一种雷射修补设备及光罩生产系统的制作方法

本申请涉及光罩加工，具体而言，涉及一种雷射修补设备及光罩生产系统。

背景技术：

1、在光罩制程中，被检验出的不合规格的缺陷，一般是使用能量源激光来进行缺陷的修补，使其符合出货规格。但是，缺陷在经过激光能量轰击后，会有残渣喷溅在附近，这些残渣因为有残留的高温而附着在光罩的表面。

2、对于修正后的喷溅残渣，现有技术通常是采用追加修正或是重新清洗的方式进行去除，但失败率仍然较高。在残渣无法完全去除的情况下，容易再次被检验机台检出不合规格，需反复修正直至移除，增加产品制作周期。

技术实现思路

1、本申请的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种雷射修补设备及光罩生产系统，其能够将激光轰击后的残渣直接移除，有效缩短了光罩的制作周期。

2、为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：

3、本申请实施例的一方面，提供一种雷射修补设备，包括：基座、设置在基座上的承载台、激光源和吸附组件，承载台用于固定光罩，激光源用于向光罩上的异物出射激光，吸附组件用于吸附激光源轰击异物产生的残渣。

4、可选地，吸附组件包括负压装置和与负压装置连通的吸附管，负压装置用于使吸附管内产生负压，吸附管上设有吸附口，吸附口朝向承载台的承载面。

5、可选地，吸附管包括环形吸附管和连接管，连接管的一端与环形吸附管连通、另一端与负压装置连通，环形吸附管的环形表面平行于承载面，吸附口位于环形吸附管朝向承载面的环形表面上。

6、可选地，环形吸附管位于激光源和承载台之间，环形吸附管环绕激光源发出的激光的外围设置。

7、可选地，吸附口包括多个，多个吸附口环绕环形吸附管的轴线均匀分布。

8、可选地，吸附口呈环形，吸附口环绕环形吸附管的轴线设置。

9、可选地，激光源和吸附组件可移动地设置在基座上，以使激光源的出光部和吸附组件的吸附口对准光罩上的异物。

10、可选地，承载台可移动地设置在基座上，以使光罩上的异物对准激光源的出光部。

11、可选地，承载台上设有固定组件，固定组件用于将光罩固定在承载台的承载面上。

12、本申请实施例的另一方面，提供一种光罩生产系统，包括如上任一项的雷射修补设备。

13、本申请的有益效果包括：

14、本申请提供了一种雷射修补设备，包括：基座、设置在基座上的承载台、激光源和吸附组件，承载台用于固定光罩，激光源用于向光罩上的异物出射激光，吸附组件用于吸附激光源轰击异物产生的残渣。该雷射修补设备采用激光源向光罩上的异物发射激光将异物击碎，再利用吸附组件将轰击过程中产生的残渣吸走，从而防止残渣粘附在光罩的表面，无需反复修正和重新清洗，有效缩短了光罩的制作周期。

技术特征：

1.一种雷射修补设备，其特征在于，包括：基座、设置在所述基座上的承载台、激光源和吸附组件，所述承载台用于固定光罩，所述激光源用于向所述光罩上的异物出射激光，所述吸附组件用于吸附所述激光源轰击所述异物产生的残渣。

2.如权利要求1所述的雷射修补设备，其特征在于，所述吸附组件包括负压装置和与所述负压装置连通的吸附管，所述负压装置用于使所述吸附管内产生负压，所述吸附管上设有吸附口，所述吸附口朝向所述承载台的承载面。

3.如权利要求2所述的雷射修补设备，其特征在于，所述吸附管包括环形吸附管和连接管，所述连接管的一端与所述环形吸附管连通、另一端与所述负压装置连通，所述环形吸附管的环形表面平行于所述承载面，所述吸附口位于所述环形吸附管朝向所述承载面的环形表面上。

4.如权利要求3所述的雷射修补设备，其特征在于，所述环形吸附管位于所述激光源和所述承载台之间，所述环形吸附管环绕所述激光源发出的激光的外围设置。

5.如权利要求3所述的雷射修补设备，其特征在于，所述吸附口包括多个，多个所述吸附口环绕所述环形吸附管的轴线均匀分布。

6.如权利要求3所述的雷射修补设备，其特征在于，所述吸附口呈环形，所述吸附口环绕所述环形吸附管的轴线设置。

7.如权利要求1所述的雷射修补设备，其特征在于，所述激光源和所述吸附组件可移动地设置在所述基座上，以使所述激光源的出光部和所述吸附组件的吸附口对准所述光罩上的异物。

8.如权利要求1所述的雷射修补设备，其特征在于，所述承载台可移动地设置在所述基座上，以使所述光罩上的异物对准所述激光源的出光部。

9.如权利要求1所述的雷射修补设备，其特征在于，所述承载台上设有固定组件，所述固定组件用于将所述光罩固定在所述承载台的承载面上。

10.一种光罩生产系统，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的雷射修补设备。

技术总结
本申请提供一种雷射修补设备及光罩生产系统，涉及光罩加工技术领域。该雷射修补设备包括：基座、设置在基座上的承载台、激光源和吸附组件，承载台用于固定光罩，激光源用于向光罩上的异物出射激光，吸附组件用于吸附激光源轰击异物产生的残渣。该雷射修补设备采用激光源向光罩上的异物发射激光将异物击碎，再利用吸附组件将轰击过程中产生的残渣吸走，从而防止残渣粘附在光罩的表面，无需反复修正和重新清洗，有效缩短了光罩的制作周期。

技术研发人员：王梅侠,邵金株,高翌,廖英哲,陈亚苓
受保护的技术使用者：泉意光罩光电科技（济南）有限公司
技术研发日：20230907
技术公布日：2024/4/17