散热机构及光学引擎的制作方法

1.本实用新型涉及光学引擎的散热技术领域，特别是涉及一种散热机构及光学引擎。


背景技术：

2.随着科技的不断发展，光学引擎在制备集成电路、芯片等高精度的器件的制备过程中起到了十分重要的作用。目前光学引擎包括照射光源，光机系统和成像镜头，照射光源用于发射曝光激光，光机系统用于接收照射光源出射的曝光激光并进行处理，之后再将处理后的曝光激光折射至镜头，镜头用于接收光机系统出射的激光并对激光进行调制以符合投射要求。
3.现有技术中，在大功率机械光学引擎的使用过程中，光机系统传送的大功率激光在经过镜头组以调制光路时，会产生的损耗而使得热量很容易在聚集镜头组的位置处，从而影响光学性能。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型提供一种散热机构，该散热机构设置于光学引擎的成像镜头外周，以能够对调制大功率激光的成像镜头进行散热降温，从而避免温度过高影响成像镜头的光学性能。
5.本实用新型提供一种散热机构，用于对光学引擎的成像镜头进行散热，包括：第一散热件，设有第一散热通道，所述第一散热通道沿所述第一散热件的长度方向弯折设置，第二散热件，设有第二散热通道，所述第二散热通道沿所述第二散热件的长度方向弯折设置；以及，连通组件，所述连通组件连通所述第一散热通道与所述第二散热通道；所述第一散热件及所述第二散热件分别设置于所述成像镜头的两侧，以能够对所述成像镜头散热。
6.如此设置，通过在连通组件的两侧设置第一散热件及第二散热件，以能够对光学引擎的成像镜头进行散热，从而保证成像精度。
7.在本实用新型的一个实施例中，所述第一散热通道包括第一进水通道以及第一回水通道，所述第一进水通道的一端为第一进水口，另一端为第一对接口，所述第一进水通道沿所述第一散热件的长度方向延伸，所述第一回水通道沿所述第一散热件的长度方向延伸，所述第一回水通道一端为封闭口，另一端为第二对接口，所述第一对接口与所述第二对接口相互连通。
8.如此设置，第一散热通过设置第一进水通道以及第一出水通道，从而能够是的制冷液能够在依次流经第一进水通道以及第一出水通道，从而带走成像镜头产生的热量。
9.在本实用新型的一个实施例中，所述第一进水通道的第一对接口经过多次弯折后与所述第一回水通道的第二对接口连通。
10.如此设置，通过设置沿宽度方向的弯折，从而提高了流道的长度，进一步提高换热效率。
11.在本实用新型的一个实施例中，所述第一散热通道还包括第一出水通道以及分流部，所述第一出水通道沿所述第一散热件的长度方向延伸，并封闭所述第一回水通道的所述封闭口，所述第一出水通道的一端为第一出水口，所述分流部设有第一分流口与第二分流口，所述第一分流口与所述第一回水通道相连通，所述第二分流口与所述第一出水通道相互连通。
12.如此设置，通过设置第一出水通道及分流部，使得流体能够根据实际的安装情况通过第一分流口将制冷液导出，并通过第二分流口导回，并从第一出水通道流出第一散热件。
13.在本实用新型的一个实施例中，所述第一分流口的数量设置有多个，多个所述第一分流口沿所述第一回水通道的延伸方向间隔设置；所述第二分流口的数量设置有多个，多个所述第二分流口沿所述第一出水通道的延伸方向间隔设置。
14.如此设置，通过设置多个第一分流口及第二分流口，以能够正对不同的功率调节流量变化。
15.在本实用新型的一个实施例中，多个所述第二分流口的直径互不相同。
16.如此设置，通过设置不同直径的第二分流口，以能够针对阻力不同的水冷部件做实时调整，从而达到合适的流量分配。
17.在本实用新型的一个实施例中，所述第二散热通道包括第二进水通道及第二出水通道，所述第二进水通道沿所述第二散热件的长度方向设置，第二进水通道的一端为第二进水口，另一端为第三对接口，所述第二出水通道沿所述第二散热件的长度方向设置，所述第二出水通道的一端为第四对接口，另一端为第二出水口，所述第三对接口与所述第四对接口相互连通。
18.如此设置，通过设置第二进水通道和第二出水通道，以能够是的第二散热件能够在成像镜头的另一侧对成像镜头进行散热。
19.在本实用新型的一个实施例中，所述连通组件包括第一连通件与第二连通件，所述第一连通件的一端连通所述第一分流口，另一端对接于所述第二进水通道的所述第二进水口，所述第二连通件一端连通所述第二分流口，另一端对接所述第二出水通道的第二出水口。
