本发明一种照明光型的曝光机结构,详指应用于光学领域的技术,其主要以光型叠加方式增加曝光面积尺寸,并能够保持叠加后曝光光型的有效面积和均匀度。
背景技术:
1、曝光机在相关的光学业界内极为普遍,从古至今的研发下可将曝光机分为五种型态,分别为接触式(contact)、接近式(proximity)、步进式(stepper)、扫描式(scanner)、重复式(repeat),上述五种的型态应用于现今的pcb(printed circuit board,印刷电路板)制造。然而,在每次的曝光作业上,时常会有曝光的成像光形200尺寸不同的情况发生,而每次在成像光形200曝光尺寸不同下对于曝光机来说难以配合,固定尺寸时只需要固定数量的曝光机即可,但尺寸过大时就必须增加曝光机的数量,此作法只会增加设备成本。
2、另一问题是,当曝光尺寸较大时,必须以数个曝光机设备(系统)进行叠加,但叠加后的成像光形200会出现两个问题,第一问题就是会有光学畸变像差的现象,请见图1所示,因每一个经曝光机投射后的成像光形200其斜率并不相同,以至于叠加后会形成枕状畸变(图1中的a)或桶状畸变(图1中的b);第二问题就是成像在叠加后,每一个成像光形200与成像光形200的边缘接合处会造成均匀性不足,简单来说就会如图2般有十字型的光影线300,这对于整体曝光尺寸较大的印刷电路板来说会产生曝光不均匀的问题发生。
技术实现思路
1、本发明所要解决的主要技术问题在于,克服现有技术存在的上述缺陷,而提供一种照明光型的曝光机结构,供用户在进行光学成像作业时,不仅能够消除畸变以外,更重要的是能够搭配曝光面积尺寸较大的情况下,把十字型的叠光影予以删除、淡化,以便于优化成像的结果。
2、本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:
3、一种照明光型的曝光机结构,其包括:光源部,该光源部分别发散数道光线;第一透镜,各光线朝向该第一透镜进行照射,各光线穿过该第一透镜后分别汇聚形成第一聚光束;透镜阵列部,该第一聚光束朝向相对应的该透镜阵列部进行照射,又该透镜阵列部包含数个相互并排组合的数个透镜柱,该第一聚光束穿透该透镜阵列部的数个透镜柱后形成数个第一成像光;以及第二透镜,各第一成像光朝向该第二透镜照射并穿透后,该第二透镜改变各第一成像光的光路径并予以聚焦,各第一成像光经过第二透镜透射后形成相互叠加的数个成像,又各成像的叠加形成最终成像,该最终成像具有数个边线,且各边线以数个成像的叠加以修饰而形成直线;其中,利用该第二透镜的设置聚焦各成像,使该最终成像的光型更为完整,且该最终成像的各边线较平直,又当以数个光源部、第一透镜、第一透镜阵列部及第二透镜同时运作后所形成的数个最终成像相互拼接下不会有叠影,各最终成像间的衔接处的光影更为一致。
4、本发明进一步的技术特征,该光源部与该第一透镜间的距离为27mm~29mm。
5、本发明进一步的技术特征,该第一透镜至该透镜阵列部间的距离为5mm~7mm。
6、本发明进一步的技术特征,该透镜阵列部与该第二透镜间进一步设虹膜片,该虹膜片遮掩照射至第二透镜的各第一成像光,该虹膜片包含有环遮部及环圈透光部,各第一成像光朝该虹膜片射入时其部分光线会受到该环遮部的遮掩而无法透射,各第一成像光的部分光线则透射出该环圈透光部,并在朝向第二透镜照射。
7、本发明进一步的技术特征,该虹膜片与该透镜阵列部间的距离为0.4mm~0.6mm。
8、本发明进一步的技术特征,该虹膜片与第二透镜间的距离为340mm~360mm。
9、本发明进一步的技术特征,该第二透镜至该最终成像的投射处间的距离为790mm~650mm。
10、本发明进一步的技术特征,该透镜阵列部的各透镜柱面对第二透镜的一端的表面为非球面。
11、本发明进一步的技术特征,该第二透镜为凸透镜或反射镜。
12、综上所述,本发明的优点在于,透过透镜阵列部的设置下,各第一成像光穿透该第二透镜后,会形成数个相互叠加的成像,每一个成像因该透镜阵列部的数个透镜柱并排设置下会有不同的形状,各成像相互叠加后就能够形成标准方形的最终成像,当本发明具有数个光源部、第一透镜、透镜阵列部、第二透镜同时进行运作时,每一个所形成的最终成像的光形分布数值趋近相近、相同,因此各最终成像间的拼接上所成的大面积成像更趋于一致,改变现有技术中所述过往的曝光机要扩大光形并采用叠加的方式上,会因各别光形都会有光学畸变,导致在各光形相叠加后会产生明显的十字叠影,而本发明利用各透镜柱的拼组下,消除光形的畸变,使各最终成像与该最终成像的光形分布调整至相近、相同,让各最终成像的拼接后的成像更为一致、相同,而视觉所观看的成像并不会有明显的区域分别。
13、本发明的有益效果是,供用户在进行光学成像作业时,不仅能够消除畸变以外,更重要的是能够搭配曝光面积尺寸较大的情况下,把十字型的叠光影予以删除、淡化,以便于优化成像的结果。
1.一种照明光型的曝光机结构,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的照明光型的曝光机结构,其特征在于,所述光源部与该第一透镜间的距离为27mm~29mm。
3.根据权利要求1所述的照明光型的曝光机结构,其特征在于,所述第一透镜至该透镜阵列部间的距离为5mm~7mm。
4.根据权利要求1所述的照明光型的曝光机结构,其特征在于,所述透镜阵列部与该第二透镜间进一步设虹膜片,该虹膜片遮掩照射至第二透镜的各第一成像光,该虹膜片包含有环遮部及环圈透光部,各第一成像光朝该虹膜片射入时其部分光线会受到该环遮部的遮掩而无法透射,各第一成像光的部分光线则透射出该环圈透光部,并朝向第二透镜照射。
5.根据权利要求4所述的照明光型的曝光机结构,其特征在于,所述虹膜片与该透镜阵列部间的距离为0.4mm~0.6mm。
6.根据权利要求4所述的照明光型的曝光机结构,其特征在于,所述虹膜片与第二透镜间的距离为340mm~360mm。
7.根据权利要求1所述的照明光型的曝光机结构,其特征在于,所述第二透镜至该最终成像的投射处间的距离为790mm~650mm。
8.根据权利要求1所述的照明光型的曝光机结构,其特征在于,所述透镜阵列部的各透镜柱面对第二透镜的一端的表面为非球面。
9.根据权利要求1所述的照明光型的曝光机结构,其特征在于,所述第二透镜为凸透镜或反射镜。