一种光学二维精密调节机构的制作方法

本发明涉及光刻机，具体涉及一种光学二维精密调节机构。

背景技术：

1、自由光瞳照明系统中空间狭小，镜组较多，各个镜组之间的位置精度要求高。当各个透镜组在光路系统中安装完成后，机械加工精度满足不了各个镜组之间的同轴要求，因此需要进行各个镜组之间的同轴调整。

2、关于光学元件的二维平移调整，有如下现有技术：

3、如cn213957707u公开的一种光学调整架二维精密调整装置，包括底部设置有限位固定框的装置本体，且限位固定框前后壁中间下部通过轴承固定安装有前后方向的前后螺纹杆；所述前后螺纹杆中间外部固定安装有左右方向的前后调节块，且前后螺纹杆前后端部均限位套装并通过螺栓固定安装有调节转动钮；所述限位固定框左右两侧壁顶部端面内侧中间均从上向下插入安装有上下方向的限位防脱块，且限位防脱块之间上部通过轴承固定安装有左右方向的左右螺纹杆。此方案能够实现光学件的二维平移调整。但是其前后左右螺纹杆需要四个方位进行调节，同时其螺纹杆占用了中心位置，此方案需要的操作空间较大。

4、如cn212947376u公开的一种透镜平面调整机构，包括透镜、透镜座和壳体，透镜安装在透镜座中，透镜座可移动安装在壳体中，壳体上安装有移动组件和锁定结构；移动组件包括导轨块、定位结构和推动结构，透镜座与导轨块连接，透镜座通过导轨块活动安装在壳体上，推动结构作用于透镜座，定位结构与推动结构配合对透镜座进行平面定位；锁定结构锁定导轨块和壳体。该方案实现了透镜在平面内精确的移动。但其调整方位分别在x、y两个方位调整，这种结构也需要较大的操作空间。

5、由于自由光瞳照明系统光学系统较长，空间较小，只有一个方位可以进行操作，而现有的光学设备之间的位置调整绝大部分都是依靠调整螺杆在x、y两个方向进行调整，这种结构需要的空间比较大，而且操作的空间也比较大，同时两个方向调整时会产生相互影响，可靠性和实用性不高，且在精度较高的照明系统中调整时需要反复调整。

技术实现思路

1、针对光刻机照明系统空间狭小，不能从各方位对光刻机照明系统中光学元件的空间位置进行调节的问题，本技术提供一种光学二维精密调节机构，在狭小的操作空间内实现通过一个操作方位对光学元件等设备进行二维平移调节。

2、本发明提供的技术方案如下：

3、本发明提供一种光学二维精密调节机构，所述光学二维精密调节机构用于在光刻机照明系统中通过一个操作面对待调节光学元件进行二维平移调节，所述光学二维精密调节机构包括：基座、第一方向调节组件和第二方向调节组件；

4、所述第一方向调节组件沿第一方向可往复移动的设置于所述基座上；

5、所述第二方向调节组件套设于所述第一方向调节组件上，并相对于所述第一方向调节组件且沿垂直于所述第一方向的第二方向往复移动；

6、所述第一方向调节组件的操作面和第二方向调节组件的操作面均位于所述基座的同一个操作面上，以基于所述基座的同一个操作面对所述第一方向调节组件和第二方向调节组件进行操作，使得，基于所述基座的同一个操作面对所述第二方向调节组件上设置的待调节光学元件进行第一方向和第二方向的平移调节。

7、进一步优选的，所述基座包括：支撑板、沿所述支撑板一邻接两边设置的固定板和操作板；

8、所述固定板和操作板相互垂直，所述第一方向为垂直于所述固定板的方向，所述第二方向为垂直于所述操作板的方向；

9、所述第一方向调节组件分别与所述支撑板、固定板和操作板适配安装，所述第一方向调节组件相对于所述支撑板沿第一方向往复移动；

10、所述第二方向调节组件套设于所述第一方向调节组件上，所述套设使所述第一方向调节组件沿第一方向往复移动时带动所述第二方向调节组件沿第一方向往复移动，及使所述第二方向调节组件相对于所述第一方向调节组件沿垂直于所述第一方向的第二方向往复移动；