20.如此设置，通过设置第一件连通件以及第二连通件，使得冷却水能够通过第一散热通道后在经过第二散热通道后再回到第一散热通道，使得第一散热通道与第二散热通道相互连通的同时还能够针对结构做调整。
21.在本实用新型的一个实施例中，所述连通组件还第一连通件以及第二连通件，所述第一连通件的一端连通所述第一出水通道的所述第一出水口，另一端对接于所述第二进水通道的所述第二进水口，所述第二连通件一端连通所述第一分流口，另一端对接所述第二分流口。
22.如此设置，通过设置第一连通件及第二连通件，是的冷却水能够依次经过第一散热通道和第二散热通道，从而对成像镜头散热。
23.本实用新型还提供一种光学引擎，该光学引擎还包括成像镜头以及如上述任意一项所述的散热机构，所述散热机构设置于所述成像镜头的侧部。
24.本实用新型通过在光学引擎的成像镜头外周色号设置散热机构，以能够对调制大
功率激光的成像镜头进行散热降温，从而避免温度过高影响成像镜头的光学性能。
附图说明
25.图1为本实用新型提供的一实施例中第一散热件的结构示意图；
26.图2为图1所示的第一散热件另一视角的结构示意图；
27.图3为图1所示的第一散热件另一视角的结构示意图；
28.图4为图1所示的第一散热件另一视角的结构示意图；
29.图5为图4所示的第一散热件沿a-a处的剖视图；
30.图6为本实用新型提供的一实施例中第二散热件的结构示意图；
31.图7为图4所示的第二散热件另一视角的结构示意图；
32.图8为图4所示的第二散热件在b-b处的剖视图。
33.100、散热机构；10、第一散热件；11、第一散热通道；111、第一进水通道；1111、第一进水口；1112、第一对接口；112、第一回水通道；1121、封闭口；1122、第二对接口；113、第一出水通道；1131、第一出水口；12、分流部；121、第一分流口；122、第二分流口；13、第一安装部；20、第二散热件；21、第二散热通道；211、第二进水通道；2111、第二进水口；2112、第三对接口；212、第二出水通道；2121、第四对接口；2122、第二出水口；22、第二安装部。
具体实施方式
34.下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
35.需要说明的是，当组件被称为“装设于”另一个组件，它可以直接装设在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“固定于”另一个组件，它可以是直接固定在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。
36.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“或/及”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
37.随着科技的不断发展，现有技术中，光学引擎在制备集成电路、芯片等高精度的器件的制备过程中起到十分重要的作用，其中，在大功率机械光学引擎的使用过程中，光机系统传送的大功率激光在经过成像镜头以调制光路时，会产生的损耗而使得热量很容易在聚集镜头处，从而影响光学性能。
38.针对上述技术问题，本实用新型提供一种散热机构100，该散热机构100设置于光学引擎的镜片组，以能够对调制大功率激光的镜片组进行散热降温，从而避免温度过高而影响镜片组的光学性能。
39.请参阅图1至图8，在本实用新型提供一种散热机构100，该散热机构100包括第一散热件10、第二散热件20以及连通组件，第一散热件10及第二散热件20设置于光学镜头的
外周，并通过连通组件将第一散热件10内的第一散热通道11与第二散热件20内的第二散热通道21连通，第一散热件10及第二散热件20用于对光学引擎的镜片组进行散热。
40.其中，第一散热件10及第二散热件20均大致呈长方体，第一散热件10内沿着长度方向弯折设有第一散热通道11，第二散热件20内沿着长度方向弯折设有第一散热通道11，连通组件将第一散热通道11与第二散热通道21连通，且第一散热件10与第二散热件20夹设镜片组，冷却水能够通过第一散热通道11及第二散热通道21流通并带走吸收的热量。
41.如此设置，通过在镜片组的两侧设置第一散热件10及第二散热件20，使得冷却水能够通过第一散热通道11和第二散热通道21，从而能够对镜片组进行散热处理。
