调节装置及具有其的成像系统的制作方法

1.本实用新型涉及调节装置技术领域，具体地，涉及一种调节装置及具有其的成像系统。


背景技术：

2.随着科技水平的发展，调节装置作为一种对目标物体进行精密调整的装置，被越来越多的应用于生产生活中。以半导体技术领域为例，在进行产品良率管理时，需要成像系统对产品进行外观缺陷的检测。成像系统的成像装置具备宏观和微观的检测能力，为保证检测的准确性，检测时需要对成像装置的位置进行调节，以使成像装置正对待检产品。
3.现有技术通常采用调节装置对成像装置进行调节，调节装置包括旋转电机和与旋转电机的输出轴固定连接的旋转板。旋转电机通过输出轴带动旋转板转动以使安装于旋转板上的成像装置移动到预定位置。
4.其中，旋转电机只能控制旋转板的转动，在将成像装置移动到预定位置后，旋转电机停止转动，此时成像装置的位置很难稳固。无论是旋转电机的输出轴与旋转电机的连接产生的松动，还是输出轴与旋转板的连接不够稳固，均会造成成像装置的晃动，影响拍摄效果。并且该调节装置的安装和调整难度较大，结构稳定性差。


技术实现要素：

5.为了至少部分地解决现有技术中存在的问题，根据本实用新型的一个方面，提供一种调节装置，用于调节可移动的目标物体的位置。该调节装置包括推动件、固定座以及调节件。其中，推动件用于设置在目标物体上，调节件位置可调节地设于固定座上且沿推动件的移动方向位于推动件的两侧，调节件处于静止状态时分别抵靠推动件的两侧以固定目标物体的位置，调节件处于移动状态时推动推动件以使目标物体移动到预定位置。
6.示例性地，调节件与推动件抵靠的端面为球面。
7.示例性地，推动件包括推动主体，推动主体用于安装目标物体，推动主体沿推动件的移动方向可移动地设于固定座上；以及推动凸起，推动凸起设于推动主体上且供调节件在两侧抵靠和推动。
8.示例性地，推动主体和固定座中的一个上设置有圆形或者环形的凹槽，推动主体和固定座中的另一个上设置有多个限位凸块，多个限位凸块沿着凹槽的周向在不同位置处贴靠在凹槽的侧壁上，且推动主体相对于固定座沿周向方向可移动，其中推动件的移动方向为周向方向。
9.示例性地，推动主体和固定座中的一个设有安装孔且另一个设有调节孔，调节孔为沿推动件的移动方向延伸的长孔，紧固件穿过调节孔并连接至安装孔以固定固定座和推动主体之间的相对位置。
10.示例性地，调节件包括调节螺栓，调节螺栓沿推动件的移动方向设置，固定座上设置有螺孔，调节螺栓螺纹连接至螺孔。
11.示例性地，推动件和固定座之间通过转轴连接，推动件和固定座绕转轴相对转动以使目标物体移动到预定位置。
12.根据本实用新型的另一方面，还提供一种成像系统。该成像系统包括成像装置；以及第一调节装置，第一调节装置为上述任一种调节装置，成像装置作为第一调节装置的目标物体设置在其推动件上。
13.示例性地，成像系统还包括第二调节装置，第二调节装置为上述任意一种调节装置，第一调节装置的固定座作为目标物体设置在第二调节装置的推动件上，其中第二调节装置的推动件的移动方向与第一调节装置的推动件的移动方向不同。
14.示例性地，成像系统还包括第三调节装置，第三调节装置为上述任意一种调节装置，第二调节装置的固定座作为目标物体设置在第三调节装置的推动件上，其中第三调节装置的推动件的移动方向与第二调节装置的推动件的移动方向以及与第一调节装置的推动件的移动方向均不同。
15.本方案中的调节装置，在调节件处于静止状态时，调节件相对于固定座位置不变，固定座可以保证调节件位置的稳固。由此，调节件与推动件的两侧相抵，可以保证推动件在该移动方向上的位置的稳固，进而保证与推动件连接的目标物体的位置的稳定。在调节件处于移动状态时，调节件相对固定座的位置发生改变，在固定座的支撑作用下，调节件移动并推动推动件，使目标物体的位置随推动件的移动而改变，在目标物体移动到预定位置时，停止移动调节件，调节件进入静止状态，即实现了完整的调节过程。相对于现有技术中采用旋转电机通过输出轴带动旋转板以使目标物体移动的技术方案，本方案中，无论调节件处于静止状态还是移动状态，调节件和推动件之间始终是紧密相抵的，可以避免由于部件连接的松动造成的目标物体的晃动，保证调节过程的平稳以及调节后目标物体的位置的稳定。调节过程简单方便，结构设置更简单合理，安装难度低，结构稳定性更好。
16.在实用新型内容中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本实用新型内容部分并不是限定要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不是限定试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。
17.以下结合附图，详细说明本实用新型的优点和特征。
附图说明
18.本实用新型的下列附图在此作为本实用新型的一部分用于理解本实用新型。附图中示出了本实用新型的实施方式及其描述，用来解释本实用新型的原理。在附图中，
