，操作人员可通过自动调节装置使显微物镜组与光学器件套筒的光轴重合，从而降低了需要人工多次进行调整的麻烦，进而提高了调节效率和精准度；
27.2、由于安装块与光学器件套筒底端的侧壁铰接，从而便于对安装块和显微物镜组进行翻折，当需要是该装置处于望远模式时，可通过手动或者自动调节的方式将显微物镜组向上翻折，直至显微物镜组与光学器件套筒的光轴发生错位，当需要使该装置处于显微模式时，可通过手动或者自动调节的方式将显微物镜组向下翻折，直至显微物镜组与光学器件套筒的光轴重合，由于在安装的时候，显微物镜组与光学器件套筒的光轴已经初步对准，因此，在翻折后，显微物镜组能够与光学器件套筒的光轴快速重合，无需多次进行调整，从而提高了调节效率和精准度。
附图说明
28.图1是本技术实施例一的结构示意图。
29.图2是本技术实施例二的结构示意图。
30.附图标记说明：1、光学自准望远系统；11、光学器件套筒；111、导向槽；112、定位槽；2、显微物镜组；3、自动调节装置；31、导向块；311、透光孔；32、电动推杆；33、安装块；34、定位块；4、安装板；5、延伸块；6、磁性金属环；7、第一磁体；8、第二磁性金属块。
具体实施方式
31.本技术公开一种自动控制的自准直样品对准装置。
32.实施例一：
33.参照图1，包括光学自准望远系统1、显微物镜组2以及自动调节装置3。光学自准望远系统1包括光学器件套筒11，自动调节装置3安装于光学器件套筒11的底端，显微物镜组2安装于自动调节装置3的底端。自动调节装置3用于自动调节显微物镜组2的位置，从而便于使显微物镜组2与光学器件套筒11的光轴快速重合。
34.参照图1，光学器件套筒11为圆管状套筒结构，光学器件套筒11的底部开设有导向槽111，导向槽111的延伸方向与光学器件套筒11的光轴垂直。自动调节装置3包括导向块31和电动推杆32，导向块31沿导向槽111的延伸方向滑移于导向槽111内。导向槽111和导向块31对应设置，导向槽111为燕尾槽，导向块31为燕尾块，或者导向槽111为t型槽，导向块31为t型块。导向块31内开设有透光孔311，透光孔311的中心线与显微物镜组2的中心线重合。导向块31的侧壁通过螺钉安装有延伸块5，延伸块5的另一端沿垂直于光学器件套筒11的光轴方向延伸。
35.参照图1，光学器件套筒11的底端设置有安装板4，安装板4的一端为圆环形结构，安装板4的一端通过圆环形结构套设固定于光学器件套筒11的底端，安装板4的另一端沿垂直于光学器件套筒11光轴的方向延伸。电动推杆32与控制系统电连接，控制系统可以为plc控制器也可以为单片机，本实施例优选为plc控制器。
36.电动推杆32的一端通过螺钉固定安装于安装板4远离光学器件套筒11的一端，电动推杆32的活塞杆端通过螺钉固定连接于延伸块5远离导向块31的一端，并且使电动推杆32的延伸方向与导向槽111的延伸方向平行但不重合。当电动推杆32工作时，能够降低电动推杆32的活塞杆遮挡显微物镜组2出光口的概率。
37.本技术实施例一的实施原理为：
38.当需要使该装置处于显微模式时，操作人员可通过控制系统控制电动推杆32工
作，推动显微物镜组2快速与光学器件套筒11的中心线重合。
39.当需要使该装置处于望远模式时，操作人员可通过控制系统控制电动推杆32工作，推动显微物镜组2快速与光学器件套筒11的中心线分离。从而降低了需要人工多次进行调整的麻烦，进而提高了调节效率和精准度，实现自准直望远系统与显微系统的功能能够便捷切换的目的。
40.实施例二：
41.参照图2，本技术实施例二与实施例一的区别仅在于：自动调节装置3包括安装块33、磁性金属环6、第一磁体7以及固定件。安装块33为矩形块，用于安装显微物镜组2。显微物镜组2通过螺钉安装于安装块33远离光学器件套筒11的侧壁，安装块33的中心位置开设有透光孔311，透光孔311的中心线与显微物镜组2的中心线重合。安装块33的侧壁与光学器件套筒11底端的侧壁通过合页铰接连接。
42.参照图2，显微物镜组2与光学器件套筒11抵接的一端固定连接有定位块34，光学器件套筒11的底端对应于定位块34的位置开设有定位槽112，定位块34与定位槽112插接配合。光学器件套筒11的底端还安装有第一磁体7，磁性金属环6套设固定于显微物镜组2的外侧，第一磁体7与磁性金属环6相互吸引。当显微物镜组2的一端与光学器件套筒11的底端抵接时，通过第一磁体7与磁性金属环6相互吸引，从而便于使显微物镜组2和光学器件套筒11的位置相对固定。
43.参照图2，固定件包括第二磁性块8，第二磁性块8通过螺钉固定连接于光学器件套筒11的侧壁，通过翻折显微物镜组2，当显微物镜组2的出光孔与光学器件套筒11的出光孔朝向相反时，第二磁性块8与磁性金属环6吸合，从而便于对显微物镜组2进行固定。
44.本技术实施例二的实施原理为：
45.当需要使该装置处于显微模式时，向下翻折显微物镜组2，当显微物镜组2的一端与光学器件套筒11的底端抵接时，定位块34与定位槽112相互插接，从而便于使显微物镜组2与光学器件套筒11的光轴快速重合。并且，第一磁体7与磁性金属环6相互吸引，从而便于使显微物镜组2和光学器件套筒11的位置相对固定。
46.当需要使该装置处于望远模式时，向上翻折显微物镜组2，当显微物镜组2与光学器件套筒11的光轴发生错位时，并且显微物镜组2与光学器件套筒11平行时，第二磁性块8与磁性金属环6吸合，从而便于对显微物镜组2进行固定，降低了显微物镜组2在重力的作用下自动向下翻折的概率。
47.因此，实现自准直望远系统与显微系统的功能能够便捷切换的目的。
48.以上均为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，故：凡依本技术的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本技术的保护范围之内。