4，另一端设置有V型槽103，所述V型槽103与所述外镜框1上端面平行，所述方形空间上端面靠近开口一端设置有球头A105;所述外镜框1开口处下端面设置有定力锁紧单元安装孔106和防护盖安装孔101;
[0031]参见附图5，所述内镜框2为方形结构，中间开有通孔，镜片5固定在所述通孔上，方形结构任意相对的两个侧壁上设置有滑轨202，与所述滑轨202所在侧壁相邻的一个侧壁上设置有两个球头B201，两个球头B201的位置分别与所述圆锥槽104和V型槽103相对应，所述方形结构上端面与所述球头A105对应位置处设置有上平台203;
[0032]所述内镜框2的滑轨202与所述外镜框1内的滑槽102配合，所述内镜框2外侧设置有防护盖4，所述防护盖4与所述外镜框1的防护盖安装孔101通过螺钉固定连接。
[0033]参见附图6，所述防护盖4与所述内镜框2之间还设置有定力锁紧单元3，所述定力锁紧单元3为两边互相垂直成角形的长条结构，所述定力锁紧单元3的一个边上设置有安装孔位302，所述安装孔位302通过螺钉与所述开口下端面的定力锁紧单元安装孔106固定连接，另一边与所述内镜框2接触，所述定力锁紧单元3与所述内镜框2接触的一边上设置有锁紧螺钉301，所述锁紧螺钉301穿过定力锁紧单元3的一个边与所述内镜框2接触。
[0034]所述内镜框2与定力锁紧单元3接触的侧壁上设置有轴向锁紧块204和径向锁紧块205，两个所述锁紧螺钉301穿过所述定力锁紧单元3的一个边分别与所述轴向锁紧块204和径向锁紧块205接触;使用扭力扳手使锁紧螺钉301输出固定大小的顶紧力，多次安装时锁紧螺钉301以相同顶紧力顶紧内镜框2。
[0035]所述径向锁紧块205为圆柱状结构，所述圆柱状结构一端固定在内镜框2侧壁上，一端与所述锁紧螺钉301接触。
[0036]所述轴向锁紧块204为直角三角块，所述直角三角块的一个直角面与所述内镜框2侧壁固定连接，另一个直角面与所述内镜框2上端面平行，所述直角三角块的斜面与所述锁紧螺钉301接触。
[0037]参见附图7和附图8，所述轴向锁紧块204包括固定部208、倾斜部207和L型结构206;所述固定部208上端面一侧通过倾斜部207与所述内镜框2侧壁固定连接，另一侧通过L型结构206与所述定力锁紧单元3的上端面固定连接，所述固定部208与所述锁紧螺钉301接触。
[0038]所述滑轨202为自润滑耐磨性材料。
[0039]所述滑轨202的材料为聚四氟乙烯、聚氨酯或尼龙。
[0040]参见附图9，本发明的高定位精度的镜片可更换的光刻物镜镜框整体上是光刻投影物镜的一个镜筒单元，外镜，1分别与上、下镜组级联，固定在物镜系统中。
[0041]所述外镜框1包含的V型槽103、圆锥槽104、滑槽102和球头A105结构可以是一体式机构，也可以是分体组装式结构。
[0042]所述内镜框2包含的球头B201、上平台203、径向锁紧块205和轴向锁紧块204可以是一体式机构，也可以是分体组装式结构。
【主权项】
1.高定位精度的镜片可更换的光刻物镜镜框，包括外镜框(1)和内镜框(2)，其特征在于，还包括防护盖(4); 所述外镜框(1)为圆筒结构，所述外镜框(1)内部为方形空间，所述镜框与方形空间任意一个侧壁相对位置开有开口，所述方形空间与所述开口垂直的两个侧壁设置有滑槽(102)，所述方形空间与所述开口相对的侧壁上一端设置有圆锥槽(104)，另一端设置有V型槽(103)，所述V型槽(103)与所述外镜框(1)上端面平行，所述方形空间上端面靠近开口一端设置有球头A( 105); 所述内镜框(2)为方形结构，任意相对的两个侧壁上设置有滑轨(202)，与所述滑轨(202)所在侧壁相邻的一个侧壁上设置有两个球头B(201)，两个球头B(201)的位置分别与所述圆锥槽(104)和V型槽(103)相对应，所述方形结构上端面与所述球头A(105)对应位置处设置有上平台(203); 所述内镜框(2)的滑轨(202)与所述外镜框(1)内的滑槽(102)配合，所述内镜框(2)夕卜侧设置有防护盖(4)，所述防护盖(4)与所述外镜框(1)通过螺钉固定连接。