一种载具平台和光强检测系统的制作方法

本技术涉及激光全息光刻，具体涉及一种载具平台和光强检测系统。

背景技术：

1、光刻工艺是微电子技术的核心技术之一，是一种最精密的半导体晶片表面图形加工技术。在常规的光刻工艺中，首先要设计出图形复制用的掩模版，然后通过投影步进曝光机使覆盖在半导体晶片上的光致抗蚀剂膜按掩模版的图形曝光。但是随着半导体器件图形尺寸的日益缩小，对于在大面积衬底上制备由微小图形阵列构成的器件时，常规的光刻工艺的显得效率很低，而且常规的光刻工艺中投影曝光机价格昂贵、高成本的掩模版制备过程以及使用过程中掩模版的消耗，都使得投影光刻的成本很高。

2、激光全息光刻技术是一种基于相干光干涉效应的无掩模版光刻技术。在这种技术中，使用多束激光在晶片表面重迭发生干涉效应从而产生各种由光亮区和暗区构成的干涉图形。图形以重复周期排列，图形的最小线宽可达波长的几分之一。由于干涉图形能形成在任意表面，所以避免了常规光刻中晶面的平整度和表面形貌对光刻质量的影响。此外，系统中没有掩模版和成象透镜，象场尺寸仅与使用激光束尺寸有关，所以能够加工大面积图形。由于这些优点，激光全息光刻技术在用于制备衍射光栅及微透镜的基础上，近来又在制备具有大面积重复结构图形阵列的场发射平板显示器方面表现出了广阔的应用前景。

3、在激光全息光刻工艺过程中，需要使用光强计测量激光器发射出来的光的实际光强。常用的光强计通常包括探头和适配探头的主机，探头与主机电连接。由于在激光全息光刻系统中，激光器的位置是固定不变的，当需要测量激光器的实际光强时，需要将探头放置到激光器的光路上，最好是放置在靠近作业面的接收端，以便更好的量测光强。为实现更好的测量效果，探头需要固定位置、固定高度和固定角度，且每次量测都需要在同一位置。但是现有技术缺乏适配探头的载具，操作人员很难保证探头的测量位置，也很难保证每次测量都可以将探头在同一位置处，不仅操作麻烦、难以快速定位探头位置，而且位置精度不高，影响测量精度，亟待解决。

技术实现思路

1、本实用新型第一方面要解决现有技术缺乏适配探头的载具，使得在测量激光器的实际光强时，存在操作麻烦、难以快速定位探头位置，且位置精度不高，影响测量精度的问题，提供了一种适用于光强计探头的载具平台，可以方便的调节探头的位置，不仅调节简便、可以快速定位探头位置，而且可以有效保证探头的位置精度，有利于提高光强测量精度，主要构思为：

2、一种载具平台，包括直线调节模组，所述直线调节模组包括可直线移动的滑台，

3、高度调节模组，包括底座、第一调节杆、夹具以及第二调节杆，所述第一调节杆竖直固定于底座，所述夹具构造有第一夹持部和第二夹持部，所述夹具通过第一夹持部夹持于第一调节杆，第二夹持部夹持于第二调节杆，第一调节杆与第二调节杆相互垂直，且第二调节杆构造有适配探头的安装部，以及

4、磁性部件，具有磁性，底座通过磁性部件的磁性吸附于滑台。在本方案中，配置安装部，以便将光强计的探头安装于本载具平台；通过配置直线调节模组，并在直线调节模组中配置可直线移动的滑台，以便沿直线精确调节探头沿一个方向的位置；通过配置第一调节杆，第一调节杆竖直设置，并在夹具中配置第一夹持部，使得夹具可以通过第一夹持部夹持于第一调节杆，既可以沿高度方向有效调节探头的高度，又可以通过第一夹持部将探头固定于所需的高度处；通过配置第二调节杆，并在夹具中配置第二夹持部，使得夹具可以通过第二夹持部夹持于第二调节杆，既可以沿第二调节杆的长度方向调节探头的水平位置，又可以通过第二夹持部将探头固定于所需的位置处；通过直线调节模组与高度调节模组的配合，不仅可以简便、快速的调节和定位探头的空间位置，而且可以有效保证探头的位置精度，并可以保证每次测量都在同一位置处，从而有利于提高光强测量精度；通过配置具有磁性的磁性部件，并使得高度调节模组的底座可以通过磁性吸附于滑台，不仅可以利用磁性将高度调节模组稳定的固定于直线调节模组的滑台，既可以防止高度调节模组发生倾倒，又使得高度调节模组可以与滑台同步移动，而且实现的是可拆卸连接，操作人员可以根据需要将高度调节模组快速安装于滑台，以便进行光强测量工作，操作人员可以根据需要从当前的滑台快速移除高度调节模组，使得高度调节模组可以应用于其它的直线调节模组，有利于提高通用性和降低成本。

5、为解决提高高度调节模组安装精度的问题，进一步的，所述滑台构造有第一定位部，所述底座构造有适配所述第一定位部的第二定位部。以便通过第一定位部与第二定位部的配合快速定位高度调节模组中底座的安装位置，从而可以有效提高高度调节模组的安装精度，确保探头的位置精度。

