前面。
[0049]这种具有替换望远式系统的模块仅实现了对光瞳尺寸的个别匹配，而替代第一望远式系统16可以使用第一调焦望远式系统18，替换第二望远式系统17可以使用第二调焦望远式系统19。这种配置方式在图7中示出。图7a、7b和7c分别示出两种调焦望远式系统18和19的不同状态。
[0050]在另一构造方案中，传输系统15通过具有两个调焦光学器件的调焦系统来实现，而这种调焦系统不能用于如在结合图1介绍的那样对色差进行修正。这种具有第一调焦光学器件20和第二调焦光学器件21的传输系统5在图8中示出，第一和第二调焦光学器件分别布置在中间像平面4与光瞳平面12之间或光瞳平面12与像平面13之间，其中，在这里图8a、8b和8c分别示出调焦光学器件的不同状态。在光路中还存在修正元件22和23，用以修正上面介绍的色差。
[0051]第一调焦光学器件20和第二调焦光学器件21能够相对于光瞳平面12对称地构造。第一和第二调焦光学器件也能够整合成轴对称的配置方式，正如这一点结合图4和图5所介绍那样。这种轴对称的调焦光学器件24在图9中以与图8中所示的状态相对应的不同位置示出。传输系统15的物镜侧的部件6和像侧的部件7在这种情况下是相同的并且通过调焦光学器件24来实现。
[0052]附图标记列表
[0053]1 物镜
[0054]2 出瞳
[0055]3 镜筒透镜系统
[0056]4 中间像平面
[0057]5 传输系统
[0058]6 物镜侧的部件
[0059]7像侧的部件
[0060]8第一物镜侧的透镜组件
[0061]9第二物镜侧的透镜组件
[0062]10第一像侧的透镜组件
[0063]11第二像侧的透镜组件
[0064]12光瞳平面
[0065]13像平面
[0066]14光学适配元件
[0067]15传输系统
[0068]16第一望远式系统
[0069]17第二望远式系统
[0070]18第一调焦望远式系统
[0071]19第二调焦望远式系统
[0072]20第一调焦光学器件
[0073]21第二调焦光学器件
[0074]22修正元件
[0075]23修正元件
[0076]24轴对称的调焦光学器件
【主权项】
1.一种用于对试样进行宽场显微成像的显微成像系统，包括: 具有物镜(1)的光路； 关于试样布置在物镜(1)后面的镜筒透镜系统(3); 传输系统(5、15)，具有物镜侧的部件(6)和像侧的部件(7)， 其中，物镜侧的部件(6)具有至少一个第一物镜侧的透镜组件(8)和与所述第一物镜侧的透镜组件隔开间距的第二物镜侧的透镜组件(9)，像侧的部件(7)具有至少一个第一像侧的透镜组件(10)和与所述第一像侧的透镜组件隔开间距的第二像侧的透镜组件(11)，传输系统(5)以如下方式设计:将物镜⑴的出瞳⑵成像到物镜侧的部件(6)与像侧的部件(7)之间的光瞳平面(12)中且将试样的像从中间像平面⑷成像到像平面(13)中；以及 光学适配元件(14)，所述光学适配元件布置在物镜侧的部件(6)与像侧的部件(7)之间的光瞳平面(12)中。2.根据权利要求1所述的显微成像系统，其特征在于，物镜侧的透镜组件(8、9)在镜筒透镜系统⑶和/或物镜⑴的、与物镜⑴的出瞳⑵成像到光瞳平面(12)中的过程相关的纵向和横向色像差方面，以至少修正达到预设的偏差标准的方式、优选以补偿的方式来设计。3.根据权利要求1或2中任一项所述的显微成像系统，其特征在于，像侧的透镜组件(10,11)以将与试样从中间像平面⑷成像到相平面(13)的过程相关的纵向和横向色像差修正达到预设的偏差标准的方式、优选以补偿的方式来设计。4.根据权利要求1至3中任一项所述的显微成像系统，其特征在于，物镜侧的和/或像侧的透镜组件(8、9、10、11)中的一个或多个构造为粘接透镜片。5.根据权利要求1至4中任一项所述的显微成像系统，其特征在于，传输系统(5)沿光路能移动地布置。6.根据权利要求5所述的显微成像系统，其特征在于，物镜侧的部件(6)和像侧的部件(7)能够彼此独立地或者彼此以预设的速比移动。7.根据权利要求1至6中任一项所述的显微成像系统，其特征在于，在光路中，相对于传输系统(5)在前面布置有第一望远式系统(16)，在后面布置有第二望远式系统(17)。8.根据权利要求7所述的显微成像系统，其特征在于，望远式系统(16、17)构造为是能更换的。9.根据权利要求7所述的显微成像系统，其特征在于，望远式系统(16、17)为了调整可变的放大率而被构造为调焦望远式系统(18、19)。10.根据权利要求1所述的显微成像系统，其特征在于，传输系统(15)连同光学适配元件(14) 一起以绕光轴旋转对称的方式构造，并且光轴关于镜筒透镜系统(3)、中间像平面(4)和像平面(13)非对中心地设置。11.根据权利要求10所述的显微成像系统，其特征在于，能够给光学适配元件(14)成形出球形的或抛物线形的曲率，传输系统(15)以对与之关联的像散现象加以修正的方式来设计。12.根据权利要求1至6或10至11中任一项所述的显微镜，其特征在于，传输系统(5、15)构造为调焦系统。13.根据权利要求12所述的显微镜，其特征在于，光学适配元件(14)构造为起反射作用的元件，朝向光学适配元件(14)以及自光学适配元件引出的光路穿过调焦系统的相同的透镜。14.根据权利要求1至13中任一项所述的显微成像系统，其特征在于，传输系统(5、15)能够作为模块引入光路中。15.根据权利要求1至8中任一项所述的显微成像系统，其特征在于，光学适配元件(14)是膜反射镜或者是空间光调制器。
【专利摘要】本发明涉及一种用于对试样进行宽场显微成像的显微成像系统。这种显微成像系统包括：具有物镜的光路；关于试样布置在物镜后面的镜筒透镜系统；传输系统，其具有物镜侧的部件和像侧的部件。物镜侧的部件具有至少一个第一物镜侧的透镜组件和与所述第一物镜侧的透镜组件隔开间隔的第二物镜侧的透镜组件。像侧的部件还包括至少一个第一像侧的透镜组件和与所述第一像侧的透镜组件隔开间隔的第二像侧的透镜组件。传输系统将物镜的出瞳成像到物镜侧的部件与像侧的部件之间的光瞳平面中。同时，传输系统将试样的像从中间像平面成像到像平面中。成像系统还包括光学适配元件，所述光学适配元件布置在物镜侧的部件与像侧的部件之间的光瞳平面中。
【IPC分类】G02B21/00, G02B21/02, G02B21/04
【公开号】CN105388605
【申请号】CN201510523662
【发明人】托马斯·诺比斯, 约尔克·佩特舒拉特, 沃尔夫冈·辛格尔
【申请人】卡尔蔡司显微镜有限责任公司
【公开日】2016年3月9日
【申请日】2015年8月24日
【公告号】DE102014112199A1, US20160062111