2.根据权利要求1所述的高定位精度的镜片可更换的光刻物镜镜框，其特征在于，所述防护盖(4)与所述内镜框(2)之间还设置有定力锁紧单元(3)，所述定力锁紧单元(3)为两边互相垂直成角形的长条结构，所述定力锁紧单元(3)的一个边通过螺钉与所述开口下端面固定连接，另一边与所述内镜框(2)接触，所述定力锁紧单元(3)与所述内镜框(2)接触的一边上设置有锁紧螺钉(301)，所述锁紧螺钉(301)穿过定力锁紧单元(3)的一个边与所述内镜框(2)接触。3.根据权利要求2所述的高定位精度的镜片可更换的光刻物镜镜框，其特征在于，所述内镜框(2)与定力锁紧单元(3)接触的侧壁上设置有轴向锁紧块(204)和径向锁紧块(205)，两个所述锁紧螺钉(301)穿过所述定力锁紧单元(3)的一个边分别与所述轴向锁紧块(204)和径向锁紧块(205)接触。4.根据权利要求3所述的高定位精度的镜片可更换的光刻物镜镜框，其特征在于，所述径向锁紧块(205)为圆柱状结构，所述圆柱状结构一端固定在内镜框(2)侧壁上，一端与所述锁紧螺钉(301)接触。5.根据权利要求3所述的高定位精度的镜片可更换的光刻物镜镜框，其特征在于，所述轴向锁紧块(204)为直角三角块，所述直角三角块的一个直角面与所述内镜框(2)侧壁固定连接，另一个直角面与所述内镜框(2)上端面平行，所述直角三角块的斜面与所述锁紧螺钉(301)接触。6.根据权利要求3所述的高定位精度的镜片可更换的光刻物镜镜框，其特征在于，所述轴向锁紧块(204)包括固定部(208)、倾斜部(207)和L型结构(206);所述固定部(208)上端面一侧通过倾斜部(207)与所述内镜框(2)侧壁固定连接，另一侧通过L型结构(206)与所述定力锁紧单元(3)的上端面固定连接，所述固定部(208)与所述锁紧螺钉(301)接触。7.根据权利要求1-6任意一项所述的高定位精度的镜片可更换的光刻物镜镜框，其特征在于，所述滑轨(202)为自润滑耐磨性材料。8.根据权利要求7所述的高定位精度的镜片可更换的光刻物镜镜框，其特征在于，所述滑轨(202)的材料为聚四氟乙烯、聚氨酯或尼龙。
【专利摘要】高定位精度的镜片可更换的光刻物镜镜框属于深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，目的在于解决现有技术存在的结构复杂、操作空间大、定位及重复定位精度低和镜片易被污染的问题。本发明的外镜框为圆筒结构，外镜框内部两个侧壁设置有滑槽，内部侧壁上设置有圆锥槽和V型槽，外镜框内部上端面靠近开口一端设置有球头A；内镜框为方形结构，任意相对的两个侧壁上设置有滑轨，与滑轨所在侧壁相邻的一个侧壁上设置有两个球头B，两个球头B的位置分别与圆锥槽和V型槽相对应，方形结构上端面与球头A对应位置处设置有上平台；内镜框的滑轨与外镜框内的滑槽配合，内镜框外侧设置有防护盖，防护盖与外镜框通过螺钉固定连接。
【IPC分类】G02B7/02, G03F7/00
【公开号】CN105467548
【申请号】CN201510881287
【发明人】陈华男, 郭抗, 倪明阳, 李显凌, 张巍, 隋永新, 杨怀江
【申请人】中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【公开日】2016年4月6日
【申请日】2015年12月4日