位置的控制。
[0085]作为本实施方式的光程差生成构件，使用由具有厚度沿着第2摄像装置20上的摄像面20a的面内方向发生变化的部分的玻璃构件构成的光程差生成构件21 (21A，21D)，在此情况下，通过由区域控制部35来调整第I摄像区域22k的位置和第2摄像区域22B的位置从而能够自如地调整前针与后针之间的间隔。由此，例如在由第2摄像装置20进行摄像的图像的对比度的峰存在多个的情况下或在峰形状为平坦的情况下等，通过调整前针与后针的聚焦差从而能够高精度地检测试样S的焦点位置。
[0086]另外，作为本实施方式的光程差生成构件，使用由平板形状的玻璃构件构成的光程差生成构件21 (21B, 21C，21E)，在此情况下，光程差生成构件21的构成能够简单化。在此情况下，平板构件的边缘部分E形成第2摄像装置20的摄像面20a上的第2光学图像的影子23，所以通过避开影子23来设定第I摄像区域22k和第2摄像区域22B从而能够保证物镜15的焦点位置的控制的精度。
[0087]在上述的实施方式中，例示了生成虚拟微观图像的装置，但是，本发明所涉及的图像取得装置如果是一边由工作台等以规定的速度扫描试样一边取得图像的装置的话则能够适用于各种各样的装置。
[0088]符号的说明
[0089]I…工作台、12...光源、14...导光光学系统、15...物镜、16...分束器(光分支单兀)、18…第I摄像装置(第I摄像单元)、20…第2摄像装置(第2摄像单元)、20a…摄像面、21 (21A?21E)…光程差生成构件、22A…第I摄像区域、22B…第2摄像区域、34...焦点控制部(焦点控制单元)、35…区域控制部(区域控制单元)、36…物镜控制部(物镜控制单元)、E...边缘部分、LI...第I光路、L2...第2光路、M…图像取得装置、Ml...宏观图像取得装置、M2...微观图像取得装置、S…试样。
【主权项】
1.一种图像取得装置，其特征在于: 具备: 工作台，载置试样； 工作台控制单元，以规定的速度扫描所述工作台； 光源，朝着所述试样照射光； 导光光学系统，包含将所述试样的光学图像向图像取得用的第I光路以及焦点控制用的第2光路分支的光分支单元； 第I摄像单元，取得由向所述第I光路分支的第I光学图像形成的第I图像； 第2摄像单元，取得由向所述第2光路分支的第2光学图像形成的第2图像； 焦点控制单元，解析所述第2图像，并根据该解析结果控制由所述第I摄像单元进行的摄像的焦点位置； 区域控制单元，在所述第2摄像单元的摄像面上设定取得所述第2光学图像的一部分图像的第I摄像区域以及第2摄像区域；以及 光程差生成构件，被配置于所述第2光路，沿着所述摄像面的面内方向使光程差产生于所述第2光学图像， 所述区域控制单元根据所述工作台的扫描速度和所述第I摄像区域与所述第2摄像区域之间的间隔，设定从所述第I摄像区域上的摄像到所述第2摄像区域上的摄像为止的等待时间。2.如权利要求1所述的图像取得装置，其特征在于: 所述第2摄像单元为区域传感器。3.如权利要求2所述的图像取得装置，其特征在于: 所述光程差生成构件是以重叠于所述摄像面的至少一部分的方式配置的平板构件，所述区域控制单元以避开由所述平板构件的边缘部分形成的所述第2光学图像的影子的方式将所述第I摄像区域和所述第2摄像区域分别设定于重叠于所述平板构件的区域和不重叠于所述平板构件的区域。4.如权利要求2所述的图像取得装置，其特征在于: 所述光程差生成构件为具有厚度沿着所述摄像面的面内方向连续地变化的部分的构件， 所述区域控制单元以重叠于所述光程差生成构件的厚度不同的部分的方式设定所述第I摄像区域和所述第2摄像区域。5.如权利要求1所述的图像取得装置，其特征在于: 所述第I摄像区域和所述第2摄像区域由不同的线传感器构成。6.