光刻机精密运动平台的制作方法

本发明涉及光刻机，具体涉及光刻机精密运动平台。

背景技术：

1、精密运动平台是精密机械中的关键部件之一，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、ic封装设备、纳米表面形貌测量等领域提供一个能够实现精密定位和精确运动的载物平台，应用较多的要数在先进的电子制造设备，比如光刻机贴片机等，高性能的运动平台是其工作的主要机构。

2、现有的光刻机精密运动平台结构包括多种设计方案：一种是采用传统机械定位方式，即刚性接触支撑和旋转电机+滚珠丝杠驱动方式定位，这种定位方式存在着很大的弊端，不仅产生摩擦使定位不精准，并且在摩擦过程中产生金属粉尘影响产品质量，而且驱动件因质量较大使得惯性较大，进一步影响了设备的定位精度，另一种采用气浮定位方式，虽然消除了摩擦，但是结构体系庞大且复杂支撑刚度小，承载能力和抗冲击能力降低，进而影响定位精度，并且现有的光刻机精密运动平台仅有一个或者两个运动平台，在工作过程中由于运动平台较少，且运动平台上料与下料都使用同一机构，使得设备上料或下料时需要等候，使得设备工作效率较低。

技术实现思路

1、针对现有技术所存在的上述缺点，本发明提供了光刻机精密运动平台，能够有效解决现有技术运动平台定位精度低和工作效率低的问题。

2、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：

3、本发明提供光刻机精密运动平台，包括底座、固定连接在底座上的环形磁轨，所述环形磁轨的两侧固定连接有环形导轨，所述底座的顶部固定连接有支架和立板，还包括：

4、磁悬浮运动组件，用于对运动平台进行精准定位，并承载平台运动，所述磁悬浮运动组件的数量为四个，包括悬浮于环形磁轨上的托架，所述托架的内壁固定连接有铁叠片组，所述铁叠片组的两侧固定连接有线圈一，所述托架的顶部固定连接有磁悬浮导轨，所述托架的顶部固定连接有直线电机初级，两个所述磁悬浮导轨之间悬浮有支撑板，所述支撑板的底部固定连接有直线电机次级，所述支撑板的底部固定连接有线圈二；

5、磁悬浮辅助组件，用于对运动平台的悬浮高度进行辅助调节，并对运动平台进行主动隔振；

6、上料组件，用于对运动平台单独进行自动上料；

7、下料组件，用于对运动平台单独进行自动下料。

8、进一步地，所述悬浮运动组件还包括托架顶部固定连接有定子，四个所述定子的外壁固定连接有电磁绕组，所述电磁绕组顶部设置有永磁体，四个所述永磁体顶部固定连接有载板，所述载板顶部固定连接有真空吸盘和激光反射镜，所述托架的顶部固定连接有位移监测器，所述位移监测器位于载板的正中间。

9、进一步地，所述磁悬浮辅助组件包括挡板，所述挡板的外壁套接有弹簧一，四个所述弹簧一的另一端与载板的外壁固定连接，所述磁悬浮导轨的内壁固定连接有磁条，所述载板的两端均固定连接有磁块，每两个所述磁块分别与磁条对应，所述托架的顶部与载板的底部均固定连接有磁条。

10、进一步地，所述托架的底部固定连接有双轮万向轮，所述双轮万向轮的数量为四个，所述托架的底部固定连接有转向传感器。

11、进一步地，所述支架的一侧固定连接有晶圆盒，所述晶圆盒的内壁固定连接有限位板，所述限位板的数量为四个，所述晶圆盒的底部铰接有转夹，四个所述转夹的外壁均铰接有铰接板，其中一个所述铰接板的一侧固定连接有拨杆，所述晶圆盒的底部固定连接有拉板，所述拨杆与拉板之间固定连接有弹簧二，所述磁悬浮导轨的顶部固定连接有弹性杆。

12、进一步地，两个所述立板之间固定连接有滚轴，所述滚轴的外壁固定连接有波纹轮，所述滚轴的内壁固定连接有发条弹簧，所述发条弹簧的一端与波纹轮的内壁固定连接，所述滚轴的顶部固定连接有锥齿轮一，其中一个所述立板的内壁固定连接有转轴，所述转轴的底部固定连接有锥齿轮二，所述转轴的顶部固定连接有真空吸板，所述锥齿轮一的齿牙与锥齿轮二的齿牙相互啮合，所述托架的一侧固定连接有划杆，所述划杆的顶部与波纹轮内壁开设的槽对应。

