一种可防溅出的涂胶显影液盛装槽的制作方法

本技术涉及半导体制造，具体涉及一种可防溅出的涂胶显影液盛装槽。

背景技术：

1、涂胶显影液盛装槽是一个箱槽敞口的形状，用于放入涂胶显影液，将需要显影的胶片或需要显影的晶圆芯片，利用镊子夹取放置在涂胶显影液盛装槽箱中，置于空气可流动的环境中，并且经过一段时间后，取出胶片或晶圆芯片，进行下一步的半导体制造流程中进行清洗、烘干处理。

2、现有的涂胶显影机是包括涂胶显影液盛装槽结构，具有结构简单，敞口大，工作人员因操作不当产生飞溅的问题，而涂胶显影液含有有毒的化学物质，具有严重的腐蚀性质，对人体皮肤具有强度伤害，因此，盛装涂胶显影液的装置，需要尽可能的避免液体飞溅的情况，例如，申请号为cn202121742039.2公开了一种显影液收集装置中，包括取液、排液结构中的管身、开口、第一边缘线、底板及第一侧板组成，通过设计开口的尺寸，用防止显影液进出收集装置时，飞溅液体到收集装置外部，但是存在喷头喷射显影液到晶圆上时，容易造成显影液外散的缺陷；申请号为cn201921384106.0公开了一种显影装置中，包括显影液滚棒、废液漏孔、废液收集槽、显影液加注箱、废液回收管、上行吸管、过滤网及循环泵结构组成，通过在废液回收管和显影液加注箱内增设过滤装置，用于显影液循环过程中携带的废气物及时清除，避免管道堵塞，但是存在显影流程复杂，经过显影处理和显影液处理的工艺复杂，操作耗时耗力，且废液收集槽在操作不当时依然存在液体飞溅的缺陷。

3、因此，上述两个实用新型专利中均公开了涂胶显影液盛装槽，但是均存在显影液槽是敞口，会因为晶圆芯片显影和收集流动时造成液体飞溅，导致伤害腐蚀人体皮肤的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种可防溅出的涂胶显影液盛装槽，以解决上述背景技术中提到的技术问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型公开了一种可防溅出的涂胶显影液盛装槽，包括防溅盖板件，所述防溅盖板件的下表面活动连接有涂胶显影液盛装槽体，所述涂胶显影液盛装槽体靠近背面和底部的右侧面活动套接有活塞件，所述防溅盖板件的结构包括有遮挡板，所述遮挡板下表面的四周固定连接有凸卡扣，所述遮挡板上下表面均开设有若干个透气孔，所述遮挡板下表面的右侧中部开设有手扣槽，所述遮挡板下表面的左侧中部固定连接有转轴杆。

3、可选地，所述涂胶显影液盛装槽体的结构包括有置液箱，所述置液箱上表面的四周开设有凹卡槽，所述置液箱上表面的右侧两端均固定连接有转轴管，所述置液箱右侧面的中部开设有凹槽，所述置液箱的内部固定连接有芯片置放架，所述芯片置放架的上下表面均开设有若干个透液孔，所述置液箱靠近背面和底部的右侧面开设有出液孔，所述活塞件的结构包括有挡块，所述挡块侧面的一端固定连接有活塞柱。

4、可选地，所述防溅盖板件、涂胶显影液盛装槽体及活塞件的材质为铝、铜、不锈钢及导电性树脂中的任意一种，所述凸卡扣的位置、形状及尺寸分别与所述凹卡槽的位置、形状及尺寸均是相同的，用于相互契合，相互嵌接卡住，所述透气孔的形状为“＜”号，用于流通空气的同时，使得箱体内的液体不会从透气孔中溅出，所述手扣槽的形状为波浪形，用于翻转所述遮挡板，从所述置液箱上表面进行打开和闭合操作。

5、可选地，所述转轴杆的直径尺寸比所述转轴管内壁的直径尺寸要小0.6-1mm，用于将所述转轴杆插进所述转轴管的内部进行活动连接，所述置液箱的厚度尺寸是所述凹卡槽宽度尺寸的2-3倍，所述芯片置放架的位置在所述置液箱内部高度位置的1/5-1/3处。

6、可选地，所述凹槽的宽度与所述手扣槽的长度是相同的，便于留出凹陷区域，使得工作人员手动捏拽遮挡板，所述凹槽的形状为内侧圆角外侧直角形，所述芯片置放架的厚度为1-3mm。

7、可选地，所述出液孔的形状为半圆形，且其下表面是与所述置液箱内部的下表面是齐平的，用于倾倒装在所述置液箱内部的显影液及清洗盛装槽的清水，所述出液孔的形状、尺寸均与所述活塞柱的形状、尺寸是相同的，用于充分配和使用，防止所述置液箱中的显影液泄露。