19.图1为根据本实用新型的一个示例性实施例的成像系统的立体图；
20.图2为根据本实用新型的一个示例性实施例的成像系统的主视图；
21.图3为根据本实用新型的一个示例性实施例的成像系统的另一视角下的立体图；
22.图4为根据本实用新型的另一个示例性实施例的调节装置的固定座的立体图；以及
23.图5为与图4所示的固定座相适配的推动主体的立体图。
24.其中，上述附图包括以下附图标记：
25.10、调节装置；100、推动件；110、110’、推动主体；111’、限位凸块；112、调节孔；113’、螺纹件；120、120’、推动凸起；200、200’、固定座；210’、凹槽；220、安装孔；230、螺孔；
240’、弧形孔；300、300’、调节件；310、调节螺栓；400、紧固件；500、转轴；20、成像装置；60、第一调节装置；610、推动件；620、固定座；70、第二调节装置；710、推动件；720、固定座。
具体实施方式
26.在下文的描述中，提供了大量的细节以便能够彻底地理解本实用新型。然而，本领域技术人员可以了解，如下描述仅示例性地示出了本实用新型的优选实施例，本实用新型可以无需一个或多个这样的细节而得以实施。此外，为了避免与本实用新型发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行详细描述。
27.为了彻底了解本实用新型实施方式，将在下列的描述中提出详细的结构。显然，本实用新型实施方式的施行并不限定于本领域的技术人员所熟习的特殊细节。本实用新型的较佳实施方式详细描述如下，然而除了这些详细描述外，本实用新型还可以具有其他实施方式。
28.本实用新型的实施例提供了一种调节装置，该调节装置可以用于调节可移动的目标物体的位置。具体地，该目标物体可以为任意需要进行位置调节的物体，例如成像装置、待加工的工件等，此处不做限定。参照图1，该调节装置10包括推动件100、固定座200以及调节件300。其中，推动件100用于设置在目标物体上。目标物体可以采用任意方式与推动件100进行连接固定。调节件300位置可调节地设于固定座200上且沿推动件100的移动方向位于推动件100的两侧。调节件300处于静止状态时分别抵靠推动件100的两侧以固定目标物体的位置。调节件300处于移动状态时推动推动件100以使目标物体移动到预定位置。具体地，上述移动方向与目标物体的待调节方向有关，也即与目标物体的可移动方向有关。当目标物体期望沿直线方向调节位置时，推动件100的移动方向是沿该直线的；当目标物体期望沿弧线方向调节位置时，推动件100的移动方向是沿弧线的。通常情况下，推动件100的移动方向沿直线时，推动件100带动目标物体平移，例如目标物体滑动连接至滑槽或者滑轨；推动件100的移动方向沿弧线时，例如目标物体可以设置为绕预定轴线可旋转。而且调节件300沿推动件100的移动方向在两侧抵靠推动件100，无论推动件100的移动方向是沿直线还是沿弧线，都能够采用调节件300调节推动件100的位置。
29.本方案中的调节装置10，在调节件300处于静止状态时，调节件300相对于固定座200位置不变，固定座200可以保证调节件300位置的稳固。由此，调节件300与推动件100的两侧相抵，可以保证推动件100在该移动方向上的位置的稳固，进而保证与推动件100连接的目标物体的位置的稳定。在调节件300处于移动状态时，调节件300相对固定座200的位置发生改变，在固定座200的支撑作用下，调节件300移动并推动推动件100，使目标物体的位置随推动件100的移动而改变，在目标物体移动到预定位置时，停止移动调节件300，调节件300进入静止状态，即实现了完整的调节过程。相对于现有技术中采用旋转电机通过输出轴带动旋转板以使目标物体移动的技术方案，本方案中的调节装置10，无论调节件300处于静止状态还是移动状态，调节件300和推动件100之间始终是紧密相抵的，可以避免由于部件连接的松动造成的目标物体的晃动，保证调节过程的平稳以及调节后目标物体的位置的稳定。调节过程简单方便，结构设置更简单合理，安装难度低，结构稳定性更好。
30.示例性地，调节件300与推动件100抵靠的端面可以为球面。这样，调节件300与推动件100抵靠时，无论推动件100处于什么角度，球面结构的各处均可以与推动件100相抵。
尤其是，该调节件300的位置可调节的方向与目标物体的移动方向不一致时，由于调节件300与推动件100抵靠的端面为球面，也可以使推动件100与调节件300充分接触。推动件100的受力可以更均衡，可以进一步提升调节过程的平稳以及调节后的目标物体的位置的稳定。或者，调节件与推动件抵靠的端面也可以为平面。
