一种光刻机晶圆载台的制作方法

本技术涉及晶圆载台领域，特别涉及一种光刻机晶圆载台。

背景技术：

1、晶圆载台用于定位并放置晶圆，在晶圆蚀刻、光刻等加工工序时，通常需要用到晶圆载台，而且对晶圆放置的平整度有较高的要求。随着设备自动化程度的提高，目前已实现对晶圆载台自动装卸晶圆，通常的做法是用抓取工具抓取晶圆，比如用真空吸盘吸附晶圆上表面，然后通过机械手等移动工具配合将晶圆挪位到晶圆载台上。

2、现有的光刻机晶圆载台，其内部通常安装有可承载晶圆的放置板，为了避免晶圆在加工过程中出现偏移现象，晶圆的边缘与放置板的内表面紧密贴合。当晶圆加工完成后取用晶圆的过程中，晶圆边缘处与放置板的表面容易产生磨损，晶圆在取出过程中与放置板表面的摩擦还容易导致晶圆在取用过程中容易产生卡滞、偏移现象，降低晶圆取料工作的效率，影响晶圆在取料、转移过程中的稳定性。

技术实现思路

1、针对上述问题，本申请提供了一种光刻机晶圆载台。

2、为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种光刻机晶圆载台，包括载台，所述载台的上方开口处通过限位螺钉安装有放置板，所述放置板的表面开设有两个豁口，所述豁口内侧设置有可升降的顶触板，所述顶触板的底部设置有可横移的联动推块。

3、所述联动推块的顶部均设置有呈三角状的导向座，所述顶触板的下表面均开设有容纳导向座置入的导向槽，所述导向槽的内顶壁呈斜边结构，与导向座的斜边相平行，当所述导向座、联动推块同步移动横移时，所述导向座在导向槽内部横向滑移，挤压所述顶触板直线上升。

4、进一步的，一对所述联动推块的表面螺纹连接有同一双向螺杆，且一对联动推块分别分布于双向螺杆的正、反向螺纹处，所述双向螺杆的端部安装有与其相适配的电机。

5、进一步的，所述顶触板的底部固定连接有对位杆，所述载台的内壁底部通过螺钉安装有一对支撑架，所述支撑架的顶部固定连接有限位杆，所述限位杆延伸至对位杆内侧。

6、所述对位杆的外表面且靠下方通过限位销连接有安装环一，所述安装环一的底部固定连接有压力弹簧，所述压力弹簧的底部固定连接有安装环二，所述安装环二螺纹连接于对位杆的外表面且靠下方，当所述顶触板被顶触上升后，所述对位杆位于限位杆表面滑动，所述安装环一拉伸压力弹簧延长。

7、进一步的，所述顶触板的边缘处向上延伸形成限位凸边，当所述顶触板推动晶圆上升时，所述限位凸边位于晶圆的侧边缘处。

8、进一步的，所述导向座的内侧均安装有倾斜分布的多个滚轮，自然状态下，所述滚轮与导向槽的内壁相抵。

9、进一步的，所述载台的两端开设有流通口，流通口外侧设置有密封挡板，一对所述密封挡板的内侧均安装有与双向螺杆相适配的轴承座，所述电机安装于密封挡板的外表面。

10、综上，本实用新型的技术效果和优点：

11、本实用新型通过可横移的联动推块以及导向座，可驱使与放置板相对应的顶触板升降运动，当顶触板上升时，位于放置板内侧的晶圆被挤压上升，脱离放置板，可顺利晶圆的更换操作。将取用晶圆的过程便携化，以便于快速对晶圆实施转移、更换操作在驱使晶圆脱离放置板的过程中，有效提高晶圆在被取用过程中的稳定性。

技术特征：

1.一种光刻机晶圆载台，包括载台(1)，其特征在于：所述载台(1)的上方开口处通过限位螺钉(11)安装有放置板(2)，所述放置板(2)的表面开设有两个豁口，所述豁口内侧设置有可升降的顶触板(3)，所述顶触板(3)的底部设置有可横移的联动推块(4)；

2.根据权利要求1所述的光刻机晶圆载台，其特征在于：一对所述联动推块(4)的表面螺纹连接有同一双向螺杆(8)，且一对联动推块(4)分别分布于双向螺杆(8)的正、反向螺纹处，所述双向螺杆(8)的端部安装有与其相适配的电机(13)。

3.根据权利要求1所述的光刻机晶圆载台，其特征在于：所述顶触板(3)的底部固定连接有对位杆(33)，所述载台(1)的内壁底部通过螺钉安装有一对支撑架(7)，所述支撑架(7)的顶部固定连接有限位杆(71)，所述限位杆(71)延伸至对位杆(33)内侧；

4.根据权利要求1所述的光刻机晶圆载台，其特征在于：所述顶触板(3)的边缘处向上延伸形成限位凸边(31)，当所述顶触板(3)推动晶圆上升时，所述限位凸边(31)位于晶圆的侧边缘处。

5.根据权利要求1所述的光刻机晶圆载台，其特征在于：所述导向座(5)的内侧均安装有倾斜分布的多个滚轮(6)，自然状态下，所述滚轮(6)与导向槽(32)的内壁相抵。

6.根据权利要求2所述的光刻机晶圆载台，其特征在于：所述载台(1)的两端开设有流通口，流通口外侧设置有密封挡板(12)，一对所述密封挡板(12)的内侧均安装有与双向螺杆(8)相适配的轴承座，所述电机(13)安装于密封挡板(12)的外表面。

技术总结
本技术公开了一种光刻机晶圆载台，涉及晶圆载台领域，包括载台，所述载台的上方开口处通过限位螺钉安装有放置板，所述放置板的表面开设有两个豁口，所述豁口内侧设置有可升降的顶触板，所述顶触板的底部设置有可横移的联动推块，所述联动推块的顶部均设置有呈三角状的导向座，本技术通过可横移的联动推块以及导向座，可驱使与放置板相对应的顶触板升降运动，当顶触板上升时，位于放置板内侧的晶圆被挤压上升，脱离放置板，可顺利晶圆的更换操作。将取用晶圆的过程便携化，以便于快速对晶圆实施转移、更换操作在驱使晶圆脱离放置板的过程中，有效提高晶圆在被取用过程中的稳定性。

技术研发人员：章广飞,王运钢,薛业保,李文静
受保护的技术使用者：安徽国芯智能装备有限公司
技术研发日：20230918
技术公布日：2024/4/17