技术特征：
1.热光调制平面波导型布拉格光栅，其特征在于：其包括平面波导本体和波导加热装置；所述平面波导本体包括光学基片和波导层，所述波导层包括在光学基片上依次层叠镀设第一波导膜层、第二波导膜层以及第三波导膜层，所述第二波导膜层的折射率分别大于第一波导膜层和第三波导膜层；第一波导膜层、第二波导膜层和第三波导膜层均由a-si、a-sih、a-sigeh和a-geh中的任意一种波导材料成型，所述第二波导膜层光刻布拉格光栅；所述波导加热装置为波导层加热。2.根据权利要求1所述的热光调制平面波导型布拉格光栅，其特征在于：所述布拉格光栅采用紫外或者飞秒激光光刻成型。3.根据权利要求1所述的热光调制平面波导型布拉格光栅，其特征在于：所述第二波导膜层为一层单模结构。4.根据权利要求1所述的热光调制平面波导型布拉格光栅，其特征在于：第一波导膜层、第二波导膜层以及第三波导膜层采用不同蒸发速率或者不同光学基片的温度镀设成型。5.根据权利要求1所述的热光调制平面波导型布拉格光栅，其特征在于：所述波导加热装置为电磁加热层或加热电阻片设在光学基片底部为波导层加热；或波导加热装置为可见光led芯条设在波导层上方照射波导层，波导层吸收光加热。6.微型ocm或tof，应用权利要求1-5中任意一种所述的热光调制平面波导型布拉格光栅，其特征在于：其包括光电探测器、环形器、准直镜、柱面镜透镜和热光调制平面波导型布拉格光栅；光源发射光信号从环形器a端射入后，从环形器b端射出，再依次经过准直镜和柱面镜透镜射入热光调制平面波导型布拉格光栅的第二波导膜层，一部分光透过第二波导膜层中的布拉格光栅后射出，另一部分光被布拉格光栅反射回柱面镜透镜，再经准直镜射入环形器b端后，从环形器c端射出输入到光电探测器中。7.可调谐激光器，应用权利要求1-5中任意一种所述的热光调制平面波导型布拉格光栅，其特征在于：其包括半导体激光器、准直镜、柱面镜透镜和热光调制平面波导型布拉格光栅；所述半导体激光器、准直镜、柱面镜透镜和热光调制平面波导型布拉格光栅依次排列；半导体激光器发出激光依次经过准直镜、柱面镜透镜后射入热光调制平面波导型布拉格光栅的第二波导膜层，激光透过第二波导膜层中的布拉格光栅后射出。
技术总结
本实用新型涉及热光调制平面波导型布拉格光栅及含有该结构的微型OCM或TOF及可调谐激光器，热光调制平面波导型布拉格光栅包括平面波导本体和波导加热装置；所述平面波导本体包括光学基片和波导层，所述波导层包括在光学基片上依次层叠镀设第一波导膜层、第二波导膜层以及第三波导膜层，所述第二波导膜层的折射率分别大于第一波导膜层和第三波导膜层；第一波导膜层、第二波导膜层和第三波导膜层均由a-Si、a-SiH、a-SiGeH和a-GeH中的任意一种波导材料成型，所述第二波导膜层光刻布拉格光栅；所述波导加热装置为波导层加热，采用以上技术方案瞬间毫秒量级脉冲加热产生较大波长范围内的窄带反射波长。的窄带反射波长。的窄带反射波长。
技术研发人员：吴砺 吴玉萍 蔡光明 刘哲 林磊 于光龙 郑保忠 李阳
受保护的技术使用者：福州高意通讯有限公司
技术研发日：2022.05.11
技术公布日：2022/8/8