8、可选地，所述挡块的形状为圆形，所述挡块的厚度为所述活塞柱厚度的一半，用于扣塞所述活塞柱进入到所述出液孔内。

9、有益效果

10、与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

11、该可防溅出的涂胶显影液盛装槽中，通过设置有防溅盖板件的结构，在涂胶显影液盛装槽体上表面增加了遮挡板的防溅阻挡板块，并在遮挡板上开设有透气孔，实现涂胶显影液盛装槽在工作过程中，不用敞口操作的同时，也能保证空气的流动性功能，达到了避免工作人员在操作过程中，涂胶显影液因振荡造成的液体飞溅而伤害人员皮肤的效果。

技术特征：

1.一种可防溅出的涂胶显影液盛装槽，其特征在于：包括防溅盖板件(1)，所述防溅盖板件(1)的下表面活动连接有涂胶显影液盛装槽体(2)，所述涂胶显影液盛装槽体(2)靠近背面和底部的右侧面活动套接有活塞件(3)，所述防溅盖板件(1)的结构包括有遮挡板(101)，所述遮挡板(101)下表面的四周固定连接有凸卡扣(102)，所述遮挡板(101)上下表面均开设有若干个透气孔(103)，所述遮挡板(101)下表面的右侧中部开设有手扣槽(104)，所述遮挡板(101)下表面的左侧中部固定连接有转轴杆(105)。

2.根据权利要求1所述的一种可防溅出的涂胶显影液盛装槽，其特征在于：所述涂胶显影液盛装槽体(2)的结构包括有置液箱(201)，所述置液箱(201)上表面的四周开设有凹卡槽(202)，所述置液箱(201)上表面的右侧两端均固定连接有转轴管(203)，所述置液箱(201)右侧面的中部开设有凹槽(204)，所述置液箱(201)的内部固定连接有芯片置放架(205)，所述芯片置放架(205)的上下表面均开设有若干个透液孔(206)，所述置液箱(201)靠近背面和底部的右侧面开设有出液孔(207)，所述活塞件(3)的结构包括有挡块(301)，所述挡块(301)侧面的一端固定连接有活塞柱(302)。

3.根据权利要求2所述的一种可防溅出的涂胶显影液盛装槽，其特征在于：所述防溅盖板件(1)、涂胶显影液盛装槽体(2)及活塞件(3)的材质为铝、铜、不锈钢及导电性树脂中的任意一种，所述凸卡扣(102)的位置、形状及尺寸分别与所述凹卡槽(202)的位置、形状及尺寸均是相同的，所述透气孔(103)的形状为“＜”号，所述手扣槽(104)的形状为波浪形。

4.根据权利要求2所述的一种可防溅出的涂胶显影液盛装槽，其特征在于：所述转轴杆(105)的直径尺寸比所述转轴管(203)内壁的直径尺寸要小0.6-1mm，所述置液箱(201)的厚度尺寸是所述凹卡槽(202)宽度尺寸的2-3倍，所述芯片置放架(205)的位置在所述置液箱(201)内部高度位置的1/5-1/3处。

5.根据权利要求2所述的一种可防溅出的涂胶显影液盛装槽，其特征在于：所述凹槽(204)的宽度与所述手扣槽(104)的长度是相同的，所述凹槽(204)的形状为内侧圆角外侧直角形，所述芯片置放架(205)的厚度为1-3mm。

6.根据权利要求2所述的一种可防溅出的涂胶显影液盛装槽，其特征在于：所述出液孔(207)的形状为半圆形，且其下表面是与所述置液箱(201)内部的下表面是齐平的，所述出液孔(207)的形状、尺寸均与所述活塞柱(302)的形状、尺寸是相同的。

7.根据权利要求2所述的一种可防溅出的涂胶显影液盛装槽，其特征在于：所述挡块(301)的形状为圆形，所述挡块(301)的厚度为所述活塞柱(302)厚度的一半。

技术总结
本技术涉及半导体制造技术领域，具体为一种可防溅出的涂胶显影液盛装槽，包括防溅盖板件，所述防溅盖板件的下表面活动连接有涂胶显影液盛装槽体，所述涂胶显影液盛装槽体靠近背面和底部的右侧面活动套接有活塞件，所述防溅盖板件的结构包括有遮挡板，所述遮挡板下表面的四周固定连接有凸卡扣；该可防溅出的涂胶显影液盛装槽中，通过设置有防溅盖板件的结构，在涂胶显影液盛装槽体上表面增加了遮挡板的防溅阻挡板块，并在遮挡板上开设有透气孔，实现涂胶显影液盛装槽在工作过程中，不用敞口操作的同时，也能保证空气的流动性功能，达到了避免工作人员在操作过程中，涂胶显影液因振荡造成的液体飞溅而伤害人员皮肤的效果。

技术研发人员：安礼余,王定国
受保护的技术使用者：宇弘研科技（苏州）有限公司
技术研发日：20230215
技术公布日：2024/1/14