显影方法、太阳电池及其制备方法与流程

本发明涉及显影，特别是涉及一种显影方法、太阳电池及其制备方法。

背景技术：

1、曝光是将设计好的栅线图形通过激光打印在感光胶层上。当感光胶层曝光后，感光胶层曝光的部分，即曝光区会发生交联聚合反应，而感光胶层未曝光的部分，即非曝光区则保持原先的状态。显影是使用显影液去除感光胶层未曝光的部分，而留下感光胶层曝光的部分。因此，显影后的感光胶层具有开槽。

2、目前，当显影后，在感光胶开槽的侧壁通常会出现参差不齐的问题，导致后续在开槽内电镀的栅线出现粗细不均的问题，影响外观。同时，当显影后，在感光胶开槽的底部通常残留有部分感光胶层，即出现残胶的问题，导致后续在开槽内电镀的栅线与种子层之间的结合力较差。

技术实现思路

1、基于此，有必要提供一种显影方法，以解决在感光胶开槽的侧壁出现的参差不齐的问题以及在感光胶开槽的底部存在的残胶的问题。

2、另，还有必要提供一种太阳电池的制备方法。

3、另，还有必要提供一种太阳电池。

4、本发明至少一实施例提供了一种显影方法，包括以下步骤：

5、提供基底，并在所述基底上制备感光胶层，所述感光胶层包括曝光区以及与所述曝光区连接的非曝光区；

6、使用第一显影液对所述感光胶层进行第一显影，以使所述感光胶层具有开槽；以及

7、使用第二显影液对所述第一显影后的所述感光胶层进行第二显影，以去除所述开槽内的残胶；

8、其中，所述第一显影液包括强碱试剂以及第一弱碱试剂，所述第二显影液包括强氧化剂和第二弱碱试剂。

9、在其中一些实施例中，所述显影方法包括以下(1)～(2)中的至少一项：

10、(1)所述强氧化剂包括双氧水；

11、(2)所述第二弱碱试剂包括氨水。

12、在其中一些实施例中，所述显影方法包括以下(3)～(7)中的至少一项：

13、(3)在所述第二显影液中，所述强氧化剂的浓度为5g/l～10g/l；

14、(4)在所述第二显影液中，所述第二弱碱试剂的浓度为10g/l～20g/l；

15、(5)所述第二显影液的温度为25℃～35℃；

16、(6)在所述第二显影的步骤中，将所述第二显影液喷向所述开槽，所述第二显影液的喷射压力0.5bar～2.5bar；

17、(7)所述第二显影液的ph值为8～13。

18、在其中一些实施例中，所述显影方法包括以下(8)～(9)中的至少一项：

19、(8)所述强碱试剂包括氢氧化钠和强氧化钾中的至少一种；

20、(9)所述第一弱碱试剂包括碳酸钠和碳酸氢钠中的至少一种。

21、在其中一些实施例中，所述显影方法包括以下(10)～(14)中的至少一项：

22、(10)在所述第一显影液中，所述强碱试剂的浓度为0.2g/l～1.0g/l；

23、(11)在所述第一显影液中，所述第一弱碱试剂的浓度为10g/l～20g/l；

24、(12)所述第一显影液的温度为25℃～35℃；

25、(13)在所述第一显影的步骤中，将所述第一显影液喷向所述非曝光区，所述第一显影液的喷射压力为0.5bar～2.5bar；

26、(14)所述第一显影液的ph为8～13。

27、在其中一些实施例中，所述第二显影液还包括表面活性剂。

28、在其中一些实施例中，在所述第二显影的步骤后，所述显影方法还包括以下步骤：

29、使用含有钙离子和镁离子的清洗液对所述第二显影后的所述开槽进行清洗；

30、其中，所述清洗液中钙离子的浓度为0.01g/ml～0.05g/ml，所述清洗液中镁离子的浓度为0.01g/ml～0.05g/ml。

31、在其中一些实施例中，所述清洗液的温度为35℃～45℃。

32、本发明至少一实施例提供了一种太阳电池的制备方法，包括以下步骤：

33、提供太阳电池前驱体，所述太阳电池前驱体包括种子层；

34、在所述种子层上制备感光胶层；

35、对所述感光胶层进行部分曝光，以使所述感光胶层包括曝光区以及与所述曝光区连接的非曝光区；

36、使用上述的显影方法对部分曝光后的所述感光胶层进行显影，得到图形化感光胶层，其中，所述图形化感光胶层具有开槽，且部分所述种子层暴露于所述开槽，将暴露于所述开槽的所述种子层定义为第一种子部，并将未暴露于所述开槽的所述种子层定义为第二种子部；

37、在所述第一种子部上电镀，得到第一栅线；以及

38、去除所述图形化感光胶层和所述第二种子部。

39、本发明至少一实施例提供了一种太阳电池，所述太阳电池采用上述的制备方法制备得到。

40、本发明采用两次显影工艺，所述第一显影工艺使用含有强碱试剂以及第一弱碱试剂的所述第一显影液粗略的腐蚀溶解大部分的感光胶层的非曝光区，而留下感光胶层的曝光区，以形成开槽，所述第二显影工艺则使用所述第二显影液，所述第二显影液包括强氧化剂以及第二弱碱试剂，所述强氧化剂能够对所述开槽内需要去除的感光胶层进行氧化，所述第二弱碱试剂能够对氧化后的感光胶层进行溶解去除，即对所述开槽的侧壁进行修饰，避免所述开槽的侧壁出现参差不齐的问题，从而控制所述开槽宽度的均匀性，进而提高后续在所述开槽内电镀得到的栅线均匀性，从而提高外观。同时，所述第二显影工艺还能够去除所述开槽内底部残留的胶层，从而有利于提高后续在所述开槽内电镀的栅线与种子层之间的结合力。

技术特征：

1.一种显影方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.如权利要求1所述的显影方法，其特征在于，所述显影方法包括以下(1)～(2)中的至少一项：

3.如权利要求2所述的显影方法，其特征在于，所述显影方法包括以下(3)～(7)中的至少一项：

4.如权利要求1所述的显影方法，其特征在于，所述显影方法包括以下(8)～(9)中的至少一项：

5.如权利要求4所述的显影方法，其特征在于，所述显影方法包括以下(10)～(14)中的至少一项：

6.如权利要求1至5中任一项所述的显影方法，其特征在于，所述第二显影液还包括表面活性剂。

7.如权利要求1至5中任一项所述的显影方法，其特征在于，在所述第二显影的步骤后，所述显影方法还包括以下步骤：

8.如权利要求7所述的显影方法，其特征在于，所述清洗液的温度为35℃～45℃。

9.一种太阳电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

10.一种太阳电池，其特征在于，所述太阳电池采用如权利要求9所述的制备方法制备得到。

技术总结
本发明提供了一种显影方法，包括以下步骤：提供基底，并在所述基底上制备感光胶层，所述感光胶层包括曝光区以及与所述曝光区连接的非曝光区；使用第一显影液对所述感光胶层进行第一显影，以使所述感光胶层具有开槽；使用第二显影液对所述第一显影后的所述感光胶层进行第二显影，以去除所述开槽内的残胶。其中，所述第一显影液包括强碱试剂以及第一弱碱试剂，所述第二显影液包括强氧化剂和第二弱碱试剂。本发明能够解决在感光胶开槽的侧壁出现的参差不齐的问题以及在感光胶开槽的底部存在的残胶的问题。本发明还提供了一种太阳电池的制备方法以及一种太阳电池。

技术研发人员：薛建锋,廖劼,苏世杰
受保护的技术使用者：通威太阳能（成都）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14