一种镜片多点柔性支撑结构的制作方法

本发明属于光刻物镜，具体涉及一种镜片多点柔性支撑结构。

背景技术：

1、光刻技术作为大规模集成电路的生产制造过程中最关键工艺，是利用激光将掩模图案成像至硅片等基板上的技术。为了更好的满足工业生产需求，光刻技术不断朝着更高分辨率、更大曝光面积、更高产率的方向发展。投影光刻物镜是光刻机的心脏，其性能直接影响光刻机分辨率、套刻精度和产率三大核心指标。镜片的支撑的稳定性与一致性对镜片的面形以及镜片之间的间隙有着直接的影响，而这对最终物镜的成像质量起着决定性作用。在使用过程中，受到环境温度的影响，镜片可能发生热变形，这要求镜片支撑在实际使用过程中需要适应这种不确定的变形，保持镜片受力的均匀性和稳定性。因此，投影光刻物镜的无应力支撑，不仅需要满足便于装调，高一致性，还需要保障实际使用过程中的高稳定性和高适应性。

技术实现思路

1、本发明的目的在于：

2、为解决现有技术中的光刻机投影光刻物镜在镜片使用中容易发生热变形，从而影响光刻机性能的问题，提供一种镜片多点柔性支撑结构。

3、本发明采用的技术方案如下：

4、一种镜片多点柔性支撑结构，包括镜片，所述镜片的外围连接有镜框，所述镜框与镜片的上表面之间连接有多个压块，所述镜框与镜片的下表面之间连接有多组弹性支撑机构，所述弹性支撑机构沿镜片的圆周均匀布置，镜片的下表面上设置有用于安装弹性支撑机构的凸台。

5、进一步地，所述弹性支撑机构包括簧片和顶钉，所述簧片与顶钉之间通过螺纹连接，所述簧片的一端与镜框通过螺钉固定连接，簧片的另一端安装顶钉且伸入镜片下方，所述顶钉与所述镜片的凸台下表面接触安装。

6、进一步地，所述压块沿镜框圆周方向均匀设置有3个，压块与镜片之间设置有间隙。

7、进一步地，所述弹性支撑机构沿镜片圆周方向均匀设置有3n个，其中n＝1,2,3……n。

8、进一步地，所述镜框外部连接有镜筒，所述镜筒通过螺钉与镜框和弹性支撑机构固定连接。

9、综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：

10、本发明的镜片柔性支撑结构采用全弹性支撑结构，能够缓释镜片在实际使用过程中因环境变化而产生的变形；弹性支撑结构的支撑力可调，通过装配和调节，可保障镜片能处于均衡的支撑状态；弹性支撑结构材料通过时效处理，能保障在整个使用过程中支撑力的稳定性；本发明通过调整弹性支撑机构的数量以及簧片的刚度，可适应于各种口径、质量的镜片，以及除投影光刻物镜以外的高精度镜片支撑中，具有普适性。

技术特征：

1.一种镜片多点柔性支撑结构，其特征在于，包括镜片(1)，所述镜片(1)的外围连接有镜框(2)，所述镜框(2)与镜片(1)的上表面之间连接有多个压块(4)，所述镜框(2)与镜片(1)的下表面之间连接有多组弹性支撑机构(5)，所述弹性支撑机构(5)沿镜片(1)的圆周均匀布置，镜片(1)的下表面上设置有用于安装弹性支撑机构(5)的凸台。

2.根据权利要求1所述的一种镜片多点柔性支撑结构，其特征在于，所述弹性支撑机构(5)包括簧片(6)和顶钉(7)，所述簧片(6)与顶钉(7)之间通过螺纹连接，所述簧片(6)的一端与镜框(2)通过螺钉固定连接，簧片(6)的另一端安装顶钉(7)且伸入镜片(1)下方，所述顶钉(7)与所述镜片(1)的凸台下表面接触安装。

3.根据权利要求1所述的一种镜片多点柔性支撑结构，其特征在于，所述压块(4)沿镜框(2)圆周方向均匀设置有3个，压块(4)与镜片(1)之间设置有间隙。

4.根据权利要求1所述的一种镜片多点柔性支撑结构，其特征在于，所述弹性支撑机构(5)沿镜片(1)圆周方向均匀设置有3n个，其中n＝1,2,3……n。

5.根据权利要求1-4任一所述的一种镜片多点柔性支撑结构，其特征在于，所述镜框(2)外部连接有镜筒(3)，所述镜筒(3)通过螺钉与镜框(2)和弹性支撑机构(5)固定连接。

技术总结
本发明公开了一种镜片多点柔性支撑结构，属于光刻物镜技术领域，解决了光刻机投影光刻物镜在镜片使用中容易发生热变形，从而影响光刻机性能的问题，本发明包括镜片，所述镜片的外围连接有镜框，所述镜框与镜片的上表面之间连接有多个压块，所述镜框与镜片的下表面之间连接有多组弹性支撑机构，所述弹性支撑机构沿镜片的圆周均匀布置，镜片的下表面上设置有用于安装弹性支撑机构的凸台。本发明通过多点柔性支撑结构，能够缓释镜片在实际使用过程中因环境变化而产生的变形。

技术研发人员：杨勇,周吉,金川
受保护的技术使用者：四川科奥达技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14