一种高精度反射镜粘接的装调装置及方法与流程

本发明涉及平面反射镜安装，尤其涉及一种高精度反射镜粘接的装调装置及方法。

背景技术：

1、光学系统中通常由多个平面反射镜、平面分光镜及平面快反镜、主次镜、透镜组成。平面反射镜作为重要部件在光学系统中占有很大比例。影响光学系统成像质量的因素之一就是平面反射镜在粘接于镜座之后发生形变，导致的面形变差。因此关于平面反射镜与镜座的连接关系研究是十分必要的。

2、目前常用于平面反射镜粘接方法主要有两种。

3、一种是将平面反射镜镜座与平面反射镜接触面涂满光学环氧胶，然后将平面反射镜置于镜座内，通过平面反射镜自身重力下沉与镜座接触面接触，再放置于一定环境内，等待光学环氧胶固化，使用加光学环氧胶属于让平面反射镜与镜座刚性连接。然而，该连接方式由于接触面平面度问题，极容易产生形变导致平面反射镜面形变差。

4、另一种是通过用硅橡胶，在平面反射镜镜座与平面反射镜接触面涂满硅橡胶，将平面反射镜置于镜座之后，再通过压块与镜面接触，轻压于平面反射镜之上，固定在反射镜镜座上。这种方法使用困难在于硅橡胶的用量并不好把控，即便是接触面平面度较好，也可能因为用量不均匀导致接触面平面变差，再加上压块接触平面镜表面，从而使面形发生变化。

5、综上，现有的两种方法在平面反射镜安装的过程都无法保证最终平面反射镜面形的好坏，进而影响了光学系统的成像质量。

技术实现思路

1、本发明针对现有技术的缺陷，提供一种高精度反射镜粘接的装调装置及方法，解决在光学系统中出现平面反射镜在安装后平面反射镜形变量大的问题，保证光学系统的成像质量。

2、为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一方面，本发明提供的一种高精度反射镜粘接的装调装置，包括平面反射镜镜座、压块和紧固螺钉，其中：

4、所述平面反射镜镜座包括水平支撑部、竖直支撑部和倾斜支撑部；所述倾斜支撑部的内部镂空，支撑部的内部四角分别形成第一点胶槽；所述倾斜支撑部的底部和两侧分别向上形成有平面镜侧面安装面，所述平面镜侧面安装面上表面形成有压块安装槽，用于放置压块，所述压块安装槽上形成有压块安装孔，用于和压块上的螺孔配合；所述倾斜支撑部的底部和两侧分别向内侧形成有平面镜底面安装面，用于承载平面反射镜，所述平面镜底面安装面的上表面形成有第二点胶槽；位于所述倾斜支撑部两侧的平面镜底面安装面上形成有安装工艺孔，在安装工艺孔由尼龙头缓冲销钉固定平面反射镜侧面；

5、所述压块包括镜座接触面和点胶面，所述镜座接触面上形成有螺孔；

6、所述紧固螺钉分别与压块上的螺孔和压块安装孔配合进而将压块固定在平面反射镜镜座的压块安装槽上。

7、进一步地，所述倾斜支撑部与水平支撑部的夹角为度。

8、另一方面，一种高精度反射镜粘接的装调方法，采用如上所述的高精度反射镜粘接的装调装置，并包括以下步骤：

9、s1、先通过修研三处平面镜底面安装面、两处平面镜侧面安装面、三处镜座接触面和三处点胶面，保证各接触面平面度；

10、s2、在三处第二点胶槽和平面镜底面安装面均匀涂抹硅橡胶，将平面反射镜镜面朝上放置在平面反射镜镜座中，与平面镜底面安装面接触，依靠平面反射镜自身重力，使得平面镜底面安装面上的硅橡胶均匀摊开；

11、s3、之后在安装工艺孔由尼龙头缓冲销钉固定平面反射镜侧面，等待硅橡胶固化后，检测面形并记录数据；在三处压块安装槽位置分别用紧固螺钉将三个压块固定，根据面形的高低点，决定于各处压块点胶面的硅橡胶用量；

12、s4、硅橡胶再次固化后，检测面形并在四处第一点胶槽均匀注射硅橡胶，经过第三次固化，保证平面反射镜在安装前后的面形变化量在0.01λ之内，λ＝632.8nm。

13、本发明提供的高精度反射镜粘接的装调装置及方法，与现有技术相比，具有以下有益效果：

14、1)常规的平面反射镜安装方式，其检测结果只有安装前和最终安装后，如果安装不理想，那么固化了的粘接剂处理的方式困难，且容易对平面反射镜镜面造成不可逆的损坏。本发明通过分步骤的安装方式，同时由于点胶量不多，使得反射镜在安装过程中，可以随检测结果反复拆卸，灵活调整。

15、2)在安装过程中，通过多次调节硅橡胶的用量，可以有效改善平面反射镜的形变，平面反射镜形变量可控，解决在光学系统中出现平面反射镜在安装后平面反射镜形变量大的问题，保证光学系统的成像质量，甚至使最终的面形结果优于原平面反射镜面形。

16、3)现有的平面反射镜镜座的安装面是简单的一个小平面，本发明在倾斜支撑部采用内部镂空，并支撑部的内部四角额外增加了点胶槽，在平面反射镜镜座加工中，一方面避免点胶不均匀带来的三个安装面高低不平，另一方面有效的增加了接触面的结构强度。

17、4)本发明的结构装置可以变式应用于x轴、y轴、z轴安装结构中，适配性高。

技术特征：

1.一种高精度反射镜粘接的装调装置，其特征在于，包括平面反射镜镜座(1)、压块(3)和紧固螺钉(4)，其中：

2.根据权利要求1所述的高精度反射镜粘接的装调装置，其特征在于，所述倾斜支撑部与水平支撑部的夹角为45度。

3.一种高精度反射镜粘接的装调方法，其特征在于，采用如权利要求1或2所述的高精度反射镜粘接的装调装置，并包括以下步骤：

技术总结
本发明公开了一种高精度反射镜粘接的装调装置及方法，解决在光学系统中出现平面反射镜在安装后平面反射镜形变量大的问题。装调装置包括平面反射镜镜座、压块和紧固螺钉，平面反射镜镜座包括水平支撑部、竖直支撑部和倾斜支撑部；倾斜支撑部的内部镂空，支撑部的内部四角分别形成第一点胶槽；倾斜支撑部的底部和两侧分别向上形成有平面镜侧面安装面，平面镜侧面安装面上表面形成有压块安装槽，压块安装槽上形成有压块安装孔；倾斜支撑部的底部和两侧分别向内侧形成有平面镜底面安装面，平面镜底面安装面的上表面形成有第二点胶槽；位于倾斜支撑部两侧的平面镜底面安装面上形成有安装工艺孔，在安装工艺孔由尼龙头缓冲销钉固定平面反射镜侧面。

技术研发人员：杨泽,博建明,田利峰,赵宇,杨印章
受保护的技术使用者：吉天星舟（长春）航天科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/27