31.示例性地，参照图1和2，推动件100可以包括推动主体110和推动凸起120。推动主体110可以用于安装目标物体，推动主体110沿推动件100的移动方向可移动地设于固定座200上。其中，推动主体110的结构可以根据目标物体的形状而设置。示例性地，推动主体110可以包括安装平面，以便目标物体可以稳定地安装在安装平面上。推动凸起120可以设于推动主体110上且供调节件300在两侧抵靠和推动。示例性地，推动凸起120可以呈t型固定于推动主体110上，且与调节件300抵靠的侧面为平面。推动主体110可以更好地保证与目标物体之间连接的稳固，并且通过推动推动凸起120来移动推动主体110的位置，进而移动目标物体的位置，调节过程更简单。
32.示例性地，结合参照图2和3，推动主体110和固定座200中的一个可以设有安装孔220且另一个设有调节孔112。调节孔112可以为沿推动件100的移动方向延伸的长孔，紧固件400穿过调节孔112并连接至安装孔220以固定固定座200和推动主体110之间的相对位置。这样，在调节过程中推动主体110相对固定座200移动，安装孔220始终可以保持在调节孔112在固定座200上的投影内，使紧固件400可以同时穿过安装孔220和调节孔112。示例性地。紧固件400可以为紧固螺栓。在目标物体达到预定位置后，旋拧紧固螺栓可以固定推动主体110和固定座200的相对位置。这样设置可以有效地保证调节装置10在调节完成后对目标物体的位置的固定。示例性地，调节孔112和安装孔220可以为多个，且一一对应设置。
33.图4和图5分别示出了根据本实用新型的另一个实施例的固定座200’和推动件100’。该实施例的推动件100’和固定座200’的结构和功能基本相同，不同之处仅在于，推动件100’的推动主体110’和固定座200’中的一个上可以设置有圆形或者环形的凹槽210’，推动主体110’和固定座200’中的另一个上可以设置有多个限位凸块111’。多个限位凸块111’沿着凹槽210’的周向在不同位置处贴靠在凹槽210’的侧壁上，且推动主体110’相对于固定座200’沿周向方向可移动，其中推动件100’的移动方向为周向方向。这样，在限位凸块111’和凹槽210’的配合下，推动主体110’相对于固定座200’可旋转。当然，在未示出的其他实施例中，推动主体和固定座也可以通过转轴可枢转地连接。但限位凸块111’和凹槽210’配合的方式可以避免使转轴成为主要的受力点，一旦转轴出现磨损就可能导致推动主体和固定座之间的位置关系发生变动，其结果可能是：无论如何调节也无法将目标物体移动到期望的位置。本实施例通过多个限位凸块111’来分担旋转过程中的作用力，使得沿着凹槽210’的侧壁多处受力，进而可以提高转动的可靠性和稳定性。这样，可以更好地使推动主体110’沿预定的移动方向进行移动，保证调节装置10的调节效果。在一定程度上可以限制推动主体110’与固定座200’的相对位置，防止意外情况下(例如推动主体110’与固定座200’中的一个突然受到剧烈撞击)两者的脱离，保证调节装置10的稳定程度。示例性地，推动件100’的推动主体110’和固定座200’中设置有的凹槽210’的一个的中部可以为镂空结构。具体地，镂空结构的边缘可以与凹槽210’相连。这样，可以有效地降低推动件100’和固定座200’中设有凹槽210’的一个的重量，使调节过程更加方便。
34.限位凸块111’和凹槽210’通常情况下仅用于沿着径向和周向方向对推动主体
110’进行限位。沿着轴向方向，可以额外地设置螺纹件113’和弧形孔240’。螺纹件113’可以设置在推动主体110’上，弧形孔240’可以设置在固定座200’上。螺纹件113’穿过弧形孔240’以沿着轴向方向将推动主体110’与固定座200’连接在一起，当推动主体110’相对于固定座200’转动时，螺纹件113’可以在弧形孔240’内滑动，由此，螺纹件113’和弧形孔240’不但能够起到轴向方向上的连接作用，而且还能够在推动主体110’相对于固定座200’转动时起到导向作用。而且在调节至期望的位置后，通过旋转螺纹件113’还可以将推动主体110’牢固地固定在固定座200’上，进而保证两者之间的位置不变。当然，反过来，螺纹件设置在固定座上，弧形孔设置在推动主体上也是可行的。
35.此外，对于图4-5所示的实施例中，固定座200’上的调节件300’与推动主体110’的推动凸起120’可以分别与前述的调节件300和推动凸起120相同，因此本文为了简洁将不再进一步地详述。
36.示例性地，参照图1和2，调节件300可以包括调节螺栓310，调节螺栓310可以沿推动件100的移动方向设置。这样，在旋转调节螺栓310的过程中，调节螺栓310推动与之相抵的推动件100，使推动件100移动。固定座200上设置有螺孔230，调节螺栓310螺纹连接至螺孔230。调节螺栓310的设置，使通过旋拧调节螺栓310来实现对目标物体的调节，调节过程更平稳、简单。并且，可以通过分别对两侧的调节螺栓310的旋拧来不断地调节目标物体的位置，以使其更接近于预定的位置，精细化程度更高。在未示出的实施例中，调节件可以为滑块，固定座设有用于滑槽，滑块受力在滑槽中移动以推动推动件，进而调整目标物体的位置。
