双面曝光机的制作方法

本技术涉及曝光机，特别涉及一种双面曝光机。

背景技术：

1、曝光工艺是半导体生产过程中的重要步骤之一，其具体指：曝光灯所发出的紫外光通过菲林版照射到附有一层薄膜胶的基片表面，引起曝光区域的薄膜胶发生化学反应。其中，在曝光工艺过程中，需要先后经过正面曝光和背面曝光两道曝光工序，加工时间长，生产效率低。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的是提供一种双面曝光机，旨在通过增设曝光板和曝光灯，使曝光机具有双面曝光功能，通过一个工序同时实现正面曝光和背面曝光，从而提升曝光机的生产效率。

2、为实现上述目的，本实用新型提出的双面曝光机包括：主机体；两个在竖向上间隔设置的曝光灯；曝光平台，穿设于所述主机体，并位于两个所述曝光灯之间，所述曝光平台用以传送料带；以及呈上下分布的上曝光板和下曝光板，所述下曝光板固定连接于所述主机体，并悬于所述曝光平台的上方，所述下曝光板可竖向移动地连接于所述主机体。

3、可选地，所述上曝光板和所述下曝光板均配置为玻璃板，所述曝光板用于粘贴挡板。

4、可选地，所述主机体的两侧设有支撑座，所述支撑座包括呈l型连接的第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部连接于所述主机体的内壁，并沿竖向延伸，所述第二支撑部沿横向朝对侧延伸，并连接于所述下曝光板的侧部。

5、可选地，所述曝光机还包括竖向调节机构，所述竖向调节机构包括调节电机、传送带、横向调节杆和两竖向调节杆，所述横向调节杆的两端分别传动连接于两所述竖向调节杆的一端，两所述竖向调节杆的另一端与所述上曝光板传动连接；所述调节电机安装所述主机体，所述传送带同时套设于所述调节电机的输出轴和所述横向调节杆，所述调节电机运转，能带动所述横向调节杆转动，并通过两所述竖向调节杆带动所述上曝光板竖向移动。

6、可选地，所述横向调节杆的两端均设有主动齿轮，所述竖向调节杆的一端设有从动齿轮，两所述竖向调节杆的从动齿轮分别于所述横向调节杆两端的主动齿轮啮合；所述曝光机还包括安装框架，所述上曝光板安装于所述安装框架，所述安装框架设有四个支柱，位于同一侧的两个所述支柱通过连接板固定连接，所述主机体设有沿竖向延伸的滑轨，所述连接板滑动连接于所述滑轨，所述竖向调节杆穿设并螺接于所述连接板。

7、可选地，所述曝光机还包括第一纠偏机构，所述第一纠偏机构安装于所述曝光平台，所述第一纠偏机构用以调整所述料带的输送方向。

8、可选地，所述曝光机还包括第二纠偏机构，所述曝光平台可相对所述主机体活动，所述第二纠偏机构安装于所述主机体，所述第二纠偏机构用以驱动所述曝光平台相对所述主机体运动，以调整所述料带与所述曝光平台的相对位置。

9、可选地，所述送料辊表面涂设有胶状物，所述胶状物用以粘附所述料带表面的杂质。

10、可选地，所述收料辊表面设有多个用以吸附所述料带的真空吸附孔。

11、可选地，所述曝光机还包括冷却系统，所述曝光灯内设有液体通道，所述冷却系统连通所述液体通道。

12、本实用新型的技术方案中，通过对曝光机增设曝光灯和曝光板，使曝光机在竖向间隔设置两个曝光灯，以及对应两曝光灯间隔地各设置一贴设挡板的曝光板，如此，当料带通过曝光工作区时，料带的两侧同时受到曝光灯照射，如此，料带可在同一时间、同一位置完成双面曝光作业，由此，提升了曝光机的作业效率。

技术特征：

1.一种双面曝光机，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的双面曝光机，其特征在于，所述上曝光板和所述下曝光板均配置为玻璃板，所述曝光板用于粘贴挡板。

3.如权利要求1所述的双面曝光机，其特征在于，所述主机体的两侧设有支撑座，所述支撑座包括呈l型连接的第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部连接于所述主机体的内壁，并沿竖向延伸，所述第二支撑部沿横向朝对侧延伸，并连接于所述下曝光板的侧部。

4.如权利要求1所述的双面曝光机，其特征在于，所述曝光机还包括竖向调节机构，所述竖向调节机构包括调节电机、传送带、横向调节杆和两竖向调节杆，所述横向调节杆的两端分别传动连接于两所述竖向调节杆的一端，两所述竖向调节杆的另一端与所述上曝光板传动连接；

5.如权利要求4所述的双面曝光机，其特征在于，所述横向调节杆的两端均设有主动齿轮，所述竖向调节杆的一端设有从动齿轮，两所述竖向调节杆的从动齿轮分别于所述横向调节杆两端的主动齿轮啮合；

6.如权利要求1所述的双面曝光机，其特征在于，所述曝光机还包括第一纠偏机构，所述第一纠偏机构安装于所述曝光平台，所述第一纠偏机构用以调整所述料带的输送方向。

7.如权利要求1所述的双面曝光机，其特征在于，所述曝光机还包括第二纠偏机构，所述曝光平台可相对所述主机体活动，所述第二纠偏机构安装于所述主机体，所述第二纠偏机构用以驱动所述曝光平台相对所述主机体运动，以调整所述料带与所述曝光平台的相对位置。

8.如权利要求1所述的双面曝光机，其特征在于，所述双面曝光机还包括送料辊，所述送料辊的表面涂设有胶状物，所述胶状物用以粘附所述料带表面的杂质。

9.如权利要求1所述的双面曝光机，其特征在于，所述双面曝光机还包括收料辊，所述收料辊表面设有多个用以吸附所述料带的真空吸附孔。

10.如权利要求1-9任一项所述的双面曝光机，其特征在于，所述曝光机还包括冷却系统，所述曝光灯内设有液体通道，所述冷却系统连通所述液体通道。

技术总结
本技术公开一种双面曝光机，其包括：主机体；两个在竖向上间隔设置的曝光灯；曝光平台，穿设于所述主机体，并位于两个所述曝光灯之间，所述曝光平台用以传送料带；以及呈上下分布的上曝光板和下曝光板，所述下曝光板固定连接于所述主机体，并悬于所述曝光平台的上方，所述下曝光板可竖向移动地连接于所述主机体。本技术的技术方案旨在通过增设曝光板和曝光灯，使曝光机具有双面曝光功能，从而提升曝光机的生产效率。

技术研发人员：章日华,李静婷,吴国宝,王东,张林海,付志勇,杨自立,夏未强,李万喜,尹勇军
受保护的技术使用者：深圳市威利特自动化设备有限公司
技术研发日：20230824
技术公布日：2024/3/31