光掩模和使用光掩模制造显示面板的方法与流程

本公开涉及光掩模和使用光掩模制造显示面板的方法。更具体地，本公开涉及能够增加曝光图案的分辨率的光掩模和使用光掩模制造显示面板的方法。

背景技术：

1、诸如电视、移动电话、平板计算机、计算机、导航装置和游戏装置的多媒体装置包括显示图像的显示面板。显示面板包括生成图像的像素，并且像素中的每一个包括发射光的发光元件和连接到发光元件的电路元件。

技术实现思路

1、近年来，对具有高分辨率的显示面板的需求正在增加。因此，具有高分辨率的显示面板中的图案也变得更精细，并且期望研究来改善用于制造显示面板的光掩模的曝光分辨率和曝光可靠性。

2、本公开提供了能够增加曝光图案的分辨率和曝光可靠性的光掩模。

3、本公开提供了使用光掩模制造显示面板的方法，该方法能够增加绝缘层中的接触孔的分辨率并且形成具有改善的可靠性的接触孔。

4、本发明的实施方式提供了光掩模，该光掩模包括第一透光部分、第二透光部分和遮光部分，第一透光部分包括在第一方向上彼此间隔开的第一主图案和第二主图案，第二透光部分具有比第一透光部分的透光率低的透光率并且包括布置在第一主图案与第二主图案之间并且在与第一方向交叉的第二方向上延伸的第一辅助图案、在第一方向上隔着第一主图案与第一辅助图案间隔开并且围绕第一主图案的第二辅助图案以及在第一方向上隔着第二主图案与第一辅助图案间隔开并且围绕第二主图案的第三辅助图案，遮光部分围绕第一透光部分和第二透光部分。在这种实施方式中，第一辅助图案、第一主图案和第二辅助图案满足下式：l≥h+s，其中，l表示第一辅助图案在第二方向上的长度，h表示第一主图案在第一方向和第二方向中的一个方向上的最大宽度，并且s表示第一主图案与第二辅助图案之间在第一方向上的分离距离。

5、在实施方式中，第二辅助图案可包括在第一方向上延伸的第一子图案、在第一方向上延伸并且在第二方向上隔着第一主图案与第一子图案间隔开的第二子图案以及在第二方向上延伸的第三子图案。在这种实施方式中，第三辅助图案可包括在第一方向上延伸的第四子图案、在第一方向上延伸并且在第二方向上隔着第二主图案与第四子图案间隔开的第五子图案以及在第二方向上延伸并且在第一方向上隔着第二主图案与第一辅助图案间隔开的第六子图案。

6、在实施方式中，第一子图案、第二子图案和第三子图案可彼此一体地形成为单一且不可分割的部分，或者彼此间隔开。

7、在实施方式中，第二辅助图案还可包括在第一方向的倾斜方向上从第一子图案的一端延伸到第三子图案的一端的第一附加子图案以及在与倾斜方向交叉的方向上从第二子图案的一端延伸到第三子图案的另一端的第二附加子图案。

8、在实施方式中，第一辅助图案可具有矩形形状。

9、在实施方式中，光掩模还可包括第三主图案、第一附加辅助图案和第二附加辅助图案，第三主图案在第二方向上与第一辅助图案间隔开，第一附加辅助图案在第一方向上延伸、布置在第一辅助图案与第三主图案之间并且与第一辅助图案、第二辅助图案和第三辅助图案间隔开，第二附加辅助图案在第二方向上隔着第三主图案与第一附加辅助图案间隔开并且围绕第三主图案。

10、在实施方式中，第二附加辅助图案包括在第二方向上延伸的第七子图案、在第二方向上延伸并且在第一方向上隔着第三主图案与第七子图案间隔开的第八子图案以及在第一方向上延伸的第九子图案。

11、在实施方式中，第七子图案、第八子图案和第九子图案可彼此一体地形成为单一且不可分割的部分，或者可彼此间隔开。

12、在实施方式中，第二附加辅助图案还可包括在第一方向的倾斜方向上从第七子图案的一端延伸到第九子图案的一端的第五附加子图案以及在与倾斜方向交叉的方向上从第八子图案的一端延伸到第九子图案的另一端的第六附加子图案。