6、为实现快速定位功能，优选的，所述第一定位部为构造于滑台顶部的定位孔，所述第二定位部为构造于底座下端的定位柱；或，所述第一定位部为构造于滑台顶部的定位凹槽，所述第二定位部为构造于底座下端的定位凸起。

7、为解决将底座磁性吸附于滑台的问题，进一步的，所述滑台设置有所述磁性部件，所述底座设置有铁片或适配磁性部件的磁力部件；

8、或，所述滑台设置有铁片，所述底座设置有所述磁性部件。以便通过磁性部件与铁片之间的磁力，或者通过磁性部件与磁力部件之间的磁力使得底座可以稳定的吸附于滑台。

9、本实用新型第二方面要解决保护探头的问题，进一步的，所述磁性部件采用的是开关式磁力座。在本方案中，通过将磁性部件采用开关式磁力座，使得磁性部件的磁性可控，可以在需要拆卸时，先关闭开关式磁力座，使得开关式磁力座的磁性消失，从而可以轻松、方便的从滑台上取下高度调节模组，而无需大力拔掉高度调节模组，不仅拆卸过程更省力，而且不会因为拔掉高度调节模组的过程而导致探头发生震动、磕碰等问题，可以有效保护探头，保证探头的精度和可靠性。

10、优选的，所述磁性部件安装于底座的底部。以便与下方的滑台相配合。

11、且第二调节杆构造有适配探头的安装部

12、为解决便于安装探头的问题，进一步的，所述安装部为构造于第二调节杆的通孔或螺纹孔或螺柱，或，安装部为构造于第二调节杆的插头，且所述插头构造有通孔或螺纹孔。从而可以方便的将探头可拆卸的安装于第二调节杆。

13、为便于精确调节探头的空间位置，优选的，沿第一调节杆的长度方向设置有刻度；和/或，沿第二调节杆的长度方向设置有刻度。以便利用刻度作为参考，从而可以精确调节探头的空间位置。

14、为解决便于调节探头空间位置的问题，一些方案中，所述第一夹持部包括夹块、设置于夹具的第一卡口、设置于第一卡口两侧的连接孔，所述夹块设置有第二卡口，且第二卡口的两侧分别设置有适配连接孔的通孔，夹块通过适配连接孔的紧固件连接于夹具，并将第一调节杆夹于第一卡口与第二卡口之间；

15、和/或，所述第二夹持部包括夹块、设置于夹具的第一卡口、设置于第一卡口两侧的连接孔，所述夹块设置有第二卡口，且第二卡口的两侧分别设置有适配连接孔的通孔，夹块通过适配连接孔的紧固件连接于夹具，并将第二调节杆夹于第一卡口与第二卡口之间。这样的结构，既便于调节探头的空间位置，又可以在调节到位后牢靠的固定探头的位置。

16、为解决便于调节探头空间位置的问题，另一些方案中，所述第一夹持部包括构造于夹具的两个夹臂、分别构造于两个夹臂的第一卡口和第二卡口，其中一个夹臂构造有通孔，另一个夹臂构造有适配通孔的连接孔，两个夹臂通过适配连接孔的紧固件将第一调节杆夹于第一卡口与第二卡口之间；

17、和/或，所述第二夹持部包括构造于夹具的两个夹臂、分别构造于两个夹臂的第一卡口和第二卡口，其中一个夹臂构造有通孔，另一个夹臂构造有适配通孔的连接孔，两个夹臂通过适配连接孔的紧固件将第二调节杆夹于第一卡口与第二卡口之间。可以更方便的达到调节探头位置、固定探头位置的目的。

18、优选的，所述第一调节杆采用的是方杆，和/或，所述第二调节杆采用的是方杆。采用方杆，可以有效防止调节过程中第一调节杆和第二调节杆发生转动，从而更便于快速、准确调节探头的空间位置。

19、为解决滑台可直线调节的问题，进一步的，所述直线调节模组还包括基座，所述基座设置有至少两根相互平行的导向杆，所述滑台构造有适配所述导向杆的导向孔，所述滑台通过导向孔套设于导向杆，滑台与导向杆构成移动副。可以沿导向杆的长度方向调节基座的位置，使得滑台的位置可以直线调节。

20、优选的，所述基座构造有安装孔。以便将直线调节模组固定于所需的位置处。

21、为解决精确定位探头位置的问题，进一步的，直线调节模组还包括用于锁紧和解锁滑台的锁紧机构。通过配置锁紧机构，以便在调节到位后利用锁紧机构锁紧滑台，确保测量过程中滑台的位置不会发生变动，从而可以精确定位探头的位置。而当需要调节滑台的位置时，只需利用锁紧机构解锁滑台即可，非常的方便。

22、为便于使用和操作，优选的，所述锁紧机构包括构造于滑台的螺纹孔、适配螺纹孔的锁紧螺栓，锁紧螺栓螺纹连接于螺纹孔，用于顶紧。以便通过顶紧的方式达到锁紧滑台的目的。

23、一种光强检测系统，包括光强计，所述光强计包括探头，还包括所述载具平台，所述探头安装于所述第二调节杆。

24、与现有技术相比，使用本实用新型提供的一种载具平台和光强检测系统，适用于光强计的探头，并可以方便的调节探头的位置，不仅调节简便、可快速定位探头位置，而且可以有效保证探头的位置精度，有利于提高光强测量精度。