一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备的制作方法

文档序号:33018995发布日期:2023-01-20 18:12阅读:139来源:国知局
一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备的制作方法

1.本实用新型涉及衍射光栅技术领域,具体为一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备。


背景技术:

2.衍射光栅是光栅的一种。它通过有规律的结构,使入射光的振幅或相位 (或两者同时)受到周期性空间调制。衍射光栅在光学上的最重要应用是作为分光器件,常被用于单色仪和光谱仪上。
3.在对衍射光栅进行加工时,有时需要使用到刻蚀机,在刻蚀机内部需要对光栅进行夹持固定,现有的对光栅的固定较为繁琐,需要使用者安装较多的螺丝来夹持固定,同时不方便使用者进行拆卸,降低了装置的实用性。


技术实现要素:

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备,具备方便使用者对光栅进行夹持安装,并且方便使用者进行拆卸等优点,解决了现有的对光栅的固定较为繁琐,需要使用者安装较多的螺丝来夹持固定,同时不方便使用者进行拆卸,降低了装置的实用性的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备,包括底座,所述底座的顶部开设有滑槽,所述滑槽的内部滑动连接有滑块,所述滑块的顶部固定连接有夹持机构,所述夹持机构的一侧设置有调节机构;
8.所述夹持机构包括挡板,所述挡板的底部固定连接于底座的顶部,所述滑块的顶部固定连接有夹持板;
9.所述调节机构包括活动槽,所述活动槽开设于挡板的一侧,所述活动槽的内部固定连接有滑杆,所述滑杆的表面套设有配合块。
10.优选的,所述底座一侧的表面开设有调节槽,所述调节槽的内部转动连接有螺纹杆,所述调节槽的一侧开设有与螺纹杆配合使用的螺纹槽。
11.优选的,所述螺纹杆的表面套设有第一移动板,所述第一移动板的一侧与夹持板固定连接,所述第一移动板的表面开设有与螺纹杆配合使用的螺纹孔。
12.优选的,所述底座的一侧开设有导向槽,所述导向槽的内部固定连接有导向杆,所述导向杆的表面套设有与夹持板配合使用的第二移动板,所述第二移动板的表面开设有与导向杆配合使用的导向孔。
13.通过设置导向槽、导向杆与第二移动板的配合使用,可以使得使用者在调节螺纹杆时,可以使得夹持板移动的较为稳定,不会发生晃动的现象,加强了夹持板在移动时的稳定性。
14.优选的,所述配合块的一侧固定连接有第一调节板,所述第一调节板的一侧设置有第二调节板,所述第二调节板的一侧固定连接于挡板的一侧。
15.优选的,所述滑杆的表面套设有弹簧,所述弹簧的一端固定连接于活动槽的内部,所述弹簧的另一端固定连接于配合块的一侧。
16.通过设置弹簧,可以使得对配合块进行回弹,使得配合块可以实现自动复位的目的,加强了对光栅夹持的牢固性。
17.与现有技术相比,本实用新型提供了一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备,具备以下有益效果:
18.1、该干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备,通过设置夹持机构,使用者可以通过调节螺纹杆使得夹持板进行移动,对光栅进行夹持,同时可以通过调节螺纹杆使得使用者可以夹持不同尺寸的光栅,并且方便使用者进行拆卸,加强了装置的便捷性。
19.2、该干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备,通过设置调节机构,使用者可以通过调节第一调节板的位置来方便使用者夹持光栅,进一步加强了对光栅夹持的稳定性与便捷性。
附图说明
20.图1为本实用新型的立体图;
21.图2为本实用新型的图1中a处的局部放大图;
22.图3为本实用新型的局部结构的第一立体图
23.图4为本实用新型的图3中b处的局部放大图;
24.图5为本实用新型的局部结构的立体图。
