用于双面卷对卷激光直写曝光机的涨紧装置的制作方法

本技术涉及激光直写曝光，具体涉及一种用于双面卷对卷激光直写曝光机的涨紧装置。

背景技术：

1、传统的双面曝光机中部是上下曝光设备，两侧是用于基材卷料输送的收放卷机构，能够将基材卷料拉紧伸直，从而达到悬空状态，避免了使用玻璃支撑时带来的灰尘和脏污。但由于基材属于软性材料，中间悬空部分过长的话，会在自身重力作用下，在悬空中心位置处产生下垂变形，从而影响曝光精度。另外，平台运动过程中会不可避免产生振动，基材卷料在曝光过程中未采用任何固定措施，平台移动所带来的振动及基材自身的微小振动都会对曝光精度产生影响。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种能够减小曝光过程中卷式基材产生振动和位移的涨紧装置。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

3、一种用于双面卷对卷激光直写曝光机的涨紧装置，包括：

4、具有水平导轨的机架，该机架中部设置有用于对基材悬空的中间部位进行支撑的支撑机构，该支撑机构能够沿着水平导轨移动；

5、设置在机架长度方向两端的端部夹紧机构，该端部夹紧机构对基材的放料端和收料端分别进行夹紧；以及

6、设置在端部夹紧机构内侧机架上的用于压紧基材的涨紧机构。

7、进一步地，所述支撑机构包括：

8、一对侧边梁，该一对侧边梁之间固定有水平布置的多个支撑杆，侧边梁的一端设置有安装横梁；以及

9、驱动机构，该驱动机构的伸缩端与所述安装横梁固定连接，所述驱动机构能够带动侧边梁沿着所述水平导轨移动。

10、进一步地，还包括设置在机架两端的电动滑台，该电动滑台能够带动支撑机构在竖直方向运动。

11、由以上技术方案可知，本实用新型通过在基材悬空的中间部位设置支撑机构，在基材两端设置端部夹紧机构和涨紧机构，使得在曝光过程中基材始终被夹紧，并且基材一直贴合在支撑机构的表面，避免在曝光过程中卷式基材由于精密运动平台的运动而产生振动和位移，从而影响曝光精度。

技术特征：

1.一种用于双面卷对卷激光直写曝光机的涨紧装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的涨紧装置，其特征在于，所述端部夹紧机构包括上下布置的上辊轮和下辊轮，以及用于带动上、下辊轮夹紧的夹紧气缸。

3.根据权利要求2所述的涨紧装置，其特征在于，所述夹紧气缸包括用于驱动上辊轮运动的第一夹紧气缸和第二夹紧气缸，以及用于驱动下辊轮运动的第三夹紧气缸和第四夹紧气缸，其中上、下辊轮的两端分别设置有第一安装板和第二安装板，所述第一夹紧气缸和第三夹紧气缸分别设置在第一安装板的两侧，所述第二夹紧气缸和第四夹紧气缸分别设置在第二安装板的两侧。

4.根据权利要求1所述的涨紧装置，其特征在于，所述支撑机构包括：

5.根据权利要求1所述的涨紧装置，其特征在于，还包括设置在机架两端的电动滑台，该电动滑台能够带动支撑机构在竖直方向运动。

6.根据权利要求1所述的涨紧装置，其特征在于，所述涨紧机构包括垂直于基材长度方向布置的涨紧轮，以及设置在该涨紧轮两端的用于驱动涨紧轮下压的第五夹紧气缸。

技术总结
本技术提供一种用于双面卷对卷激光直写曝光机的涨紧装置，包括具有水平导轨的机架，该机架中部设置有用于对基材悬空的中间部位进行支撑的支撑机构，该支撑机构能够沿着水平导轨移动；设置在机架长度方向两端的端部夹紧机构，该端部夹紧机构对基材的放料端和收料端分别进行夹紧；以及设置在端部夹紧机构内侧机架上的用于压紧基材的涨紧机构。本技术通过在基材悬空的中间部位设置支撑机构，在基材两端设置端部夹紧机构和涨紧机构，使得在曝光过程中基材始终被夹紧，并且基材一直贴合在支撑机构的表面，避免在曝光过程中卷式基材由于精密运动平台的运动而产生振动和位移，从而影响曝光精度。

技术研发人员：叶飞
受保护的技术使用者：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
技术研发日：20230104
技术公布日：2024/1/13