如权利要求1?5中的任意一项所述的图像取得装置，其特征在于: 具备: 与所述试样相对峙的物镜；以及 根据由所述焦点控制单元进行的控制，相对地控制相对于所述试样的所述物镜的位置的物镜控制单元， 所述物镜控制单元，在由所述焦点控制单元进行的焦点位置的解析执行中，不进行所述物镜的驱动，在由所述焦点控制单元进行的焦点位置的解析非执行中，使所述物镜相对于所述试样在一个方向上移动。7.一种图像取得装置的聚焦方法，其特征在于: 所述图像取得装置具备: 工作台，载置试样； 工作台控制单元，以规定的速度扫描所述工作台； 光源，朝着所述试样照射光； 导光光学系统，包含将所述试样的光学图像向图像取得用的第I光路以及焦点控制用的第2光路分支的光分支单元； 第I摄像单元，取得由向所述第I光路分支的第I光学图像形成的第I图像； 第2摄像单元，取得由向所述第2光路分支的第2光学图像形成的第2图像；以及焦点控制单元，解析所述第2图像，并根据该解析结果控制由所述第I摄像单元进行的摄像的焦点位置， 所述聚焦方法中， 在所述第2摄像单元的摄像面上设定取得所述第2光学图像的一部分图像的第I摄像区域以及第2摄像区域， 将沿着所述摄像面的面内方向使光程差产生于所述第2光学图像的光程差生成构件配置于所述第2光路， 由区域控制单元，根据所述工作台的扫描速度和所述第I摄像区域与所述第2摄像区域之间的间隔，设定从所述第I摄像区域上的摄像到所述第2摄像区域上的摄像为止的等待时间。8.如权利要求7所述的图像取得装置的聚焦方法，其特征在于: 作为所述第2摄像单元，使用区域传感器。9.如权利要求8所述的图像取得装置的聚焦方法，其特征在于: 作为所述光程差生成构件，使用以重叠于所述摄像面的至少一部分的方式配置的平板构件， 由所述区域控制单元，以避开由所述平板构件的边缘部分形成的所述第2光学图像的影子的方式，将所述第I摄像区域和所述第2摄像区域分别设定于重叠于所述平板构件的区域和不重叠于所述平板构件的区域。10.如权利要求8所述的图像取得装置的聚焦方法，其特征在于: 作为所述光程差生成构件，使用具有厚度沿着所述摄像面的面内方向连续地变化的部分的构件， 由所述区域控制单元，以重叠于光程差生成构件的厚度不同的部分的方式设定所述第I摄像区域和所述第2摄像区域。11.如权利要求7所述的图像取得装置的聚焦方法，其特征在于: 由不同的线传感器构成所述第I摄像区域和所述第2摄像区域。12.如权利要求7?11中的任意一项所述的图像取得装置的聚焦方法，其特征在于: 所述图像取得装置具备: 与所述试样相对峙的物镜；以及 根据由所述焦点控制单元进行的控制，相对地控制相对于所述试样的所述物镜的位置的物镜控制单元， 由所述物镜控制单元，在由所述焦点控制单元进行的焦点位置的解析执行中，不进行所述物镜的驱动，在由所述焦点控制单元进行的焦点位置的解析非执行中，使所述物镜相对于所述试样在一个方向上移动。
【专利摘要】图像取得装置(M)中，通过在第2光路(L2)上配置光程差生成构件(21)从而在第2摄像装置(20)中抑制了对焦点对准了入射到第1摄像装置(18)的光学图像之前的光学图像(前针)和焦点对准了入射到第1摄像装置(18)的光学图像之后的光学图像(后针)进行摄像的时候的光量，并且能够确保由第1摄像装置(18)进行摄像的时候的光量。另外，图像取得装置(M)中，根据工作台的扫描速度(v)、第1摄像区域(22A)与第2摄像区域(22B)之间的间隔(d)，设定从第1摄像区域(22A)上的摄像到第2摄像区域(22B)上的摄像为止的等待时间(W)。因此，由于来自试样(S)的相同位置的光入射到第1摄像区域(22A)和第2摄像区域(22B)，所以能够高精度地实施焦点位置的控制。
【IPC分类】G02B7/28
【公开号】CN104919351
【申请号】CN201380070777
【发明人】大石英资
【申请人】浜松光子学株式会社
【公开日】2015年9月16日
【申请日】2013年1月17日
【公告号】EP2947487A1, US20150116475, WO2014112083A1