42.需要说明的是，本实用新型并不仅限于通过冷却水对镜片组进行散热，在其他的实施方式中，还可以通过其他的冷却液体对镜片组进行换热处理，例如冷却油、乙二醇等液态冷却剂，只要能够使得第一散热件10和第二散热件20能够与镜片组换热，实现对镜片组的散热即可。
43.可以理解的是，在本实施例中，为了能够使得第一散热件10与第二散热件20能够固定夹设于镜片组，第一散热件10的外周设有多个第一安装部13，第二散热件20的外周对应第一安装部13设有多个第二安装部22，且每一第一安装部13对应一个第二安装部22，具体地，在本实施例中，第一安装部13与第二安装部22均设置为开设有螺纹孔的安装凸台，通过螺纹紧固件穿设第一安装部13与第二安装部22，以固定第一散热件10及第二散热件20；应当理解的是，本实用新型并不仅限于通过螺纹紧固件与螺纹孔的安装配合方式使得第一散热件10与第二散热件20固定夹设于镜片组的两侧，在其他的实施方式中，还可以通过焊接、扣接等其他的固定安装方式，只要能够使得第一散热件10和第二散热件20固定安装至镜片组的外周即可。
44.进一步的，第一散热件10设置于镜片组的一侧，第一散热件10包括第一进水通道111、第一回水通道112以及第一出水通道113，第一进水通道111用于对接外部水冷管道；第一回水通道112用于对接第一进水通道111，使得冷却水能够在第一散热件10内弯折，提高冷却水的流程；第一出水通道113用于对接外接水冷管道，使得冷却水通过第一出水通道113流出第一散热件10。
45.具体地，第一进水通道111、第一回水通道112及第一出水通道113均沿着第一散热件10件的长度方向开设，且第一进水通道111、第一回水通道112及第一出水通道113相互平行，第一进水通道111自第一散热件10的一端开始逐渐朝向第一散热件10的另一端延伸，第一进水通道111的一端为第一进水口1111，另一端为第一对接口1112；第一回水通道112自第一散热件10的一端开始逐渐朝向第一散热件10的另一端延伸，第一回水通道112的一端为封闭口1121，另一端为第二对接口1122，第一回水通道112贯通后需要将封闭口1121封闭；但第一进水通道111与第一出水通道113并不贯穿该第一散热件10，且第一进水通道111在相对第一对接口1112的位置处，第一进水通道111的第一对接口1112多次弯折后与第一回水通道112的第二对接口1122相连通，使得第一进水通道111与第一回水通道112相互连通。
46.其中，在第一进水通道111的第一对接口1112多次弯折中，第一进水通道111的第一对接口1112沿着第一散热件10的厚度方向进行第一次弯折，然后再沿第一散热件10的宽度方向进行第二次弯折，最后在沿第一散热件10的厚度方向进行第三次弯折，并对接第一
回水通道112的第二对接口1122，实现第一进水通道111与第一出水通道113的相互连通。
47.需要说明的是，在进行第一进水通道111的多次弯折以及贯通第一回水通道112的过程中，均采用打孔的方式形成流通通道，并且在打孔结束后，将流通通道的端口封闭，仅需要内部流通通道与第一进水通道111相互连通以延伸第一进水通道111，而为了避免以冷却水从第一回水通道112流出，经第一回水通道112的封闭端封闭，以将所述第一安装件及第二安装件安装至预设位置；本实用新型并不限制第一进水通道111的弯折延伸方式；本实用新型并不限定第一进水通道111与第一回水通道112之间的连通方式，在其他的实施方式中，还可以通过打u型孔的方式使得第一进水通道111与第一回水通道112相互连通，只要能够使得第一进水通道111与第二回水通道相互连通即可。
48.此外，第一出水通道113设置于第一进水通道111以及第一回水通道112之间，且第一出水通道113也不贯穿第一安装件；为了使得冷却水能够从第一出水通道113流出，在本实用新型的一个实施例中，第一散热件10还包括分流部12，该分流部12设有第一分流口121及第二分流口122，第一分流口121的数量设置有多个，且多个第一分流口121沿着第一回水通道112的延伸方向间隔设置，且每一第一分流口121均与第一回水通道112相互连通；第二分流口122的数量设置有多个，且多个第二分流口122沿着第一出水通道113的延伸方向间隔设置，每一第二分流口122均与第一出水通道113相互连通，且多个第二分流口122的大小均不同；散热机构100还包括连通组件，连通组件能够连通第一分流口121与第二分流口122，使得冷却水能够由第一回水通道112流入第一出水通道113，并由第一出水通道113流出第一散热件10；。