13、本发明提供的技术方案，与已知的现有技术相比，具有如下有益效果：

14、本发明设置了磁悬浮运动组件，通过把磁悬浮技术和移动电刷无接触驱动技术有机地结合到一起使得设备的精密运动平台的精度更高，并且由于是磁悬浮无接触的运动方式，由于没有摩擦使得设备的精度更高，并且通过上述技术使设备的体积更加小巧，使其惯性更小抗冲击能力更强，从而进步提高了定位精度，通过独立运动单元模块化与环形磁轨的配合，可以实现同一平台多个精密平台同时运行，并且通过分开设置的上料组件和下料组件，实现设备上料和下料可以同时独立运行，减少了等待的时间，从而提高了设备的工作效率。

技术特征：

1.光刻机精密运动平台，包括底座（1）、固定连接在底座（1）上的环形磁轨（2），所述环形磁轨（2）的两侧固定连接有环形导轨（3），所述底座（1）的顶部固定连接有支架（4）和立板（5），其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的光刻机精密运动平台，其特征在于，所述悬浮运动组件还包括托架（6）顶部固定连接有定子（14），四个所述定子（14）的外壁固定连接有电磁绕组（15），所述电磁绕组（15）顶部设置有永磁体（16），四个所述永磁体（16）顶部固定连接有载板（17），所述载板（17）顶部固定连接有真空吸盘（18）和激光反射镜（19），所述托架（6）的顶部固定连接有位移监测器（20），所述位移监测器（20）位于载板（17）的正中间。

3.根据权利要求1所述的光刻机精密运动平台，其特征在于，所述磁悬浮辅助组件包括挡板（21），所述挡板（21）的外壁套接有弹簧一（22），四个所述弹簧一（22）的另一端与载板（17）的外壁固定连接，所述磁悬浮导轨（9）的内壁固定连接有磁条（23），所述载板（17）的两端均固定连接有磁块（24），每两个所述磁块（24）分别与磁条（23）对应，所述托架（6）的顶部与载板（17）的底部均固定连接有磁条（23）。

4.根据权利要求1所述的光刻机精密运动平台，其特征在于，所述托架（6）的底部固定连接有双轮万向轮（25），所述双轮万向轮（25）的数量为四个，所述托架（6）的底部固定连接有转向传感器（26）。

5.根据权利要求1所述的光刻机精密运动平台，其特征在于，所述支架（4）的一侧固定连接有晶圆盒（27），所述晶圆盒（27）的内壁固定连接有限位板（28），所述限位板（28）的数量为四个，所述晶圆盒（27）的底部铰接有转夹（29），四个所述转夹（29）的外壁均铰接有铰接板（30），其中一个所述铰接板（30）的一侧固定连接有拨杆（31），所述晶圆盒（27）的底部固定连接有拉板（32），所述拨杆（31）与拉板（32）之间固定连接有弹簧二（33），所述磁悬浮导轨（9）的顶部固定连接有弹性杆（34）。

6.根据权利要求1所述的光刻机精密运动平台，其特征在于，两个所述立板（5）之间固定连接有滚轴（35），所述滚轴（35）的外壁固定连接有波纹轮（36），所述滚轴（35）的内壁固定连接有发条弹簧（37），所述发条弹簧（37）的一端与波纹轮（36）的内壁固定连接，所述滚轴（35）的顶部固定连接有锥齿轮一（38），其中一个所述立板（5）的内壁固定连接有转轴（39），所述转轴（39）的底部固定连接有锥齿轮二（40），所述转轴（39）的顶部固定连接有真空吸板（41），所述锥齿轮一（38）的齿牙与锥齿轮二（40）的齿牙相互啮合，所述托架（6）的一侧固定连接有划杆（42），所述划杆（42）的顶部与波纹轮（36）内壁开设的槽对应。

技术总结
本发明涉及光刻机技术领域，具体涉及光刻机精密运动平台，磁悬浮运动组件，用于对运动平台进行精准定位，并承载平台运动，本发明设置了磁悬浮运动组件，通过把磁悬浮技术和移动电刷无接触驱动技术有机地结合到一起使得设备的精密运动平台的精度更高，并且由于是磁悬浮无接触的运动方式，由于没有摩擦使得设备的精度更加高，并且通过上述技术使设备的体积更加小巧，使其惯性更小抗冲击能力更强，从而进步提高了定位精度，通过独立运动单元模块化与环形磁轨的配合，可以实现同一平台多个精密平台同时运行，并且通过分开设置的上料组件和下料组件，实现设备上料和下料可以同时独立运行，减少了等待的时间，从而提高了设备的工作效率。

技术研发人员：吴瑞笑,林世超,靳亚超,尹韶云,傅舰艇
受保护的技术使用者：浙江中特微电子有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15