一种曝光设备的制作方法

本技术涉及太阳能电池制造装备领域，特别是涉及一种曝光设备。

背景技术：

1、在太阳能电池制造装备领域，需要对电池片进行曝光处理，最终根据曝光图形以及后续工序生成电池栅线，之前的曝光技术为制备方便大多是采用四工位进行加工，多步工序集中于一个加工工位进行，例如，上料和定位均在上料工位进行，一次也仅输送一片电池片进行曝光，产能节拍较长，生产效率较低，很难满足太阳能电池片低成本、大批量的生产需要。

2、应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种曝光设备，用于解决现有技术中产能节拍较长，生产效率较低，很难满足太阳能电池片低成本、大批量的生产需要的问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种曝光设备，曝光设备包括：

3、旋转工作平台，所述旋转工作平台包括m个加工台，沿所述旋转工作平台周向设置有m个加工工位，一个所述加工台对应一个所述加工工位，所述加工台用于将电池片旋转传输至各个所述加工工位上，所述加工工位至少依次包括上料工位、位置检测工位、曝光工位及下料工位，所述位置检测工位上方对应有沿所述旋转工作平台周向设置的位置检测装置，所述位置检测装置用于对处于所述位置检测工位的所述电池片进行位置检测处理，所述曝光工位上方对应有沿所述旋转工作平台周向设置的曝光装置，所述曝光装置用于对处于所述曝光工位的所述电池片进行曝光处理，其中m≥6，且m为整数；上料机构，所述上料机构用于将每个待曝光处理的所述电池片输送至所述上料工位；下料机构，所述下料机构用于将每个完成曝光处理的所述电池片从所述下料工位传出；所述上料机构、所述上料工位、所述下料工位及所述下料机构均沿水平第一方向依次排布。

4、可选地，所述加工工位沿所述旋转工作平台周向等间隔设置，所述旋转工作平台以任意相邻的两个所述加工工位之间的夹角为行程单元，循环旋转。

5、可选地，所述上料机构、所述上料工位及所述下料机构均设置于同一条直线上；或，所述上料机构、所述下料工位及所述下料机构均设置于同一条直线上；或，所述上料机构、所述上料工位、所述下料工位及所述下料机构均设置于同一条直线上。

6、可选地，所述位置检测工位与所述曝光工位之间还设置有等待工位，用于分担在所述位置检测工位进行的工序，在所述位置检测工位进行的工序为对电池片的位置检测，获取处于所述位置检测工位的所述电池片的位置坐标，在所述等待工位进行的工序为对所述电池片的位置数据处理，并将处理结果发送至控制器，所述控制器控制所述曝光设备，对所述曝光装置的掩膜板进行补偿对位。

7、可选地，所述曝光工位与所述下料工位之间还设置有质量检测工位，所述质量检测工位上方对应有沿所述旋转工作平台周向设置的检测装置，所述检测装置用于检测所述电池片是否损坏，若有损坏，于所述质量检测工位上将损坏的所述电池片剔除，若无损坏，则继续进行下一道工序。

8、可选地，所述位置检测装置包括四个定位相机，用于给处于所述位置检测工位上的所述电池片拍照定位，每个所述定位相机的定位位置与所述电池片的四个角位置对应。

9、可选地，所述加工台上设置有光学升降平台，所述光学升降平台能够沿上下方向相对运动的设置。

10、可选地，所述上料机构至少包括两条上料输送线，每条所述上料输送线均能够沿水平第一方向输送待曝光处理的所述电池片，并且在水平的第二方向上，至少两条所述上料输送线设置于所述旋转工作平台的相异两侧，所述第二方向与所述第一方向相交。

11、可选地，所述下料机构至少包括两条下料输送线，每条所述下料输送线均能够沿水平第一方向输送完成曝光处理的所述电池片，沿水平的第二方向，至少两条所述下料输送线设置于所述旋转工作平台的相异两侧，所述第二方向与所述第一方向相交。

12、可选地，所述曝光设备还包括旋转搬运机构，所述旋转搬运机构包括具有夹角的两个摆臂机械手组合，所述摆臂机械手用于将所述电池片在所述上料机构、所述旋转工作平台及所述下料机构之间输送，所述摆臂机械手能够驱动其搬运的所述电池片绕竖直的转动轴心线转动。