49.如此设置，通过设置大小逐渐变化的第二分流口122，以能够针对不同的外部水冷设备，选用不同直径的第二分流口122，使得经过第二分流口122的阻力发生变化，从而能够使得冷却水在第一散热通道11及第二散热通道21内分配均匀。
50.在本实用新型的一个实施例中，第二散热件20设置于镜片组的另一侧，并与第一散热件10关于镜片组对称设置，第二散热件20包括第二进水通道211以及第二出水通道212，第二进水通道211用于对接第一散热件10流出的水冷管道；第二出水通道212用于对接外接水冷管道，使得冷却水通过第二出水通道212流出第二散热件20。
51.具体地，第二进水通道211及第二出水通道212均沿着第二散热件20件的长度方向布设，且第一进水通道111与第一出水通道113相互平行，第一进水通道111及第二出水通道212自第二散热件20的一端开始逐渐朝向第二散热件20的另一端延伸，第二进水通道211的一端为第二进水口2111，另一端为第三对接口2112，第二出水通道212的一端为第二出水口2122，另一端为第四对接口2121，第二进水通道211的第三对接口2112多次弯折后与第二出水通道212的第四对接口2121相连通，使得第二进水通道211与第二出水通道212相互连通。
52.其中，在第二进水通道211的第三对接口2112多次弯折中，第二进水通道211的第三对接口2112沿着第二散热件20的厚度方向进行第一次弯折，然后再沿第二散热件20的宽度方向进行第二次弯折，最后再沿第二散热件20厚度方向进行第三次弯折，并对接第二出水通道212的第四对接口2121，实现第二进水通道211与第二出水通道212的相互连通；本实用新型你并不限制第二进水通道211与第二出水通道212的连通方式，在其他的实时方式中，还可以使得第二进水通道211与第二出水通道212直接贯通第二散热件20，再通过管道将第二进水通道211与第二出水通道212相互连通，只要能够实现第一散热件10与第二散热
件20相互连通即可。
53.需要说明的是，为了能够针对不同的镜片组结构，在本实用新型的一个实施例中，连通结构还包括第一连通件及第二连通件，第一连通件及第二连通件大致呈管状结构，第一连通件为较为长的软管结构，第一连通件的一端连通第一出水通道113的第一出水口1131，另一端对接于第二进水通道211的第二进水口2111，使得冷却水能够经过第一散热件10后进入第二散热件20；第二连通件设置为较为短的软管结构，第二连通件一端连通第一分流口121，另一端对接第二分流口122，使得第一进水通道111、第一回水通道112以及第一出水通道113构成连通的第一散热通道11，从而使得冷却水在流进第一散热件10后流入第二散热件20，并由第二散热件20流出。
54.在另一实施例中，连通结构还包括第一连通件及第二连通件，第一连通件及第二连通件大致呈管状结构，第一连通件与第二连通件均为设置为较为长的软管结构，第一连通件的一端连通第一分流口121，另一端对接于第二进水通道211的第二进水口2111，第二连通件一端连通第二分流口122，另一端对接第二出水通道212的第二出水口2122，从而使得冷却水在流进第一散热件10的第一进水通道111以及第一回水通道112后流入第二散热件20，并由第二散热件20流如第一出水通道113，最后从第一出水通道113的第一出水口1131流出。
55.本实用新型还设有一种光学引擎，该光学引擎包括镜片组以及如上述任意一项所述的散热机构100，且该散热机构100设置于镜片组的侧部，使得镜片组处于合适的温度范围内，从而保证光学镜头的光学性能。
56.以上所述实施方式的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施方式中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
57.本技术领域的普通技术人员应当认识到，以上的实施方式仅是用来说明本实用新型，而并非用作为对本实用新型的限定，只要在本实用新型的实质精神范围内，对以上实施方式所作的适当改变和变化都落在本实用新型要求保护的范围内。