11、所述第一方向调节组件的操作面和所述第二方向调节组件的操作面均位于所述操作板上，使得，基于同一所述操作板对所述第一方向调节组件和第二方向调节组件进行操作。

12、进一步优选的，所述第一方向调节组件包括：第一调节支架、第一弹性部、第一驱动部和第一调节键；

13、所述第一调节支架设置于所述支撑板上；

14、所述第一弹性部、第一驱动部和第一调节键配合所述第一调节支架设置于所述支撑板、固定板、操作板上，所述配合使所述第一调节支架沿第一方向往复移动，其中：

15、所述第一弹性部的一端固定设置于所述固定板上，另一端限位于所述第一调节支架的一侧面；

16、所述第一驱动部与所述第一弹性部相对，位于所述第一调节支架的另一侧面并设置于所述支撑板上；

17、所述第一调节键设置于所述操作板上并与所述第一驱动部连接。

18、进一步优选的，所述第一驱动部包括连杆和凸轮；

19、所述凸轮设置于所述支撑板上，所述凸轮的边缘与所述第一调节支架的侧面接触；

20、所述连杆一端与所述凸轮连接，另一端与所述第一调节键连接；

21、所述第一调节键驱动所述连杆带动所述凸轮朝第一预设方向旋转时，所述凸轮驱动所述第一调节支架朝向所述第一弹性部移动；所述第一调节键驱动所述连杆带动所述凸轮朝第二预设方向旋转时，所述第一弹性部驱动所述第一调节支架朝向所述凸轮移动。

22、进一步优选的，所述第一驱动部还包括限位销，所述限位销相对所述凸轮设置于所述支撑板上，用于对所述凸轮的旋转角度进行限位。

23、进一步优选的，所述第一调节组件还包括用于引导所述第一调节支架沿第一方向往复移动的第一导向销，所述第一导向销固定于所述支撑板上，所述第一调节支架沿第一方向开设有与所述第一导向销匹配的第一导向槽，所述匹配使所述第一导向销在所述第一导向槽内引导所述第一调节支架沿第一方向往复移动，及在除第一方向之外的其他方向上对所述第一调节支架进行限位。

24、进一步优选的，所述第二方向调节组件包括：第二调节支架、第二弹性部和第二驱动部；

25、所述第二调节支架套设于所述第一调节支架上，且所述第二调节支架相对于所述第一调节支架上的所述第一驱动部和第一弹性部的安装位置分别留有相应的空缺位，以使所述第一驱动部和第一弹性部通过相应的空缺位与所述第一调节支架配合安装；

26、所述第二弹性部和第二驱动部配合所述第二调节支架设置，所述配合使所述第二调节支架沿第二方向往复移动，其中：

27、所述第二驱动部为调节螺杆，所述第二调节支架设有与所述调节螺杆匹配的螺纹孔，所述调节螺杆的一端设置于所述操作板上，另一端贯穿所述螺纹孔伸向所述第一调节支架；

28、所述第二弹性部与所述调节螺杆相对，固定设置于所述第二调节支架的侧面上，所述第二弹性部的另一端限位于所述第一调节支架的侧面上；

29、所述调节螺杆朝第一预设方向螺旋运动时，驱动所述第二调节支架朝向所述第二弹性部移动；所述调节螺杆朝第二预设方向螺旋运动时，所述第二弹性部驱动所述第二调节支架朝向所述调节螺杆移动。

30、进一步优选的，所述第二调节组件还包括用于引导所述第二调节支架沿第二方向往复移动的第二导向销，所述第二导向销的一端固定于所述第二调节支架的底部，另一端伸向所述第一调节支架，所述第一调节支架沿第二方向开设有与所述第二导向销匹配的第二导向槽，所述匹配使所述第二导向销伸向所述第二导向槽内引导所述第二调节支架沿第二方向往复移动，及在除第二方向之外的其他方向上对所述第二调节支架进行限位。

31、进一步优选的，所述第二调节支架沿第二方向的横截面呈匚型，所述第一调节支架沿第二方向的横截面呈几字型。

32、进一步优选的，所述第一调节支架的顶部和第二调节支架的顶部分别开设有用于容置待调节光学元件的容置口。

33、依据上述实施例的光学二维精密调节机构，由于将第一方向调节组件的操作面和第二方向调节组件的操作面均设于基座的同一面上，以基于基座的同一面对第一方向调节组件和第二方向调节组件进行操作，使得，基于基座的同一面对第二方向调节组件上设置的待调节光学元件进行第一方向和第二方向的平移调节，以实现在狭小的操作空间内通过一个操作方位对光学元件等设备进行二维平移调节。

34、进一步，通过第一方向调节组件、第二方向调节组件以及基座的结构配合设计，通过导向销不仅可以对第一方向调节组件和第二方向调节组件的移动进行导向，还能对第一方向调节组件和第二方向调节组件的其他移动方向进行限位，使得，在二维调整过程中第一方向调节组件和第二方向调节组件之间不存在干涉现象，调节时耦合较小。

35、进一步，通过一个操作方位对光学元件等设备进行二维平移调节，与现有多个操作方位对光学元件进行调节相比，一个操作方位在调整过程中没有调整间隙，调整精度高，可靠性好，导向性好。