25.其中:1、底座;2、夹持机构;201、挡板;202、夹持板;203、调节槽; 204、螺纹杆;205、螺纹槽;206、第一移动板;207、螺纹孔;3、调节机构; 301、活动槽;302、滑杆;303、配合块;304、第一调节板;305、第二调节板;306、弹簧;4、滑槽;5、滑块;6、导向槽;7、导向杆;8、第二移动板;9、导向孔。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
27.请参阅图1-4,一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备,包括底座1,底座1的顶部开设有滑槽4,滑槽4的内部滑动连接有滑块5,滑块5的顶部固定连接有夹持机构2,夹持机构2的一侧设置有调节机构3;
28.夹持机构2包括挡板201,挡板201的底部固定连接于底座1的顶部,滑块5的顶部固定连接有夹持板202;
29.调节机构3包括活动槽301,活动槽301开设于挡板201的一侧,活动槽301的内部固定连接有滑杆302,滑杆302的表面套设有配合块303。
30.通过上述技术方案,通过设置夹持机构2,使用者可以通过调节螺纹杆 204使得夹
持板202进行移动,对光栅进行夹持,同时可以通过调节螺纹杆 204使得使用者可以夹持不同尺寸的光栅,并且方便使用者进行拆卸,加强了装置的便捷性,通过设置调节机构3,使用者可以通过调节第一调节板304的位置来方便使用者夹持光栅,进一步加强了对光栅夹持的稳定性与便捷性。
31.具体的,底座1一侧的表面开设有调节槽203,调节槽203的内部转动连接有螺纹杆204,调节槽203的一侧开设有与螺纹杆204配合使用的螺纹槽 205。
32.通过上述技术方案,通过设置螺纹槽205与螺纹杆204的配合使用,可以方便使用者进行调节螺纹杆204,能够使得夹持板202进行移动,从而对光栅进行夹持。
33.具体的,螺纹杆204的表面套设有第一移动板206,第一移动板206的一侧与夹持板202固定连接,第一移动板206的表面开设有与螺纹杆204配合使用的螺纹孔207。
34.通过上述技术方案,通过设置第一移动板206可以带动夹持板202进行移动,并且螺纹孔207可以使得在螺纹杆204转动时,可以带动第一移动板 206进行移动。
35.具体的,底座1的一侧开设有导向槽6,导向槽6的内部固定连接有导向杆7,导向杆7的表面套设有与夹持板202配合使用的第二移动板8,第二移动板8的表面开设有与导向杆7配合使用的导向孔9。
36.通过上述技术方案,通过设置导向槽6、导向杆7与第二移动板8的配合使用,可以使得使用者在调节螺纹杆204时,可以使得夹持板202移动的较为稳定,不会发生晃动的现象,加强了夹持板202在移动时的稳定性。
37.具体的,配合块303的一侧固定连接有第一调节板304,第一调节板304 的一侧设置有第二调节板305,第二调节板305的一侧固定连接于挡板201的一侧。
38.通过上述技术方案,通过设置第一调节板304与第二调节板305的配合使用,可以使得对光栅进行安装夹持的目的,可以将光栅放在第一调节板304 与第二调节板305中间位置,通过调节第一调节板304使得可以方便使用者进行安装,加强了在安装光栅时的便捷性。
39.具体的,滑杆302的表面套设有弹簧306,弹簧306的一端固定连接于活动槽301的内部,弹簧306的另一端固定连接于配合块303的一侧。
40.通过上述技术方案,通过设置弹簧306,可以使得对配合块303进行回弹,使得配合块303可以实现自动复位的目的,加强了对光栅夹持的牢固性。
41.在使用时,使用者可以先调节第一调节板304使得可以将光栅安装在第一调节板304与第二调节板305之间的位置,之后使用者松开第一调节板304,使得在弹簧306的作用下将配合块303进行回弹,使得配合块303自动复位,加强对光栅的夹持效果,之后,使用者调节螺纹杆204使得螺纹杆204可以带动第一移动板206进行移动,第一移动板206带动夹持板202向挡板201 的位置进行移动,方便使用者可以夹持不同型号的光栅,并且在导向杆7的作用下,夹持板202的移动不会发生偏移,加强了在移动夹持板202时的稳定性,并且滑块5与滑槽4可以使得夹持板202的移动更加稳定,方便使用者使用。
42.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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