13、如上所述，本实用新型的曝光设备，具有以下有益效果：

14、本实用新型的曝光设备通过在旋转工作平台上设置多个加工台，每个加工台对应一个加工工位，电池片同时传入与传出，实现了多片电池片同时进行加工制备，多个加工工位的设置减小了每个节拍的时间，旋转工作平台每次旋转一个节拍的时间均低于0.5秒，也即每一个节拍的时间内均能曝光处理完一个电池片，相比于现有技术中一个加工工位进行多步工序，节省了电池片的曝光总时间，提高了电池片的生产产能和生产效率；同时，全自动化生产减少了人力物力，进而降低了生产成本。

技术特征：

1.一种曝光设备，其特征在于，所述曝光设备包括：

2.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于：所述加工工位沿所述旋转工作平台周向等间隔设置，所述旋转工作平台以任意相邻的两个所述加工工位之间的夹角为行程单元，循环旋转。

3.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于：所述上料机构、所述上料工位及所述下料机构均设置于同一条直线上；或，所述上料机构、所述下料工位及所述下料机构均设置于同一条直线上；或，所述上料机构、所述上料工位、所述下料工位及所述下料机构均设置于同一条直线上。

4.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于：所述位置检测工位与所述曝光工位之间还设置有等待工位，用于分担在所述位置检测工位进行的工序，在所述位置检测工位进行的工序为对所述电池片的位置检测，获取处于所述位置检测工位的所述电池片的位置坐标，在所述等待工位进行的工序为对所述电池片的位置数据处理，并将处理结果发送至控制器，所述控制器控制所述曝光设备，对所述曝光装置的掩膜板进行补偿对位。

5.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于：所述曝光工位与所述下料工位之间还设置有质量检测工位，所述质量检测工位上方对应有沿所述旋转工作平台周向设置的检测装置，所述检测装置用于检测所述电池片是否损坏，若有损坏，于所述质量检测工位上将损坏的所述电池片剔除，若无损坏，则继续进行下一道工序。

6.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于：所述位置检测装置包括四个定位相机，用于给处于所述位置检测工位上的所述电池片拍照定位，每个所述定位相机的定位位置与所述电池片的四个角位置对应。

7.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于：所述加工台上设置有光学升降平台，所述光学升降平台能够沿上下方向相对运动的设置。

8.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于：所述上料机构至少包括两条上料输送线，每条所述上料输送线均能够沿水平第一方向输送待曝光处理的所述电池片，并且在水平的第二方向上，至少两条所述上料输送线设置于所述旋转工作平台的相异两侧，所述第二方向与所述第一方向相交。

9.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于：所述下料机构至少包括两条下料输送线，每条所述下料输送线均能够沿水平第一方向输送完成曝光处理的所述电池片，并且在水平的第二方向上，至少两条所述下料输送线设置于所述旋转工作平台的相异两侧，所述第二方向与所述第一方向相交。

10.根据权利要求8～9中任意一项所述的曝光设备，其特征在于：所述曝光设备还包括旋转搬运机构，所述旋转搬运机构包括具有夹角的两个摆臂机械手组合，所述摆臂机械手用于将所述电池片在所述上料机构、所述旋转工作平台及所述下料机构之间输送，所述摆臂机械手能够驱动其搬运的所述电池片绕竖直的转动轴心线转动。

技术总结
本技术提供一种曝光设备，包括：旋转工作平台，包括M个加工台，加工台对应设置有加工工位，加工工位至少依次包括上料工位、位置检测工位、曝光工位及下料工位，其中M≥6，且M为整数；上料机构用于将电池片输送至上料工位；下料机构用于将电池片从下料工位传出；上料机构、上料工位、下料工位及下料机构均沿水平第一方向依次排布。本技术设置多个加工工位，电池片同时传入与传出，实现了多片电池片同时进行曝光制备，多个加工工位的设置减小了每个节拍的时间，相比于现有技术中一个加工工位进行多步工序，节省了电池片的曝光总时间，提高了生产产能和生产效率；同时，全自动化生产减少了人力物力，进而降低了生产成本。

技术研发人员：张景坡,姚宇
受保护的技术使用者：苏州太阳井新能源有限公司
技术研发日：20230901
技术公布日：2024/4/7