13、在实施方式中，光掩模还可包括第三主图案、第四主图案、第一附加辅助图案、第二附加辅助图案、第三附加辅助图案、第四附加辅助图案和第五附加辅助图案，第三主图案在第二方向上与第一主图案间隔开，第四主图案在第二方向上与第二主图案间隔开，第一附加辅助图案在第一方向上延伸、布置在第一主图案与第三主图案之间并且与第一辅助图案、第二辅助图案和第三辅助图案间隔开，第二附加辅助图案在第一方向上延伸、布置在第二主图案与第四主图案之间并且与第一辅助图案、第二辅助图案和第三辅助图案间隔开，第三附加辅助图案在第二方向上延伸并且布置在第三主图案与第四主图案之间，第四附加辅助图案在第二方向上隔着第三主图案与第一附加辅助图案间隔开并且围绕第三主图案，第五附加辅助图案在第二方向上隔着第四主图案与第二附加辅助图案间隔开并且围绕第四主图案。

14、在实施方式中，第二辅助图案可包括第一子图案和第二子图案，第一子图案在第一方向上延伸并且在第二方向上隔着第一主图案与第一附加辅助图案间隔开，第二子图案在第二方向上延伸。在这种实施方式中，第四附加辅助图案可包括在第一方向上延伸并且在第二方向上隔着第三主图案与第一附加辅助图案间隔开的第五子图案和在第二方向上延伸的第六子图案。

15、在实施方式中，第一子图案和第二子图案可彼此一体地形成为单一且不可分割的部分，并且第五子图案和第六子图案可彼此一体地形成为单一且不可分割的部分。

16、在实施方式中，第一子图案和第二子图案可彼此间隔开，并且第五子图案和第六子图案可彼此间隔开。

17、在实施方式中，第四附加辅助图案还可包括在第一方向的倾斜方向上从第五子图案的一端延伸到第六子图案的一端的第三附加子图案，并且第二辅助图案还可包括在与倾斜方向交叉的方向上从第一子图案的一端延伸到第二子图案的一端的第一附加子图案。

18、在实施方式中，第一辅助图案与第一附加辅助图案、第二附加辅助图案和第三附加辅助图案可彼此间隔开。

19、在实施方式中，第一辅助图案和第三附加辅助图案彼此一体地形成为单一且不可分割的部分，或者第一附加辅助图案和第二附加辅助图案彼此一体地形成为单一且不可分割的部分。

20、在实施方式中，第一主图案和第二主图案中的每一个可具有四边形形状或八边形形状。

21、在实施方式中，光掩模还可包括透明基础衬底、透光层和阻光层，透光层具有比透明基础衬底的透光率低的透光率并且布置在透明基础衬底上，其中通过透光层限定有第一主开口和第二主开口，阻光层布置在透光层上，其中通过阻光层限定有与第一主开口对应的第三主开口、与第二主开口对应的第四主开口以及第一辅助开口、第二辅助开口和第三辅助开口。在这种实施方式中，透明基础衬底的通过第一主开口和第三主开口暴露的部分可对应于第一主图案，透明基础衬底的通过第二主开口和第四主开口暴露的部分可对应于第二主图案，透光层的通过第一辅助开口暴露的部分可对应于第一辅助图案，透光层的通过第二辅助开口暴露的部分可对应于第二辅助图案，并且透光层的通过第三辅助开口暴露的部分可对应于第三辅助图案。

22、在实施方式中，透光层可包括选自mo、si和cr中的至少一种。

23、在实施方式中，第二透光部分可具有等于或大于约3％且等于或小于约60％的透光率。

24、在实施方式中，穿过第二透光部分的光的相位可改变约100度或更大且约300度或更小。

25、在实施方式中，第一主图案和第二主图案以及第二辅助图案满足下式：2s≤w≤h+2(s+p)，其中w表示第一主图案与第二主图案之间的分离距离，并且p表示第二辅助图案在第一方向上的最小宽度。

