极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座的制作方法
【专利摘要】极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，涉及收集镜片的集成技术领域。为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求。轮缘为不锈钢圆环，圆环的环形内设有6根辐条；每根辐条上均开有N个凹槽，6根辐条的凹槽组成N组与所述圆环同心的圆形，N为正整数，一组凹槽用于安装一层收集镜片，采用真空胶将收集镜片固定在凹槽中；不锈钢圆环的外径Φ为600mm，宽度为40mm、厚度为40mm。本发明的装置结构简单，能牢固固定收集镜片。本发明适用于集成收集镜片。
【专利说明】
极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座
技术领域
[0001 ]本发明涉及收集镜片的集成技术领域。
【背景技术】
[0002]利用毛细管大电流、快脉冲放电Z箍缩，毛细管内充工作介质氙气(Xe)，等离子体产生高温，产生Xe高价电离Xe1()+，Xe1()+复合消激发过程，辐射输出极紫外光，获得13.5nm光输出，极紫外光是4π立体角分布的。
[0003]基于毛细管口径的限制，从毛细管出口处出射光是在+5°?+30°，-5°?-30°的空间分布的，设计多层簿壳结构的收集镜片，并集成一光学收集镜系统，最大限度有效的将辐射光收集起来，并聚焦，在焦点处获较强的功率，以便与后续曝光系统连接，进行光刻。
[0004]在这一过程中，多层薄壳结构的收集系统是关键部件之一，从而需要将多层收集镜片集成为收集镜系统的装置。
【发明内容】
[0005]本发明是为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求，从而提供极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座。
[0006]本发明所述的极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，包括轮缘和6根辐条；
[0007]轮缘为不锈钢圆环，圆环的环形内设有6根辐条;每根辐条上均开有N个凹槽，6根辐条的凹槽组成N组与所述圆环同心的圆形，N为正整数，一组凹槽用于安装一层收集镜片，采用真空胶将收集镜片固定在凹槽中；
[0008]不锈钢圆环的外径Φ为600mm，宽度为40mm、厚度为40mm。
[0009]同一根辐条上凹槽加工尺寸要求是，每一凹槽宽度应不同，应由需对应的要装配的收集镜片加工完成后的壁厚的实际尺寸确定，且以每层收集镜片内表面的实际口径为基线，确定凹槽宽度的内径尺寸，内径尺寸加工时留误差-0.25mm，外径尺寸依据各收集镜片壁厚实际尺寸确定其口径，并增加加工余量+0.25mm，此加工余量用于系统集成时，微调每层收集镜片通过面型检测确定的轴线位置，确定后用真空胶固化，凹槽内外表面组成与圆环同心的圆形。镜片加工后，需对镜片面型进行检测，每片镜片检测后，需将多层镜片系统集成为一收集镜系统，最后将这一收集镜系统安装到光源装置的真空室内，这几个步骤，都需用到基座。本发明是针对这一需求，设计、加工建造极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座。该基座是星形轮结构，设计并建造这一基座是在所有收集镜片完全加工完成，并经过对面型检测，已全部达到设计指标要求后，再确定星形轮上各相应的尺寸，然后再进行基座的加工建造。本发明的装置结构简单，能牢固固定收集镜片。本发明适用于集成收集镜片。
【附图说明】
[0010]图1是【具体实施方式】一所述的极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座的立体结构示意图；
[0011]图2是【具体实施方式】一所述的极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座的俯视图；
[0012]图3是图2的A-A向剖视图；
[0013]图4是【具体实施方式】三中集成后的收集镜系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0014]【具体实施方式】一:参照图1至图3具体说明本实施方式，本实施方式所述的极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，包括轮缘I和6根辐条2;
[0015]轮缘I为不锈钢圆环，圆环的环形内设有6根辐条2;每根辐条2上均开有N个凹槽2-1，6根辐条2的凹槽组成N组与所述圆环同心的圆形，N为正整数，一组凹槽用于安装一层收集镜片，采用真空胶将收集镜片固定在凹槽中；
[0016]不锈钢圆环的外径Φ为600mm，宽度为40mm、厚度为40mm。以圆环的轴向方向为厚度方向，径向方向为宽度方向。同一根辐条2上凹槽的分布是不等间距的，凹槽的间距是由将加工的8层-10层收集镜片集成为收集镜系统时，每一层收集镜片应处的空间位置决定的每层与每层收集镜片间的间距确定。
[0017]【具体实施方式】二:本实施方式是对【具体实施方式】一所述的极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座作进一步说明，本实施方式中，辐条2的宽度为10_，厚度为40_。以圆环的轴向方向为厚度方向。
[0018]【具体实施方式】三:参照图4具体说明本实施方式，本实施方式是对【具体实施方式】一或二所述的极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座作进一步说明，本实施方式中，N为8、9或10。通常将8至10层口径由大到小的、由双非球面面型(椭圆面型加双曲面面型)组合组成的、每层壁厚3_左右的收集镜片，集成为一收集镜系统。
[0019]【具体实施方式】四:本实施方式是对【具体实施方式】一或二所述的极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座作进一步说明，本实施方式中，凹槽槽深10mm。槽深的确定应考虑两个因素，第一、收集镜片要镶嵌牢固，第二、凹槽不能太深，它会影响对极紫外光的收集效率，因为槽壁会遮挡住一些掠入射到收集镜边缘的极紫外光线。
【主权项】
1.极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，其特征在于，包括轮缘(I)和6根辐条(2)； 轮缘(I)为不锈钢圆环，圆环的环形内设有6根辐条(2);每根辐条(2)上均开有N个凹槽(2-1)，6根辐条(2)的凹槽组成N组与所述圆环同心的圆形，N为正整数，一组凹槽用于安装一层收集镜片，采用真空胶将收集镜片固定在凹槽中； 不锈钢圆环的外径Φ为600mm，宽度为40mm、厚度为40mmo2.根据权利要求1所述的极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，其特征在于，辐条(2)的宽度为10mm，厚度为40mm。3.根据权利要求1或2所述的极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，其特征在于，N为8、9或10。4.根据权利要求1或2所述的极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，其特征在于，凹槽槽深10_。
【文档编号】G03F7/20GK105892240SQ201610437955
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年6月17日
【发明人】祝东远, 王骐, 徐强, 赵永蓬
【申请人】哈尔滨工业大学