显微镜简易观测底座的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种显微镜简易观测底座。
【背景技术】
[0002]在光刻胶的研发测试中，经过涂布、烘烤、曝光、显影等过程后，在硅片或蓝宝石衬底表面形成所需要的光刻胶图形，由于图形为微米级别，必须经过显微镜或电子扫描电镜来观察图形的形貌，通过对光刻胶图形的分析来判定光刻胶性能的好坏。
[0003]目前用于观测光刻胶图形的仪器主要有显微镜和扫描电镜。通过显微镜对衬底表面的图形平面进行观测，并通过配套软件在计算机上获取图片进行数据分析，从而对图形的形貌、分辨率、线宽比等有一个直观的结果。通过扫描电镜对衬底表面的图形切面进行观测，同样获得图片来分析图形的切面形状与厚度。
[0004]由于扫描电镜这一仪器较为昂贵，一般中小型企业或单位较少能够负担，主要在各科研机构或大型集中型检测平台使用，且操作要求较高，这对尤其是需要进行大量观测衬底切面图形实验的中小型企业，在产品研发上的成本和精力造成压力和不便。而显微镜相对来说价格便宜，使用方便，也是光刻胶研发实验室不可或缺的常用仪器。
[0005]显微镜用于观测衬底平面图形非常方便，将其水平置于观物台上，调整焦距即可。但目前显微镜的观物台不能固定不到1毫米厚度的衬底切面，因此无法进行切面观测。
[0006]使用扫描电镜观测衬底切面较为昂贵，且费时费力，但显微镜目前没有可以固定衬底切片的装置。
【实用新型内容】
[0007]本发明的目的是设计了一种简易的显微镜观测底座，以解决光刻胶研发测试过程中，因采用显微镜观察衬底切面但无法固定的问题，它可以固定住较薄的光刻胶衬底，使中小型实验室人员可以通过显微镜，方便快捷的对衬底切面的图形进行观测。
[0008]为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案。
[0009]针对显微镜无法观测薄片切面图形的问题，本申请发明了一种结构简单，操作方便的显微镜固定底座设备。该设备解决了光刻胶研发过程中因硅片太薄，而无法实现切面图形实时观测的问题，大大扩展了显微镜的使用范围，提高了仪器利用率，提高了光刻胶的研发效率。
[0010]显微镜简易观测底座，包括放置于显微镜载物台上的圆形底盘，圆形底盘上设有卡槽，卡槽包括橡胶内条和金属外条，金属外条上设有螺栓孔，固定螺丝穿过螺栓孔并与橡胶内条连接。
[0011]采用圆形底座，可以直接放置于显微镜原有载物台上的圆形底盘上。垂直于圆形底座，在该底座的直径方向上安装卡槽，用于垂直卡住观察样品。卡槽外部方条采用金属材质，提高底座的使用寿命，内部方条采用橡胶材质，增强对薄片的厚度宽容性，减少观测时对观察样品的损伤。卡槽外部方块中间有螺丝孔配有固定螺丝，固定螺丝旋入方块时推动橡胶条，使得两块橡胶条缝隙减小直到闭合。这样安装样品时可旋转螺丝，紧固内部橡胶条，固定观察样品。卡槽的高度不宜太高，用于观测的薄片宽度也不宜过宽，在进行薄片切面观测时，将其垂直置于卡口中，放于显微镜底盘上，调节聚焦直到出现清晰影像即可。
[0012]本实用新型的有益效果是，很大程度上扩展了显微镜的观测使用范围，提高了仪器利用率，降低了研发过程中仪器检测的成本与精力，使实验人员能够方便快捷的通过显微镜观测较薄衬底的切面图形。
[0013]当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
【附图说明】
[0014]图1是本实用新型整体结构示意图。
[0015]其中，1、圆形底盘;2、橡胶内条;3、金属外条;4、固定螺丝。
【具体实施方式】
[0016]下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0017]在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0018]在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接;可以是机械连接，也可以是电连接;可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0019]如图1所示，显微镜简易观测底座，包括放置于显微镜载物台上的圆形底盘1，圆形底盘1上设有卡槽，卡槽包括橡胶内条2和金属外条3，金属外条3上设有螺栓孔，固定螺丝4穿过螺栓孔并与橡胶内条2连接。
[0020]上述虽然结合附图对本实用新型的【具体实施方式】进行了描述，但并非对本实用新型保护范围的限制，所属领域技术人员应该明白，在本实用新型的技术方案的基础上，本领域技术人员不需要付出创造性劳动即可做出的各种修改或变形仍在本实用新型的保护范围以内。
【主权项】
1.显微镜简易观测底座，其特征是，包括放置于显微镜载物台上的圆形底盘(1)，圆形底盘(1)上设有卡槽，卡槽包括橡胶内条(2)和金属外条(3)，金属外条(3)上设有螺栓孔，固定螺丝(4)穿过螺栓孔并与橡胶内条(2)连接。
【专利摘要】本实用新型公开了一种显微镜简易观测底座，包括放置于显微镜载物台上的圆形底盘（1），圆形底盘（1）上设有卡槽，卡槽包括橡胶内条（2）和金属外条（3），金属外条（3）上设有螺栓孔，固定螺丝（4）穿过螺栓孔并与橡胶内条（2）连接。本实用新型很大程度上扩展了显微镜的观测使用范围，提高了仪器利用率，降低了研发过程中仪器检测的成本与精力，使实验人员能够方便快捷的通过显微镜观测较薄衬底的切面图形。
【IPC分类】G02B21/26
【公开号】CN205091503
【申请号】CN201520916512
【发明人】于凯, 刘运
【申请人】潍坊星泰克微电子材料有限公司
【公开日】2016年3月16日
【申请日】2015年11月17日