26、在实施方式中，第一辅助图案和第二辅助图案满足下式：d1≥0.5s，其中d1表示第一辅助图案与第二辅助图案之间的分离距离，并且第一辅助图案和第三辅助图案满足下式：d2≥0.5s，其中d2表示第一辅助图案与第三辅助图案之间的分离距离。

27、本发明的实施方式提供了光掩模，该光掩模包括基础衬底、下层和上层，下层布置在基础衬底上，其中通过下层限定有在第一方向上彼此间隔开的第一主开口和第二主开口，上层布置在下层上，其中通过上层限定有第三主开口、第四主开口、第一辅助开口、第二辅助开口和第三辅助开口，第三主开口与第一主开口对应，第四主开口与第二主开口对应，当在平面图中观察时，第一辅助开口布置在第三主开口与第四主开口之间并且在与第一方向交叉的第二方向上延伸，第二辅助开口在第一方向上隔着第三主开口与第一辅助开口间隔开并且围绕第三主开口，第三辅助开口在第一方向上隔着第四主开口与第一辅助开口间隔开并且围绕第四主开口。在这种实施方式中，第一辅助开口、第三主开口和第二辅助开口满足下式：l≥h+s，其中，l表示第一辅助开口在第二方向上的长度，h表示第三主开口在第一方向和第二方向中的一个方向上的最大宽度，并且s表示第三主开口与第二辅助开口之间在第一方向上的分离距离。

28、在实施方式中，下层可具有比基础衬底的透光率低的透光率，并且穿过下层的光的相位可改变。

29、本发明的实施方式提供了显示面板的制造方法。在这种实施方式中，制造方法包括：制备预备显示面板，预备显示面板包括基础层、布置在基础层上的导电图案、布置在导电图案上的至少一个绝缘层以及布置在至少一个绝缘层上的抗蚀剂层；将光掩模放置在预备显示面板上，其中光掩模包括第一透光部分、第二透光部分和遮光部分，第一透光部分包括在第一方向上彼此间隔开的第一主图案和第二主图案，第二透光部分与第一透光部分间隔开并且具有比第一透光部分的透光率低的透光率，遮光部分围绕第一透光部分和第二透光部分；将光辐射到光掩模以将抗蚀剂层图案化，使得通过抗蚀剂层形成与第一主图案和第二主图案分别对应的第一曝光开口和第二曝光开口；以及将至少一个绝缘层图案化以通过至少一个绝缘层形成与第一曝光开口和第二曝光开口分别对应的第一接触孔和第二接触孔。在这种实施方式中，光掩模的第二透光部分包括第一辅助图案、第二辅助图案和第三辅助图案，第一辅助图案布置在第一主图案与第二主图案之间并且在与第一方向交叉的第二方向上延伸，第二辅助图案在第一方向上隔着第一主图案与第一辅助图案间隔开，第三辅助图案在第一方向上隔着第二主图案与第一辅助图案间隔开。在这种实施方式中，第一辅助图案、第一主图案和第二辅助图案满足下式：l≥h+s，其中，l表示第一辅助图案在第二方向上的长度，h表示第一主图案在第一方向和第二方向中的一个方向上的最大宽度，并且s表示第一主图案与第二辅助图案之间在第一方向上的分离距离。

30、根据本发明的实施方式，如本文中所述，因为具有预定形状和布置的辅助图案应用于与其相邻的曝光图案，所以曝光图案的分辨率增加，并且改善了光掩模的曝光可靠性。

31、根据本发明的实施方式，如本文中所述，因为在显示面板的制造中使用了包括具有增加的分辨率的曝光图案并且利用与其相邻的辅助图案而具有改善的曝光可靠性的光掩模，所以接触孔的分辨率增加，并且改善了接触孔的可靠性。因此，改善了显示面板的制造方法的工艺可靠性和工艺效率。