一种温湿度控制系统的制作方法

本发明涉及一种温湿度控制系统，尤其是对于高洁净度设备的温湿度控制系统。

背景技术：

1、为保证加工设备和设备核心零部件的正常运行，通常采用风冷和水冷结合的模式对加工设备进行降温，风冷通常采用空调设备，而水冷通常采用水冷管道，空调设备的管路和水流的管路需要从加工设备外部接入，为维持正压稳定，需要从加工设备的底部排风，虽然能达到控温要求，但是设备内部的洁净度无法保证。如果直接增加气体过滤系统会极大降低风量，无法满足风冷的温度要求。

技术实现思路

1、本发明所要解决的技术问题是提供一种提高设备洁净度的温湿度控制系统。

2、为了解决上述问题，本实用新型提供一种温湿度控制系统，其包括空调设备、水冷设备，所述温湿度控制系统还包括气体过滤设备，所述空调设备和所述水冷设备与外部供水系统连通，所述空调设备与所述气体过滤设备连通，所述温湿度控制系统调控直写式光刻设备的内部温湿度，所述直写式光刻设备包括外壳、基座、龙门架、光源机构、曝光镜头、运动平台和支撑架，所述基座承载所述运动平台，所述曝光镜头安装于所述龙门架，所述支撑架对应曝光镜头区域和所述运动平台运动区域设置至少两个封闭空间，所述空调设备通过管路与封闭空间分别连通，所述封闭空间下方设置有气体过滤设备。

3、进一步的，对应于所述曝光镜头的所述封闭空间底部和所述龙门架顶部之间通过挡板围成分隔空间，所述挡板设置有通风口。

4、进一步的，对应于所述运动平台运动区域的所述封闭空间为两个，对应于所述曝光镜头的所述封闭空间位于两个对应于所述运动平台运动区域的所述封闭空间之间。

5、进一步的，所述气体过滤设备采用设备用风机过滤单元，设备用风机过滤单元包括内置风机。

6、进一步的，所述外壳设置有底板，形成密封空间，所述底板设置有排风口，所述排风口通过回风管道与空调设备的回风口连接。

7、进一步的，所述底板下方设置有粘尘板。

8、进一步的，所述水冷设备通过分水块分成各个水路管道将冷却水输送到待降温机构，每个所述水路管道设置流量控制阀，各个水路管道连接处采用带止回阀的外接快插件。

9、进一步的，所述水冷设备通过分水块分成各个水路管道将冷却水输送到待降温机构，所述分水块和所述水路管道容易漏水的部位下方设置接水盘。

10、进一步的，所述接水盘设置有出水口，所述出水口通过水路管道连通至水箱。

11、进一步的，所述接水盘和/或所述水箱设置传感器，所述接水盘设置漏水传感器，所述水箱设置水位传感器。

12、与现有技术相比，所述支撑架上方设置至少两个封闭空间，所述空调设备通过管路与封闭空间分别连通，所述封闭空间下方设置有气体过滤设备，保证设备内部的洁净度，同时采用设备用风机过滤单元，设备用风机过滤单元包括内置风机，可以在保证洁净度的同时，保证风量，满足风冷的温度湿度要求。

技术特征：

1.一种温湿度控制系统，其包括空调设备、水冷设备，其特征在于：所述温湿度控制系统还包括气体过滤设备，所述空调设备和所述水冷设备与外部供水系统连通，所述空调设备与所述气体过滤设备连通，所述温湿度控制系统调控直写式光刻设备的内部温湿度，所述直写式光刻设备包括外壳、基座、龙门架、光源机构、曝光镜头、运动平台和支撑架，所述基座承载所述运动平台，所述曝光镜头安装于所述龙门架，所述支撑架对应曝光镜头区域和所述运动平台的运动区域设置至少两个封闭空间，所述空调设备通过管路与封闭空间分别连通，所述封闭空间下方设置有气体过滤设备。

2.根据权利要求1所述的温湿度控制系统，其特征在于：对应于所述曝光镜头的所述封闭空间底部和所述龙门架顶部之间通过挡板围成分隔空间，所述挡板设置有通风口。

3.根据权利要求1所述的温湿度控制系统，其特征在于：对应于所述运动平台运动区域的所述封闭空间为两个，对应于所述曝光镜头的所述封闭空间位于两个对应于所述运动平台运动区域的所述封闭空间之间。

4.根据权利要求1所述的温湿度控制系统，其特征在于：所述气体过滤设备采用设备用风机过滤单元，设备用风机过滤单元包括内置风机。

5.根据权利要求1所述的温湿度控制系统，其特征在于：所述外壳设置有底板，形成密封空间，所述底板设置有排风口，所述排风口通过回风管道与空调设备的回风口连接。

6.根据权利要求5所述的温湿度控制系统，其特征在于：所述底板下方设置有粘尘板。

7.根据权利要求1所述的温湿度控制系统，其特征在于：所述水冷设备通过分水块分成各个水路管道将冷却水输送到待降温机构，每个所述水路管道设置流量控制阀，各个水路管道连接处采用带止回阀的外接快插件。

8.根据权利要求1所述的温湿度控制系统，其特征在于：所述水冷设备通过分水块分成各个水路管道将冷却水输送到待降温机构，所述分水块和所述水路管道容易漏水的部位下方设置接水盘。

9.根据权利要求8所述的温湿度控制系统，其特征在于：所述接水盘设置有出水口，所述出水口通过水路管道连通至水箱。

10.根据权利要求9所述的温湿度控制系统，其特征在于：所述接水盘和/或所述水箱设置传感器，所述接水盘设置漏水传感器，所述水箱设置水位传感器。

技术总结
一种温湿度控制系统，其包括空调设备、水冷设备，所述温湿度控制系统还包括气体过滤设备，所述空调设备和所述水冷设备与外部供水系统连通，所述空调设备与所述气体过滤设备连通，所述温湿度控制系统调控直写式光刻设备的内部温湿度，所述直写式光刻设备包括外壳、基座、龙门架、光源机构、曝光镜头、运动平台和支撑架，所述基座承载所述运动机构，所述曝光镜头安装于所述龙门架，所述支撑架对应曝光镜头区域和所述运动平台运动区域设置至少两个封闭空间，所述空调设备通过管路与封闭空间分别连通，所述封闭空间下方设置有气体过滤设备，保证设备内部的洁净度。

技术研发人员：吕腾斐,夏天,李志,李波,张雷
受保护的技术使用者：源卓微纳科技（苏州）股份有限公司
技术研发日：20230629
技术公布日：2024/3/21