一种中倍显微镜物镜

本发明属于光学，具体涉及一种中倍显微镜物镜。

背景技术：

1、随着近年来半导体行业的高速发展，对其微纳结构的检测精度越来越高。通过提高显微镜的探测精度从而达到观测要求。一般而言，由于用于工业探测需要长的工作距离，这会导致镜头结构设计变得更加复杂，像差矫正困难，镜片数量增加，增加加工难度和加工成本。

2、中国专利文献cn114326071a公开了一种显微镜物镜，具有中倍率、大数值孔径物镜，但是工作距离短，镜片数目多。

3、中国专利文献cn108957718a公开了一种显微镜物镜，具有中倍率物镜，但是工作距离短，镜片数量多且未良好矫正像差。

技术实现思路

1、为克服现有技术的缺陷，本发明提供一种中倍显微镜物镜，具有干涉结构，能够保证具备长工作距离、良好矫正像差、较少镜片数目且加工简单的特点，以解决长工作距离下，镜片数目多且加工成本高的问题。

2、为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

3、一种中倍显微镜物镜，包括负折射力的第一透镜组、正折射力的第二透镜组、正折射力的第三透镜组和具有分光作用的第四透镜组；所述正折射力的第二透镜组设于负折射力的第一透镜组和正折射力的第三透镜组之间；所述正折射力的第三透镜组设于正折射力的第二透镜组和具有分光作用的第四透镜组之间；所述负折射力的第一透镜组包括负折射力的第一透镜和正折射力的第二透镜，所述正折射力的第二透镜与负折射力的第一透镜胶合。

4、进一步地，所述正折射力的第二透镜组包括第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜，所述第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜依次设置。

5、进一步地，所述正折射力的第三透镜组包括第七透镜、第八透镜，所述第七透镜、第八透镜依次设置。

6、进一步地，所述具有分光作用的第四透镜组包括第九玻璃平板、第十分光平板；所述第九参考平板、第十分光平板依次设置。

7、进一步地，所述负折射力的第一透镜组、正折射力的第二透镜和正折射力的第三透镜组满足的条件为1＜|f/na/do|＜5，f为该显微镜物镜的焦点距离；na为该显微镜物镜的物方数值孔径；d0为从物体面到所述显微镜物镜最靠近物体的透镜面的光轴上的距离。

8、进一步地，所述第二透镜具有正屈光力，所述第三透镜具有正屈光力，所述第四透镜具有负屈光力，所述第五透镜具有负屈光力，所述第六透镜具有正屈光力，所述第七透镜具有正屈光力，所述第八透镜具有正屈光力。

9、进一步地，所述负折射力的第一透镜组、正折射力的第二透镜组和正折射力第三透镜组满足的条件为45<f1/f<60；5<f2/f<10，0.5<f3/f<2，f1为第一透镜组的焦点距离，f2为第二透镜组的焦点距离，f3为第三透镜组的焦点距离，f为该显微镜物镜的焦点距离。

10、进一步地，所述负折射力的第一透镜组还满足的条件为-0.02<f11/f1<-0.01；0.02<f12/f1<0.025；f11为第一透镜的焦点距离，f12为第二透镜的焦点距离，f1为第一透镜组的焦点距离。

11、进一步地，所述正折射力的第二透镜组还满足的条件为0.12<f21/f2<0.21；-0.25<f22/f2<-0.1；-0.25<f23/f2<-0.1；0.1<f24/f2<0.25；f21为第三透镜的焦点距离，f22为第四透镜的焦点距离，f23为第五透镜的焦点距离，f24为第六透镜的焦点距离，f2为第二透镜组的焦点距离。

12、进一步地，所述正折射力的第三透镜组还满足的条件为1.45<f31/f1<-1.65；2<f32/f3<4；f331为第七透镜的焦点距离，f32为第八透镜的焦点距离，f3为第三透镜组的焦点距离。

13、进一步地，所述第四透镜组为两块玻璃平板，焦距无限远，第九参考平板中心镀全反射膜，直径1mm，第十分光平板镀半透半反膜。

14、进一步地，所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九参考平板、第十分光平板满足的条件为1.48<n11<1.61；1.60<n12<1.70；1.48<n21<1.61；1.59<n22<1.71；1.54<n23<1.67；1.40<n24<1.50；1.40<n31<1.50；1.65<n32<1.8；1.5<n42<1.6；1.5<n42<1.6；n11为第一透镜的折射率，n12为第二透镜的折射率，n21为第三透镜的折射率，n22为第四透镜的折射率，n23为第五透镜的折射率，n24为第六透镜的折射率，n31为第七透镜的折射率，n32为第八透镜的折射率,n41为第九参考平板折射率，n42为第十分光平板折射率。

15、进一步地，所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九参考平板、第十分光平板满足的条件为v11≤60，v12≤40，v21≤75，v22≤40，v23≤40，v24≤95，v31≤95，v32≤60；v41≤70，v42≤70；v11为第一透镜的阿贝数，v12为第二透镜的阿贝数，v21为第三透镜的阿贝数，v22为第四透镜的阿贝数，v23为第五透镜的阿贝数，v24为第六透镜的阿贝数，v31为第七透镜的阿贝数，v32为第八透镜的阿贝数，v41为第九参考平板的阿贝数，v42为第十分光平板的阿贝数。

16、进一步地，所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九参考平板、第十分光平板满足的条件为0.4＜t11/t1＜0.6，0.4＜t12/t1＜0.6，0.45＜t21/t22＜0.57，0.1＜t22/t2＜0.17，0.1＜t23/t22＜0.17，0.45＜t24/t2＜0.65，0.5＜t31/t3＜0.7，0.15＜t32/t3＜0.35；0.2＜t41/t4＜0.4，0.2＜t42/t42＜0.4；t11为第一透镜在光轴上的长度，t12为第一透镜在光轴上的长度，t21为第三透镜在光轴上的长度，t22为第三透镜在光轴上的长度，t23为第三透镜在光轴上的长度，t24为第三透镜在光轴上的长度，t31为第三透镜在光轴上的长度，t31为第三透镜在光轴上的长度，t41为第九参考平板在光轴上的长度，t42为第十分光平板在光轴上的长度。

17、有益效果：

18、1、本发明对第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组进行设置，是第一透镜组具有负屈光力，第二透镜组具有正屈光力，第三透镜组正屈光力，第四透镜组具有分光作用，并通过对十片镜片进行设计，使得显微镜物镜具有20倍放大倍率，0.4的数值孔径，长工作距离，高分辨率性能，小色差，镜片数量少，光学系统长度短等特点；

19、2、对第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组的焦点距离、折射率、阿贝数以及厚度进行限定、使得显微镜物镜的场曲、畸变、像差敏感度得到进一步的改善，从而保证显微镜物镜的光学性能，使得该显微镜物镜具有长工作距离、良好的像差矫正，减少镜片数目且降低了加工难度与加工成本。