37.示例性地，参照图1，推动件100和固定座200之间通过转轴500连接，推动件100和固定座200绕转轴500相对转动以使目标物体移动到预定位置。这样，目标物体随推动件100转动，以转轴500为中心进行角度的调整，进一步限定了目标物体的位置的调节轨迹，保证调节的稳定性。具体地，转轴可以设置在推动件上。或者，转轴也可以设置在固定座上。或者，推动件和固定座上可以均设有通孔，转轴穿设于两个通孔内。
38.根据本实用新型的另一方面，还提供一种成像系统。参照图1-2，该成像系统包括成像装置20和第一调节装置60。第一调节装置60可以为上述任意一种调节装置。成像装置20作为第一调节装置60的目标物体设置在其推动件610上。这样，可以通过调节推动件610，实现成像装置20的位置的调整，使成像装置20可以更好地对准被拍摄物。并且，本方案中第一调节装置60可以更好地稳固成像装置20的位置，减少晃动，保证成像质量。
39.示例性地，参照图1，成像系统还可以包括第二调节装置70，第二调节装置70可以为上述任意一种调节装置。第一调节装置60的固定座620作为目标物体设置在第二调节装置70的推动件710上。其中，第二调节装置70的推动件710的移动方向与第一调节装置60的推动件610的移动方向不同。这样，即可在两个不同的方向上分别调节，以使成像装置20以更准确的位置和角度对准被拍摄物，进一步保证成像质量。示例性地，第一调节装置70的推动件710的移动方向可以与第一调节装置60的推动件610的移动方向垂直，以扩大成像装置20的调节范围。
40.示例性地，成像系统还可以包括第三调节装置，第三调节装置可以为上述任意一种调节装置。在图1-2所示的实施例中，第三调节装置可以为图中的调节装置10。第二调节装置70的固定座720作为目标物体设置在第三调节装置的推动件上。在图示实施例中，固定
座720可以设置在调节装置10的推动件110上。需要说明的是，前述的固定座设置在另一个调节装置的推动件上包括固定座直接设置在推动件上的情况、以及固定座通过一个或者多个中间部件间接地设置在推动件上。其中，第三调节装置的推动件的移动方向与第二调节装置70的推动件710的移动方向以及与第一调节装置60的推动件610的移动方向均不同。这样，可以使成像装置在三个方向上的位置都可以被调节，精细化程度更高，进一步保证成像质量。示例性地，第三调节装置的推动件的移动方向与第二调节装置70的推动件710的移动方向以及与第一调节装置60的推动件610的移动方向可以彼此两两垂直。这样，成像装置20可以在三维上实现位置的调节。
41.在本实用新型的描述中，需要理解的是，方位词如“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”、“横向”、“竖向”、“垂直”、“水平”和“顶”、“底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制；方位词“内”、“外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。
42.为了便于描述，在这里可以使用区域相对术语，如“在
……
之上”、“在
……
上方”、“在
……
上表面”、“上面的”等，用来描述图中所示的一个或多个部件或特征与其他部件或特征的区域位置关系。应当理解的是，区域相对术语不但包含部件在图中所描述的方位，还包括使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的部件被整体倒置，则部件“在其他部件或特征上方”或“在其他部件或特征之上”的将包括部件“在其他部件或构造下方”或“在其他部件或构造之下”的情况。因而，示例性术语“在
……
上方”可以包括“在
……
上方”和“在
……
下方”两种方位。此外，这些部件或特征也可以其他不同角度来定位(例如旋转90度或其他角度)，本文意在包含所有这些情况。
43.需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本技术的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、部件、组件和/或它们的组合。
44.需要说明的是，本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本技术的实施方式能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
45.本实用新型已经通过上述实施例进行了说明，但应当理解的是，上述实施例只是用于举例和说明的目的，而非意在将本实用新型限制于所描述的实施例范围内。此外本领域技术人员可以理解的是，本实用新型并不局限于上述实施例，根据本实用新型的教导还可以做出更多种的变型和修改，这些变型和修改均落在本实用新型所要求保护的范围以内。本实用新型的保护范围由附属的权利要求书及其等效范围所界定。