一种获取目标光源光斑分布方法与流程

【】本发明涉及计算光刻，具体涉及一种获取目标光源光斑分布方法。

背景技术

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背景技术：

1、光源光点检测作为光刻流程中步骤，主要应用于芯片、平板显示器等微电子制造行业。随着光刻工艺的不断发展，新目标节点的不断逼近，目标光斑位置是否准确成了决定光刻精度的关键因素之一。目前比较常见的检测光斑中心的算法有灰度质心法、圆拟合法、hough变换法以及多种改进算法等。

2、如果光斑光强分布均匀，使用恰当的算法可以使光斑定位精度达到亚像素级别，但是在一些实际应用中，光源存在散斑，非对称，光强不均等多种情况，很难快速得到目标光源光强分布的相关信息。特别是对于复杂的光源，传统算法得到的最大光点时常是噪点，导致光源信息传递不准确，同时不规则的光斑信息很难快速确认，需要工程师对此二次确认，准确度低，为此，本发明提供一种获取目标光源光斑分布方法。

技术实现思路

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技术实现要素：

1、为解决现有技术中难以准确的对光斑进行定位的技术问题，本发明提供一种获取目标光源光斑分布方法。本发明解决技术问题的方案是提供一种获取目标光源光斑分布方法，包括以下步骤：

2、提供一带有光源信息的文件，并从中获取完整的光源数据；

3、根据获取的所述光源数据得到光源实际搜寻步长step；

4、对所述光源数据进行预处理以筛选出光斑；

5、从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光斑的初始光强收敛坐标(sx,sy)以及平均光强lavg；

6、预设阈值l1，从初始光强收敛坐标(sx,sy)中输出平均光强lavg大于该阈值l1的光斑的目标光强收敛坐标(s′x,s′y)。

7、优选的，所述光源数据包括至少一光源的坐标像素点n、光源坐标(x,y)、光源强度lxy以及光斑面积。

8、优选的，在获取所述光源强度lxy后，还包括对所述光源强度lxy进行归一化得到归一化后光源强度l′xy。

9、优选的，所述根据获取的所述光源数据得到光源实际搜寻步长step具体包括：

10、选取一最小的光斑面积预设一初始搜寻步长ds；

11、根据该光斑的坐标像素点n，以及从该光斑中提取出光源的最大坐标(xmax，ymax)以及最小坐标(xmin，ymin)，计算出该光源的实际搜索步长step。

12、优选的，所述对所述光源数据进行预处理以剔除背景噪点具体为：

13、针对其中一光源的光源坐标(x1,y1)界定一预设范围，获取该光源坐标(x1,y1)预设范围内的光强；

14、若该光源坐标(x1,y1)预设范围内的光强不能收敛至该预设范围内一光源坐标(x2,y2)处，则将该光源作为噪点剔除。

15、优选的，若该光源坐标(x1,y1)预设范围内的光强可以收敛至该预设范围内的一光源坐标(x2,y2)处，则判断为光斑，并通过计算获得计算光强i(x,y)。

16、优选的，对所述光源数据进行预处理后还包括对计算光强进行归一化处理得到归一化光强lx,y。

17、优选的，所述从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光源光斑的初始光强收敛坐标(sx,sy)以及平均光强lavg具体包括：

18、获取光源的sym特性，并根据光源的sym特性将光源划分成若干相同的集群；

19、选择至少一存在光斑的集群进行分析，获取计算光强大于0的光斑的集合l；计算光斑的初始光强收敛点(sx，sy)以及该集合l的平均光强lavg。

20、优选的，所述选择一存在光斑的集群进行分析具体为：

21、对划分后的集群选择任一集群判定是否存在光斑；

22、若未存在光斑，则顺时针或者逆时针选择该集群相邻的集群进行判定是否存在光斑；直到获取到含有光斑信息的集群。

23、优选的，设置一阈值l1，若lavg＞l1时，则输出目标光强收敛坐标(s′x,s′y)；否之则循环到从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光源光斑的初始光强收敛坐标(sx,sy)以及平均光强lavg位置。

