一种无掩模光刻机平台伸缩式排线结构的制作方法

1.本实用新型涉及一种无掩模光刻机，特别是一种无掩模光刻机平台伸缩式排线结构。


背景技术：

2.无掩模光刻机已经广泛应用于集成电路的线路曝光、阻焊等，部分已应用于晶圆级封装、芯片封装等领域。目前现有的光刻机的移动平台通过高精密度的导轨安装于底座上，移动平台底部采用拖链的方式包裹电线、气管(用于抽真空平台的底部吸附线路板/晶圆/芯片等需要曝光的板)等随着移动平台一起移动，移动平台前后运动的过程中会导致拖链的振动，从而带动平台振动，影响扫描光刻的精度，尤其是微米级别的解析甚至未来纳米级别的解析，拖链的振动将对设备的稳定性以及解析精度有重大影响。此外，传统的方式使用久了以后还会出现导线来回折叠运动扯断、接口松动、气管来回折叠运动破损断裂等问题。为解决此问题，本技术人设计了一种无掩模光刻机平台伸缩式排线结构。


技术实现要素：

3.为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种无掩模光刻机平台伸缩式排线结构。
4.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
5.一种无掩模光刻机平台伸缩式排线结构，包括若干导线及气管，其特征在于：还包括螺旋式弹性伸缩管，所述导线从螺旋式弹性伸缩管穿过且随着螺旋式弹性伸缩管伸缩，所述气管为弹性伸缩气管或直管，所述直管从螺旋式弹性伸缩管穿过且随着弹性伸缩管伸缩。
6.所述螺旋式弹性伸缩管为塑料螺旋管。
7.所述导线包含火线、零线及地线。
8.所述弹性伸缩气管为伸缩软管或是pu弹簧管。
9.还包括底座及通过导轨设置于底座上的移动平台，所述底座或移动平台上设有线槽，所述螺旋式弹性伸缩管位于线槽中。
10.还包括底座及通过导轨设置于底座上的移动平台，所述底座或移动平台上设有线槽，所述螺旋式弹性伸缩管和弹性伸缩气管位于线槽中。
11.实用新型的有益效果是：本实用新型采用螺旋式弹性伸缩管作为套管，将导线及气管穿过套管，从而使导线及气管通过螺旋式弹性伸缩管引导而具有伸缩的功能。从而移动平台移动时，导线及气管能够伸长或缩短，而且也不会有线路混乱互缠的问题，而且没有电线及拖链随着移动平台移动，因而不会有振动。
12.本实用新型不使用拖链的方式不仅可以减少振动对设备的稳定性以及解析精度的影响，同时可以减少结构装配，减少后期人力物力成本。
附图说明
13.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
14.图1是本实用新型的结构应用示意图；
15.图2是螺旋式弹性伸缩管装于线槽中的结构示意图。
具体实施方式
16.将通过参照附图描述的以下实施方案来阐明本公开的优点和特征以及其实施方法。然而，本公开可以体现为不同的形式并且不应当被解释为限于本文所阐述的实施方案。相反，提供这些实施方案，以使得本公开将是全面而完整的，并且将向本领域技术人员充分地传递本公开的范围。此外，本公开仅由权利要求书的范围限定。
17.用于描述本公开的实施方案的附图中所公开的形状、尺寸、比例、角度和数目仅是示例，因此本公开不限于所示出的细节。贯穿本说明书，相同的附图标记指代相同的元件。在以下描述中，当相关已知功能或配置的详细描述被确定为不必要地模糊本公开的重点时，将省略该详细描述。在使用本说明书中描述的“包括”、“具有”和“包含”的情况下，除非使用“仅”，否则可以添加其他部件。除非被相反地指出，否则单数形式的术语可以包括复数形式。
18.在对元件进行解释时，尽管没有明确描述，但是元件被理解为包括误差范围。
19.在描述位置关系时，例如，当位置关系被描述为“在
……
上”、“在
……
上方”、“在
……
下方”和“与
……
毗邻”时，除非使用“紧接”或“直接”，否则可以在两个其他部分之间布置一个或更多个部分。
20.在描述时间关系时，例如，当时间顺序被描述为“在
……
之后”、“随后”、“接下来”以及“在
……
之前”时，除非使用“刚好”或“直接”，否则可以包括不连续的情况。
21.应当理解，尽管在本文中可以使用术语“第一”、“第二”等来描述各种元件，但这些元件不应受这些术语的限制。这些术语仅用于将一个元件与其他元件区分。例如，第一元件可以被称为第二元件，并且类似地，第二元件可以被称为第一元件，而不偏离脱离本公开的范围。
22.如本领域技术人员可以充分理解的，本公开的不同实施方案的特征可以部分地或全部地彼此耦合或组合，并且可以以各种方式彼此协作并在技术上被驱动。本公开的实施方案可以彼此独立地执行，或者可以以相互依赖的关系一起执行。
23.参照图1、图2，本实用新型公开了一种无掩模光刻机平台伸缩式排线结构，本技术实施例一具体技术方案如下：
24.包括若干导线1及气管2，还包括螺旋式弹性伸缩管3，螺旋式弹性伸缩管3可以直接平铺于底座4上或是移动平台5上，所述气管2为塑料直管，所述导线1及直管从螺旋式弹性伸缩管3穿过且随着螺旋式弹性伸缩管3伸缩，导线1及气管2的连接和以前是相同的，仅仅是增加了螺旋式弹性伸缩管3作为套管并将导线1及直管约束成螺旋状，这样导线1及直管也能够随螺旋式弹性伸缩管3伸缩。
25.所述螺旋式弹性伸缩管3为塑料螺旋管，本结构的螺旋式弹性伸缩管3，优选是pu弹簧管，pu弹簧管为螺旋状的pu管，因而具有弹性伸缩的功能，该pu弹簧管为外购，其管径根据需要可定制，
26.所述导线1可以包含火线、零线及地线，也可以是数据线等，而且只需调整pu弹簧管的管径和壁厚就可以适应导线1及气管2的数量多少。
27.作为本技术的进一步结构，还包括底座4及通过导轨设置于底座4上的移动平台5，所述底座4或移动平台5上设有线槽6，所述螺旋式弹性伸缩管3位于线槽6中，线槽6的横截面结构呈凹字形，线槽6通过螺钉固定在底座4或移动平台5上，通过线槽6更加能够规范以及引导螺旋式弹性伸缩管3的位置及走向，而且线槽6可以做成弧形，这样能够避开一些部件的阻碍，从而实现最优布线，当然螺旋式弹性伸缩管3能够在线槽6内沿线槽6伸缩。
28.本技术实施例二具体技术方案如下：
29.实施例二与实施一的不同之处在于：所述气管2本身采用了弹性伸缩气管2，因气管2自身具有伸缩功能，因而可以不用穿过螺旋式弹性伸缩管3，而可以直接与螺旋式弹性伸缩管3并行排布，仅仅是将导线1穿过螺旋式弹性伸缩管3即可。
30.作为本技术的进一步结构，还包括底座4及通过导轨设置于底座4上的移动平台5，所述底座4或移动平台5上设有线槽6，所述螺旋式弹性伸缩管3和弹性伸缩气管2位于线槽6中。线槽6的原理与实施例一相同，因而不赘述。
31.以上对本实用新型实施例所提供的一种无掩模光刻机平台伸缩式排线结构，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。