24、与现有技术相比，本发明提供的一种获取目标光源光斑分布方法具有以下优点：

25、1、本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，包括以下步骤提供一带有光源信息的文件，并从中获取完整的光源数据；根据获取的所述光源数据得到光源实际搜寻步长step；对所述光源数据进行预处理以筛选出光斑；从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光斑的初始光强收敛坐标(sx,sy)以及平均光强lavg；预设阈值l1，从初始光强收敛坐标(sx,sy)中输出平均光强lavg大于该阈值l1的光斑的目标光强收敛坐标(s′x,s′y)，通过这样的设计，对于情况复杂的实际图像，包括噪声、变形、部分区域残缺等有很好的适应性和抗干扰能力，对于不均匀的光源也可以快速计算得到最佳分布矢量结果信息，且不占用内存，极大提高了对光斑亮度不均匀的光源、散点光源、以及边缘不规则光源的光源等诸多实用光源的支持性。

26、2、本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，在获取所述光源强度lxy后，还包括以下步骤：对所述光源强度lxy进行归一化得到归一化后光源强度l′xy；并判断所述光源数据是否完整，若光源数据不完整，则对缺失的光源数据进行提示以及补充；通过对光源强度归一化处理，方便将所有的光源强度固定在一个范围内，便于后期计算。

27、3、本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，所述根据获取的所述光源数据得到光源实际搜寻步长step具体包括：选取一最小的光源面积预设一初始搜寻步长ds，根据该光源的坐标像素点n，以及从该光源坐标(x,y)中提取出光源的最大坐标(xmax，ymax)以及最小坐标(xmin，ymin)，计算出该光源的实际搜索步长step。通过光斑面积的大小设置初始搜寻步长ds，便于调整光源信息的搜索精度，有利于在保证寻找到有效光斑的情况下，减少搜寻时间和计算资源。

28、4.本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，所述对所述光源数据进行预处理以剔除背景噪点具体为：针对其中一光源的光源坐标(x1,y1)界定一预设范围，获取该光源坐标(x1,y1)预设范围内的光强；若该光源坐标(x1,y1)预设范围内的光强不能收敛至该预设范围内一光源坐标(x2,y2)处，则将该光源作为噪点剔除；本发明利用了光斑信息为范围信息而背景噪点为点信息的不同将背景噪点剔除，避免了背景噪点对计算结果的干扰，确保了最终得出目标光强收敛坐标的准确性。通过该预处理步骤，还可以避免后续无效的计算，从而极大的提高的运行该方法的效率。

29、5.本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，对所述光源数据进行预处理后还包括对计算光强进行归一化处理得到归一化光强lx,y，在预处理将噪点分离出去后，再通过一次归一化处理，光源归一化处理仅需要较少的运算资源，可以消除噪点对成像结果的影响，提高成像的准确性和可靠性。

30、6.本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，所述从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光源光斑的初始光强收敛坐标(sx,sy)以及平均光强lavg具体包括：获取光源的sym特性，并根据光源的sym特性将光源划分成若干相同的集群；选择至少一存在光斑的集群进行分析，获取计算光强大于0的光斑的集合l；获取光斑的初始光强收敛点(sx，sy)以及该集合l的平均光强lavg，相比于全光源范围内搜索得到光斑集群信息，本实施体提供的技术方案利用了光源的对称性，可以优化光学检测或成像过程中的光斑搜索和处理，提高处理效率和精度，减少计算量，还可以避免遇到光斑不均匀无法处理以及相邻光斑过于接近被误识为一个光斑的风险。

31、7.本发明实施例中提供的一种获取目标光源光斑分布方法，包括设置一阈值l1,若lavg＞l1时，则输出目标光强收敛坐标(s′x,s′y)；否之则循环到从预处理后的光源数据中获取光斑集群信息，并计算得出光源光斑的初始光强收敛坐标(sx,sy)以及平均光强lavg位置，通过设置阈值，便于使用人员根据需要获取不同的光源强度的光斑的光强收敛坐标，在实际使用中，该方法可以快速的输出目标光强收敛坐标。